专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种多功能清洗槽-CN202121231639.2有效
  • 马胜南;陈永春 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2021-06-03 - 2022-04-19 - B08B3/12
  • 本实用新型公开了一种多功能清洗槽,包括架体,所述架体内侧通过螺栓安装倾斜板,且倾斜板顶部一侧通过螺栓及安装架分别安装有一号储液槽、磷酸槽、混酸槽和水洗槽,所述磷酸槽内放置有PTFE投入式加热器,所述水洗槽内一侧顶部通过螺栓安装喷淋管,所述倾斜板底部一端通过预留孔及螺栓安装排水管,且排水管一端贯穿架体;PTFE投入式加热器可以对磷酸槽内部的液体进行加热,以满足清洗需求。本实用新型一种多功能清洗槽,能够实现多种清洗方式,并且,多个槽体同时排水时的排水速度不会被干扰,适合被广泛推广和使用。
  • 一种多功能清洗
  • [实用新型]一种供液配液混合系统-CN202121160424.6有效
  • 马胜南;陈永春 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2021-05-27 - 2022-02-22 - B01F35/21
  • 本实用新型公开了一种供液配液混合系统,包括保护外壳、粗抛液存储桶、中抛液存储桶和精抛液存储桶,所述保护外壳内底部通过螺丝固定防漏盘,所述防漏盘顶部一端设置有粗抛液存储桶,所述粗抛液存储桶一端设置中抛液存储桶,所述中抛液存储桶一端设置精抛液存储桶。该新型供液配液混合系统具有对供液管道的压力进行监测的功能,避免供液管道发生爆管、漏液的现象,同时能够对输送的液体介质进行过滤,而且可以对输送的液体介质的液位进行监测,实用性好,适合广泛推广使用。
  • 一种供液配液混合系统
  • [实用新型]一种单晶硅棒多级酸洗设备-CN202121254190.1有效
  • 马胜南;轩云喜 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2021-06-03 - 2022-02-11 - B08B3/08
  • 本实用新型公开了一种单晶硅棒多级酸洗设备,包括机架,所述机架内通过螺栓及安装架安装酸洗箱,且机架内底部通过螺栓安装降温箱,所述机架一侧底部通过螺栓安装冷风机,且冷风机顶部出风端管道贯穿机架位于降温箱内,所述酸洗箱顶端设置有固定板,且固定板底部均通过螺栓及安装架安装机械手。本实用新型一种单晶硅棒多级酸洗设备,能够快速的对废液进行降温,并且,能够对机架内部进行通风,适合被广泛推广和使用。
  • 一种单晶硅多级酸洗设备
  • [实用新型]一种大直径硅圆片的去胶设备-CN202121252382.9有效
  • 马胜南;轩云喜 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2021-06-07 - 2021-12-28 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种大直径硅圆片的去胶设备,包括框体和清洗箱,所述框体内顶部设置有往复丝杆,且框体一侧顶部通过螺栓安装伺服电机,所述伺服电机一侧动力输出端贯穿框体通过联轴器连接往复丝杆,且往复丝杆外围套设有丝块,所述丝块底部通过螺栓安装电动液压推杆,且电动液压推杆底部输出端通过螺栓及安装架安装连接板,所述连接板底部两侧均通过螺丝安装L型板,且L型板底部表面均通过预留孔安装固定杆,所述固定杆外围套设有弹簧,且弹簧顶部焊接有压板。本实用新型一种大直径硅圆片的去胶设备,结构合理,使用合理,适合被广泛推广和使用。
  • 一种直径硅圆片设备
  • [实用新型]硅片自动校准机构-CN202121367179.6有效
  • 马胜南;马胜北 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2021-06-18 - 2021-12-28 - H01L21/677
