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- [发明专利]表面形状的测量方法和表面形状测量装置-CN202310270893.0在审
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森裕美子;加藤庆显
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株式会社三丰
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2023-03-20
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2023-09-22
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G01B11/30
- 提供了能够减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。表面形状的测量方法使用用于获取由参考光和测量光之间的光路差生成的干涉条纹图像的干涉仪光学头，通过使干涉仪光学头针对测量对象表面在沿干涉仪光学头的光轴的Z轴方向上从起点到终点进行扫描来获取N个干涉条纹图像，并且基于干涉条纹图像来对测量对象表面的表面形状进行测量。在该测量方法中，针对N个干涉条纹图像中的共同位置，关于由指示沿Z轴方向的干涉光强度的变化的N个点的值构成的干涉信号，来确定由预定分析波长的光产生的干涉条纹的相位，并且基于该相位来确定分析波长的范围内的测量对象表面在Z轴方向上的相对位置。
- 表面形状测量方法测量装置
- [发明专利]表面形状的测量方法和表面形状测量装置-CN202310270895.X在审
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森裕美子;加藤庆显
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株式会社三丰
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2023-03-20
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2023-09-22
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G01B11/30
- 提供能减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。在测量方法中，针对N个堆叠图像中的共同位置，根据通过对由指示干涉光强度沿Z轴方向的变化的N个点的值构成的干涉信号的平方值或绝对值进行积分而获得的、由N个点的值构成的积分曲线来确定：起点侧噪声部直线，其近似起点侧噪声部，起点侧噪声部位于测量对象表面的起点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；终点侧噪声部直线，其近似终点侧噪声部，终点侧噪声部位于所述测量对象表面的终点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；以及表面邻近直线，其近似与测量对象表面附近相对应的表面邻近部。
- 表面形状测量方法测量装置
- [发明专利]光电编码器-CN201710789110.4有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2017-09-05
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2023-04-18
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G01D5/347
- 本发明提供一种光电编码器，能够实现光源的耗电量的减少。编码器(1)具备：标尺(2)，其沿着测定方向具有刻度；检测头(3)，其具有经由标尺(2)接收从光源(4)照射的光的受光单元(5)，沿着标尺(2)的测定方向进行相对移动并检测与标尺2的相对移动量；控制单元6)，其控制检测头(3)。控制单元(6)具备：光量控制部(10)，其进行控制，以使光源(4)的光量增减，从而保持规定的受光量；错误判定部(11)，其基于由受光单元(5)接收的光判定错误；光量抑制部(12)，其在错误判定部(11)判定为错误时，停止光量控制部(10)的控制，抑制光源(4)的光量。由此，编码器(1)通过利用光量抑制部(12)抑制光源(4)的光量，能够实现光源(4)的耗电量的减少。
- 光电编码器
- [发明专利]标尺-CN202011228985.5有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2020-11-06
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2023-03-24
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G01D5/12
- 提供一种即使标尺图案的图案被划伤也能够保持测量精度的标尺。标尺(2)包括标尺图案(4)，标尺图案(4)在其表面上具有沿着测量方向以预定间距设置的多个单元图案。多个单元图案中的至少一个包括由环形导体形成的多个环形部分(8)。包括在单元图案中的多个环形部分(8)被布置成彼此隔开，使得环形部分(8)的重心在标尺(2)的表面上在测量方向上处于相同的位置。因此，包括在单元图案中的多个环形部分(8)可以防止磁通量分布的重心在测量方向上的偏移，即使多个环形部分(8)中的任何一个被划伤。因此，标尺(2)可以保持测量精度。
- 标尺
- [发明专利]电磁感应编码器-CN201910374383.1有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2019-05-07
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2022-06-14
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G01D5/245
- 提供了一种电磁感应编码器，其允许减小标尺上的轨道的数目，以减小标尺的尺寸。电磁感应编码器包括具有标尺图案的标尺、头部和计算单元。头部包括发送单元和接收单元，发送单元包括发送线圈，接收单元包括接收线圈。标尺图案具有第一图案和第二图案，第一图案使得接收线圈接收正电流，第二图案使得接收线圈接收负电流。计算单元包括：确定单元，其当检测到正电流时确定电流与第一图案相关联，并且当检测到负电流时确定电流与第二图案相关联；信号生成单元，其基于确定的结果生成由表示第一图案的“1”和表示第二图案的“0”形成的信号；以及位置计算单元，其基于由信号生成单元生成的信号计算头部的位置。
- 电磁感应编码器
- [发明专利]光电旋转编码器-CN202111443635.5在审
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加藤庆显;水谷都
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株式会社三丰
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2021-11-30
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2022-06-03
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G01D5/347
