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- [实用新型]一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉-CN202020245510.6有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-30
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C30B15/00
- 本实用新型公开一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉，包括底部高温板、下保温筒、中保温筒、上保温筒以及上保温板，上保温筒包括上外保温筒和上内保温筒，上外保温筒连接提升机构并能在提升机构的驱动作用下做上下往复移动。本实用新型通过将上保温筒分为上外保温筒和上内保温筒，在熔料阶段，上外保温筒扣合在中保温筒的顶部，上保温筒的厚度大于或等于中保温筒的厚度，从而减少热量的散失，进而减少硅料的熔料时间，降低能耗；在等径生长阶段，上外保温筒在提升机构的作用下向上提升，此时上保温筒的厚度小于中保温筒的厚度，从而降低热场上部的温度，提高热场的纵向温度梯度，进而提高晶体的等径生长速度，降低单晶硅棒生产的能耗。
- 一种单晶炉用保温结构单晶炉
- [实用新型]一种单晶炉用反射板-CN202020245512.5有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-30
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C30B15/00
- 本实用新型公开一种单晶炉用反射板，包括固化碳毡层和反射层，反射层的边缘向固化碳毡层一侧折弯形成折弯边；固化碳毡层中部开设有托杆孔、以几何中心为圆心的边缘开设有多个电极孔以及开设于相邻两电极孔之间的多个排气孔；反射层上开设有与所述托杆孔、电极孔以及排气孔一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。本实用新型通过在固化碳毡层表面覆盖反射层，反射层将炉内加热器辐射过来的热量反射至坩埚处，有利于热场温度的均匀，使单晶炉内的热场温度均匀，减少了炉底热量的损失，降低了单晶硅棒生产的能耗；采用钼板、钨板、钨钼合金板或铱板等材料作为反射层，其熔点高，不易破裂，导热系数低，有效减缓了反射板的老化，延长了其使用寿命。
- 一种单晶炉用反射
- [实用新型]一种单晶炉用组合坩埚-CN202020246248.7有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-30
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C30B15/10
- 本实用新型公开一种单晶炉用组合坩埚，包括相互扣合的埚筒和埚碗，所述埚筒包括上埚环、下埚环、N根埚条以及2N个紧固件，N根所述埚条的两端分别可拆卸的连接所述上埚环和下埚环并形成筒状结构，相邻两根所述埚条之间具有间隙，所述下埚环可拆卸的连接埚碗；其中N个所述紧固件连接所述上埚环与埚条的一端，另外N个所述紧固件连接所述下埚环与埚条的另一端。本实用新型采用上埚环、下埚环、多条埚条以及紧固件实现埚筒的整体结构设计，结构简单，安装拆卸方便；在制造半导体硅单晶的过程中出现埚筒局部破损或失效时，只需更换部分埚条或上埚环、下埚环，而不会造成整个坩埚报废，节约了碳‑碳复合材料资源，降低了半导体硅单晶的生产成本。
- 一种单晶炉用组合坩埚
- [实用新型]一种单晶炉用加热器-CN202020245532.2有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-20
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C30B15/14
- 本实用新型公开一种单晶炉用加热器，包括加热器主体和加热器脚，加热器主体包括加热器上部、加热器中部以及加热器下部；加热器中部的轴向横截面积与加热器上部或加热器下部的轴向横截面积比大于或等于2/3且小于或等于3/4，加热器中部的轴向高度与加热器主体的轴向高度比大于或等于1/2且小于或等于3/4。本实用新型通过将加热器中部的横截面积设计成小于加热器上部和加热器下部的结构，从而使加热器中部的电阻相对较大，进一步使得加热器中部的功率增加，从而使得熔料时间会缩短；在加热器总功率不变的情况下，热场的轴向温度梯度相对增大，从而使得等径生长的速度增大，减少了等径生长时间，提高了半导体硅单晶的生产效率。
- 一种单晶炉用加热器
- [实用新型]一种单晶炉用底部加热器-CN202020246244.9有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-20
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C30B15/14
- 本实用新型公开一种单晶炉用底部加热器，包括相互连接的加热器主体和加热器脚，加热器主体的截面呈等厚度碗状结构，加热器主体上沿碗状弧面均匀开设有多条长槽，长槽包括相互交错布置的第一长槽和第二长槽；第一长槽由加热器主体的底部向上延伸形成，第二长槽由加热器主体的顶部向下延伸形成。本实用新型将加热器主体设计为等厚度碗状结构，该碗状结构与坩埚底部形状一致或接近使得本实用新型的各处距离坩埚底部等距或接近等距，从而确保坩埚底部受热均匀，热场的径向温度场均匀，提高本实用新型的发热效率，较现有技术中采用单层平面结构的底部发热器熔料阶段时间减少了5％‑10％。
- 一种单晶炉用底部加热器
- [实用新型]一种单晶炉用组合导流筒-CN202020246255.7有效
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陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
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湖南金创新材料有限公司
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2020-03-03
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2020-10-20
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C30B29/06
- 本实用新型涉一种单晶炉用组合导流筒，包括相互配合的内筒和外筒，内筒呈锥形管状，套设于外筒内，内筒与外筒之间形成有空腔，空腔内填充有隔热内芯，内筒的大径端设有凸缘式的第一连接法兰，相应的，这一端的外筒也设有凸缘式的第二连接法兰，内筒和外筒通过两者连接法兰上的多个固定装置固定连接，空腔靠近第一连接法兰一端的空间小，远离第一连接法兰一端的空间大；本实用新型通过锥形管状内筒的抛光内壁的设计提高对硅棒接晶部分潜热的散发，从而提高晶体的生长速率，并配合组合式内筒外筒间空腔中的隔热内芯上薄下厚的设计，形成对热场纵向温度梯度的拉伸，进一步提高等径生长速度，降低等径生长时间，从而降低单晶硅棒生产的能耗。
- 一种单晶炉用组合导流
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