  • 本申请涉及一种硅片自动校准机构,涉及半导体材料运输的领域,包括布置在输送带上的两个导向块、设置在两个导向块后侧的校准板以及带动校准板升降的升降组件;两个导向块之间间隔布置,两个所述导向块相对的面为斜面;所述校准板为弧形板,且所述校准板与所述硅片接触的面的弧度与硅片准确前进的前侧弧面相同,所述校准板大于所述硅片。本申请具有方便对输送带上运输的硅片进行校准的效果。
  • 硅片自动校准机构
  • [实用新型]一种硫酸药品柜-CN202021277690.2有效
  • 轩云喜;马胜南 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-07-02 - 2021-05-18 - A47B81/00
  • 本实用新型公开了一种硫酸药品柜,包括柜体,所述柜体顶部通过螺丝安装通风管,且通风管内通过螺栓安装风扇,所述柜体内通过螺丝安装一号放置板和二号放置板,且一号放置板位于二号放置板顶部,所述一号放置板和二号放置板顶部均设有承载板,且承载板顶部两侧均通过预留螺纹孔安装一号螺杆,所述一号螺杆底部均通过螺钉安装圆形压板,所述柜体底部通过螺栓安装可制动万向轮,且柜体内底部两侧均通过预留螺纹孔安装二号螺杆,所述二号螺杆底部均通过螺丝安装固定板。本实用新型一种硫酸药品柜,结构合理,使用便捷,适合被广泛推广和使用。
  • 一种硫酸药品柜
  • [实用新型]一种半自动酸洗清洗机-CN202021298339.1有效
  • 马胜南;轩云喜 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-07-06 - 2021-04-20 - B08B3/10
  • 本实用新型公开了一种半自动酸洗清洗机,包括SPM槽、槽盖和网槽,所述SPM槽的两侧通过电机安装座及螺栓安装有振动电机,所述SPM槽的底部通过安装架安装有氮气鼓泡管,所述SPM槽的顶部设置有槽盖,所述SPM槽内壁两侧通过固定螺钉安装有冷却管固定卡条,所述SPM槽内底端设置有网槽,所述网槽的顶部表层通过聚氨酯胶粘接有PP减震垫,所述PP减震垫的顶部表层设置有半球形凸起,所述SPM槽的一端通过螺栓安装有酸化水消毒液生成器。该新型半自动酸洗清洗机功能多样,操作简单,便于生产,满足了使用中的多种需求,适合广泛推广使用。
  • 一种半自动酸洗清洗
  • [实用新型]一种集中供液系统-CN202021298347.6有效
  • 马胜南;轩云喜 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-07-06 - 2021-04-20 - B01F13/10
  • 本实用新型公开了一种集中供液系统,包括槽体、三号进液管和二号进液管,所述槽体的一侧输入端连接有连通管,且连通管的输入端连接混药盒的输出口,所述混药盒的顶部通过安装座及螺钉安装有搅拌电机,所述混药盒的输入口分别连接有一号进液管、二号进液管和三号进液管,所述槽体的另一侧分别设置有一号出液管、二号出液管和三号出液管,所述一号出液管、二号出液管和三号出液管上均设置有电磁阀,所述一号出液管、二号出液管和三号出液管的输出口均连接有排放管,所述槽体的内表层设置有耐污层,所述槽体的顶部一端设置有冷却液输入管。该新型集中供液系统功能多样,操作简单,便于生产,满足了使用中的多种需求,适合广泛推广使用。
  • 一种集中系统
  • [实用新型]一种SPM酸洗机-CN202021331434.7有效
  • 马胜南;轩云喜 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-07-09 - 2021-04-20 - B08B3/08
  • 本实用新型公开了一种SPM酸洗机,包括固定箱体、固定板、酸洗槽和水箱,所述固定箱体内顶部通过连接杆连接有固定板,所述固定箱体内顶部一端设置有安装盒且安装盒内底部通过螺钉安装有PLC控制器,所述固定板一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机,所述固定板顶端一侧通过轴套安装有丝杆,所述丝杆底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块,所述固定板一侧两端均焊接有滑轨且滑动丝块端部位于滑轨内。该新型能方便进行取料放料,还能方便带动晶片在酸洗槽内进行一定程度的抖动,清洗效果佳,能方便对清洗槽进行升温和降温,便于对酸洗后产生的酸性废液进行定时排放,适合广泛推广使用。
