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[发明专利]一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法-CN201910258889.6有效
发明人：南晓青;李冠稼 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片制造领域，特别涉及低能大束流离子注入机对硅晶圆注入离子工艺中的自动均匀性调节方法。一种低能大束流离子注入机均匀性调节的方法包括：线圈组的调节方法(1)、磁极组的调节方法(2)。其特征是先通过调节低能大束流机台特有的多个通电线圈的电流值，其次调节多个磁极的磁间距值来改变机台磁场分布环境，使离子束均匀注入至硅晶圆表面。其有益效果是：可以代替人工凭经验调节线圈组和磁极组的操作，节约调节均匀性指标的时间，提高晶圆注入剂量精度和稳定性。
一种低能流离注入均匀调节方法

[发明专利]离子注入期间束流突变的分级处理-CN201811309628.4有效
发明人：董静娟 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01J37/302 文献下载
摘要：本发明揭示一种对离子注入过程中的束流突变的分级处理方法。本发明涉及一种离子注入机，其包括：离子源模块12、将离子束加减速、偏转、聚焦等的束线模块14以及终端处理模块16。当离子注入过程中，有瞬态干扰发生时，根据其持续时间进行分级，并对不同级别的突变分别进行处理。
离子注入期间突变分级处理

[发明专利]一种离子注入机中靶上晶圆冷却及注入温度精确控制系统-CN201811306648.6有效
发明人：田龙;谢磊;李莉 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机中靶上晶圆冷却及注入温度精确控制的系统，包括：主控系统(1)、信号变送器(2)、红外温度探头(3)、冷却机(4)、水冷管路(5)、回水温度传感器(6)、气冷装置(7)、气冷管路(8)、靶盘(9)、晶圆(10)、气膜(11)。此系统实现全晶圆本身注入温度的精确检测，并准确实时地控制注入温度。
一种离子注入机中靶上晶圆冷却温度精确控制系统

[发明专利]一种双出口平行透镜-CN201811463631.1有效
发明人：张喻召;李晨冉;李士会 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明公开了一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度由入口进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。在离子注入机上，平行透镜的作用是通过磁场产生的磁场力，使带电离子在磁场中偏转不同的角度，从而使不同角度的离子束平行化，以同一角度注入晶圆。一般的平行透镜只有一个偏转方向，只能够对应一个靶室。本发明公开的平行透镜可以通过改变电流的方向，使离子束偏转进入不同的靶室，从而提高离子注入的产能。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种出口平行透镜

[发明专利]一种离子注入机光纤环路主控制器驱动程序提速方法-CN201811306650.3有效
发明人：周雷 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G06F9/4401 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机光纤环路主控制器驱动程序提速方法，包括：光纤环路主控制器板卡(1)、内存缓冲器(2)、计时器(3)、驱动程序(4)、界面程序(5)。其中光纤环路主控制器板卡(1)是必须的硬件设备，运行在的离子注入机上。内存缓冲器(2)和计时器(3)是Windows系统资源。驱动程序(4)和界面程序(5)是离子注入机软件的组成部分。
一种离子注入光纤环路主控驱动程序提速方法

[发明专利]一种离子注入机中通用可编程的束流骤变监测及响应系统-CN201811284396.1有效
发明人：田龙;袁志敏;郭世卿 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机中通用可编程的离子束流骤变监测及响应系统，涉及半导体装备制造领域，尤其涉及离子注入机中对离子束流瞬态变化(Glitch)的监测与响应。此系统通过可编程的硬件架构，可快速准确地捕捉Glitch的发生，还可与离子注入机中的剂量控制系统协同作业，实现对Glitch做出微秒级别响应，以解决离子注入机中由于Glitch发生引起的工艺产品失效。
一种离子注入通用可编程骤变监测响应系统

[发明专利]一种基于PCI总线协议双光纤环路冗余结构通讯板卡-CN201610582811.6有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G06F13/10 文献下载
摘要：本发明讲述的是一种基于PCI总线协议双光纤环路冗余结构通讯板卡。该发明由PCI总线接口(1)、双光纤接口(2)、控制板卡(3)组成。该发明是直接插在工业控制计算机的PCI插槽内，工业控制计算机通过对此通讯板卡进行写操作，将控制信息传送给通信板卡，通过FPGA控制板卡将PCI总线所发送的控制数据转换成光纤信号传送给各个下位机控制器，使下位机控制系统得到合理的控制，同时，各个下位机也可以通过光纤环将数字和模拟状态信息传送给通讯板卡，工业控制计算机通过读操作，将各个下位机的状态读回。说明书对本方法进行了详细的说明，并给出具体实施方案。
一种基于 pci 总线协议光纤环路冗余结构通讯板卡

[发明专利]一种多线圈电流控制的均匀性调节方法-CN201810754665.X有效
发明人：王锦喆;李冠稼 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01J37/302 文献下载
摘要：本发明阐述了一种多线圈电流控制的均匀性调节方法，其特征在于调节9个通电线圈的电流值改变磁场分布，来调节束流整体的均匀性。本方法包括：测量线圈未通电的束流base值(1)、9个线圈分别加相同的电流测量每一的次束流值(2)、根据测量结果算出线圈的影响范围和电流影响的幅度关系(3)、根据束流均值反解出每个线圈电流值(4)、上机验证调节效果(5)。
一种线圈电流控制均匀调节方法

