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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种硅片图像采集装置及采集方法-CN202310781849.6在审
发明人： 刘配龙;刘涛荣;倪文利;郑家驹 -专利权人：诺德凯（苏州）智能装备有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H04N23/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片图像采集装置，包括输送流线和第一采集单元，输送流线至少为两条，两条输送流线平行设置，两条输送流线上分别设置有第一光电开关；第一采集单元包括第一相机和第一光源，第一光源安装在两个输送流线的上方，且第一光源位于第一光电开关靠近输送流线下游一侧，第一相机可升降地安装在第一光源的正上方。输送流线位于第一光电开关的上游安装有第二光电开关，第二光电开关处安装有第二采集单元。通过面阵相机计算两个硅片前后距离的偏差值，通过偏差值确定扫描长度，当靠前的硅片触发第一光电开关时，激活线扫描相机进行图像获取，实现对两组硅片进行图像的收集，同时检测两个半片硅片，大大提高了采集效率。
一种硅片图像采集装置方法

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