  • 一种spm酸洗
  • [实用新型]一种手动清洗槽-CN202021241511.X有效
  • 轩云喜;马胜南 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-06-30 - 2021-04-20 - B08B3/02
  • 本实用新型公开了一种手动清洗槽,包括壳体、支撑板和外护壳,所述外护壳的内侧设置有石英槽,且石英槽与外护壳之间填充有保温棉,所述保温棉内侧通过陶瓷固定扣安装有自限温伴热带,石英槽的内表层设置有抑菌层,所述石英槽的顶部焊接有支撑板,所述支撑板的一端通过螺栓安装有壳体,所述壳体内设置有中空腔,且中空腔内通过陶瓷安装座安装有电热阻丝,所述壳体的顶部输入端通过螺钉安装有吸风扇,所述支撑板内侧通过螺钉安装有PP减震垫,且PP减震垫之间通过螺栓设置有喷淋管。该新型手动清洗槽功能多样,操作简单,便于生产,满足了使用中的多种需求,适合广泛推广使用。
  • 一种手动清洗
  • [实用新型]一种清洗机用供液管道-CN202021277689.X有效
  • 轩云喜;马胜南 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-07-02 - 2021-04-20 - B08B3/10
  • 本实用新型公开了一种清洗机用供液管道,包括输送总管、药液输送管和盒体,所述输送总管的底部一端输出口连接输送支管,且输送支管的底部连接盒体的输入口,所述盒体的一侧通过PP电机座及螺栓安装有电动机,所述PP电机座内设置有空腔,且空腔内等距离设置有聚氨酯胶点,所述盒体内设置有搅拌轴,所述盒体的顶部一端输入端连接药液输送管,且药液输送管的内表层设置有防腐层。该新型清洗机用供液管道功能多样,操作简单,便于生产,满足了使用中的多种需求,适合广泛推广使用。
  • 一种清洗机用供液管道
  • [实用新型]一种适用于多尺寸TEG基板的清洗花篮-CN202021241489.9有效
  • 轩云喜;马胜南 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2020-06-30 - 2021-02-02 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种适用于多尺寸TEG基板的清洗花篮,包括固定块、第一夹块和第二夹块,所述第二夹块两端分别通过胶水固定有第一滑动块和第二滑动块,所述第一夹块两端均通过胶水固定有固定块,所述固定块一端均开设有滑轨,所述第一滑动块和第二滑动块端部均位于固定块外侧,所述第一滑动块和第二滑动块内侧均设置有限位滑块且限位滑块位于滑轨内。该新型具备不同尺寸的插槽,能方便同时对不同尺寸的常用TEG基板进行清洗,夹持部分对待清洗件的遮挡面积小,使得清洗的死角更小,清洗效果好,夹紧效果佳,具备提手,能方便将清洗花篮从清洗液中提出,适合广泛推广使用。
  • 一种适用于尺寸teg清洗花篮
  • [发明专利]一种全自动硅片清洗机-CN201711242779.8有效
  • 马胜南 - 北京南轩兴达电子科技有限公司
  • 2017-11-30 - 2020-08-25 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种全自动硅片清洗机,其技术方案要点是:包括架体,架体内设有清洗部,清洗部分为上中下三层,下层为清洗层,清洗层内设有若干个清洗槽,中层为夹取输送层,夹取输送层内设有一次夹取多个硅片的夹取机构,上层为驱动层,驱动层内设有驱动夹取机构水平运动的牵引机构和驱动夹取机构上升下降的动力机构;夹紧机构包括承载板、两组夹紧部和两个驱动夹紧部夹紧的液压缸,两个夹紧部并列设置在承载板的下表面上,液压缸设置在承载板的上表面上。本发明的优点是可以一次自动清多个硅片,大大提高了硅片清洗的效率。
  • 一种全自动硅片清洗

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