- 提供了一种光电旋转编码器，其中在采用三格栅原理的同时可以保持检测精度。光电旋转编码器1包括：大致盘状的标尺2，其具有沿着测量方向以预定周期形成的格栅状图案20，测量方向是在预定轴线上旋转的测量目标的旋转方向，标尺是板状的并且以旋转轴线为中心；以及头部3，其从标尺2检测由测量目标的旋转引起的位移量。头部3包括光源4、具有多个格栅部分50的衍射单元5和具有多个光接收元件60的光接收单元6。衍射单元5的多个格栅部分50形成为多个变形格栅部分，其沿着标尺2的格栅状图案20从旋转轴线的中心向外宽展。多个光接收元件60形成为多个线性格栅部分，其从标尺2的旋转轴线上的中心沿着正交于径向方向的正交方向具有预定周期。
- 光电旋转编码器
- [发明专利]光电式编码器-CN201710064164.4有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2017-02-04
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2020-12-01
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G01D5/347
- 光电式编码器(1)具备标尺(2)和检测头(3)，该检测头(3)具有发光部(4)、索引(5)以及检测部(6)。索引(5)具备：第一索引部(50)，其由沿标尺2的长边方向以规定间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成；以及第二索引部(51)，其由以第一索引部(50)的两倍的间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成。标尺(2)包含第一图案部(20)和第二图案部(21)而构成，该第一图案部(20)由沿标尺(2)的长边方向以规定间距交替地并列设置的衍射部与非衍射部构成，该第二图案部(21)由配置成方格状的衍射部与非衍射部构成。
- 光电编码器
- [发明专利]光学编码器-CN201610405937.6有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2016-06-08
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2020-11-13
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G01D5/36
- 本发明提供一种光学编码器，其中，标尺(140)包括以周期P形成的标尺光栅。光源光栅(120)包括以周期2P形成的光栅，该光源光栅(120)配置在光源(110)和标尺(140)之间。干涉条纹检测部件(150)被配置为能够以周期P来检测干涉条纹的明部，其中该干涉条纹是通过光源光栅(120)和标尺(140)所生成的。干涉条纹检测部件(150)检测由来自标尺(140)的光所形成的第一干涉条纹和由来自标尺(140)的光所形成的第二干涉条纹，其中第二干涉条纹的明部的位置相对于第一干涉条纹的明部的位置偏移了周期P的一半(即，P/2)。
- 光学编码器
- [发明专利]形状测量装置-CN202010227400.1在审
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2020-03-27
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2020-10-23
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G01B11/24
- 一种设置在形状测量装置上的头部，包括与光源和光接收器整体位移的半透明的触笔头，并且布置在光源和光接收器之间。触笔头包括使来自光源的光入射到触笔头内部的入射部分、全反射入射光的反射部分和向光接收器发射被全反射的光的光发射部分。由被全反射表面全反射的光在测量表面处产生倏逝光。触笔头使测量表面和可测量物体的表面面向彼此，将测量表面与可测量物体的表面分开，并且被布置成使得倏逝光到达可测量物体的表面。
- 形状测量装置
- [发明专利]光编码器-CN202010227261.2在审
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2020-03-27
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2020-10-20
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G01D5/347
- 光编码器的标尺中的标尺图案包括第一标尺标记和第二标尺标记，第一标尺标记阻挡第一光被引导到图像捕获器并且将第二光引导到图像捕获器，第二标尺标记将第一光和第二光引导到图像捕获器。第二标尺标记被布置成ABS图案，并且第一标尺标记通过结合第二标尺标记被布置成INC图案。图像捕获器包括：从经由第二标尺标记到达的第一光捕获ABS图案的图像的第一图像捕获部；以及从经由第一标尺标记和第二标尺标记到达的第二光捕获INC图案的图像的第二图像捕获部。计算器计算头部相对于标尺的位置。
- 编码器
- [发明专利]光编码器和光编码器的计算方法-CN202010227255.7在审
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2020-03-27
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2020-10-09
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G01D5/347
- 一种光编码器，包括：标尺；头部，其包括光源、图像捕获器和具有第一透镜和第二透镜的透镜阵列；和计算器。该计算器包括：信号生成器，其生成正弦波信号；分析区域提取器，其提取第一分析区域和第二分析区域；信号组合器，其基于区域间距离，使用第二分析区域的正弦波信号来生成延伸到第一分析区域的第一端的正弦波信号，使得生成的正弦波信号与第一分析区域的正弦波信号重叠，并且将第一分析区域的正弦波信号与该生成的正弦波信号进行组合；以及位移量计算器，其基于由信号组合器组合的正弦波信号来计算相对位移量。
- 编码器计算方法
- [发明专利]编码器-CN201610041774.8有效
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加藤庆显
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株式会社三丰
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2016-01-21
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2020-03-03
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G01D5/26
- 本发明涉及一种编码器。在标尺中，形成有参考检测图案和位移检测图案。检测头输出参考检测信号、相位补偿信号和位移检测信号。信号处理单元通过对相位补偿信号和参考检测信号其中之一或这两者进行放大并进行相加来生成参考信号，并且检测检测头相对于标尺的位置。复合受光光栅包括参考检测用受光光栅和被配置成相对于参考检测用受光光栅在测量方向上发生偏移的相位补偿用受光光栅。复合受光元件包括被配置为输出参考检测信号的参考检测用受光元件和被配置为输出相位补偿信号的相位补偿用受光元件。
- 编码器
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