[发明专利]一种二自由度电扫描装置-CN201810754734.7有效
发明人：马国宇;王锦喆 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种二自由度电扫描装置，用于将斑点状离子束扫描成水平条形发散离子束，所述装置包括，基板(1)，将电扫描装置安装在真空腔体上并具有真空密封作用；左扫描电极(2)与右扫描电极(6)成对使用，分别在两个扫描电极上施加不同的变化电压，这样离子束被水平扫开；通过在抑制电极(4)上施加负电压用于阻止二次电子向前传输；真空电极(5)用于真空腔室内外电压传输，在真空内分别连接两个扫描电极，在大气端连接扫描电源；驱动装置(3)和驱动装置(7)可以控制两个扫描电极相对束流中心做相向运动，同时还可以驱动两个扫描电极相对基板(1)同时前后移动。
一种自由度扫描装置

[发明专利]一种分段式等离子体束扫描装置-CN201810754776.0有效
发明人：张喻召 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种分段式等离子体束扫描装置，包括：前极板、中间极板、后极板、绝缘瓷柱、运动轴。三对扫描电极板可以单独加独立的电压；三对电极板可以沿运动轴方向运动，从而控制电极板之间的距离。在离子注入过程中，扫描电极用于将等离子体束流宽带化。当高能离子束通过扫描板时，可以减小扫描板之间的距离，从而减小所需要的扫描电源的电压；在低能离子束通过扫描板时，可以增大扫描板之间的距离，使低能扫描板上电压不至于太小，减小电压波动对于离子束注入的影响。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种段式等离子体扫描装置

[发明专利]一种双向聚焦质量分析器-CN201811357795.6有效
发明人：张喻召;肖志强;李士会 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种双向聚焦质量分析器，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、磁屏蔽板(4)、真空盒(5)。质量分析器磁极半径R为400mm，偏转角度为90°，磁极间距D为50mm，焦距1为83mm，入射角α和出射角β均为27.58°，质量分析器的质量分辨率为125。磁屏蔽板(4)距离磁极边界距离为50mm。在离子注入机上，质量分析器的作用是通过加不同的电流，使离子束有不同的运动轨迹，加上分析光栏后即可对离子种类进行筛选。束流通过双向聚焦的质量分析器后，会在水平方向与竖直方向分别对束流产生聚焦作用，在水平方向产生一个焦点，配合分析光栏筛选离子；在竖直方向也有聚焦作用，减小束流竖直方向发散度，提高束流的传输效率。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种双向聚焦质量分析器

[发明专利]一种检测束流角度的方法-CN201610589036.7有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2016-11-02 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测束流角度的方法，通过三个组成一排的法拉第来检测束流偏转角度，每个法拉第中有5个电流检测传感器，分别是顶部传感器、左边传感器、底部传感器、右边传感器、中心传感器，其中中心传感器由其他四个传感器包围。中心传感器是主要采集束流大小的，其他四个传感器是为了检测束流偏转方向以及角度而设计的，也是用来检测偏转的束流大小。通过这四个传感器分别检测到的束流值，与中心传感器检测到的束流值进行比较，计算得出束流偏转的方向和角度。简单介绍下整个束流角度测量的装置。在法拉第前面是石墨光栏，吸收无法检测到的束流。通过法拉第检测到的束流来判断束流偏转角度。
一种检测角度方法

[发明专利]一种四自由度磁场测试装置-CN201710485717.3有效
发明人：贾晓亮;王凯波 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01R33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)。其中龙门运动模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；探头连杆模块(2)由连杆底座、连杆、高斯探头组成。高斯探头位于连杆前端，可作360°转动，以便于测量磁场的不同分量；旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。本发明涉及磁铁测量装置，隶属于半导体制造领域。
一种自由度磁场测试装置

[发明专利]组件新型边框-CN201910931346.6在审
发明人：陶铁 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H02S30/10 文献下载
摘要：本发明公开一种组件新型边框，其新型边框包括长边框、短边框、定位角码。根据组件不同类型、不同尺寸，确定需要的新型边框中长边框、短边框不同尺寸要求。根据不同尺寸需求，组成不同组件类型。本发明在生产过程中可有效兼容不同组件类型、不同尺寸的组件边框要求，具有结构简单、便于操作的特点，降低成本，提高组件可靠性。
组件新型边框

[发明专利]一种新型的太阳光伏发电跟踪系统-CN201910931347.0在审
发明人：温若盟 -专利权人： 北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G05D3/10 文献下载
摘要：太阳能作为一种可以永续使用的绿色可再生能源，有着巨大的开发应用潜力。但由于光伏电池的输出特性与外界环境因素的变化有很大关系，目前大规模量产的光伏电池光电转换效率仍然不高且价格昂贵。光伏发电自动跟踪装置是提高太阳能利用率，降低光伏发电成本的有效途径。研究精确的太阳跟踪装置，可使光伏电池板接收到更多的太阳辐射能量，增加发电量。
一种新型太阳光发电跟踪系统

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