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[发明专利]超导磁体及失超保护电路-CN202310404551.3在审
发明人：郑国栋;刘赛波;何爱军;张海栋;苏小海;刘黎明;许皆平 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01F6/06 文献下载
摘要：本公开提出一种超导磁体及失超保护电路，其中，超导磁体及失超保护电路，包括：由多个超导线圈串联构成的超导磁体以及与至少一个超导线圈并联的失超保护电路，其中，失超保护电路，包括：多个串联连接的二极管模块，多个串联连接的二极管模块的两端分别与至少一个超导线圈两端连接；以及与至少一个二极管模块并联连接的加热模块，其中，加热模块包括至少一个加热器，能够利用二极管导通电压恒定的特点，实现加热模块恒压加热、恒功率输出的效果，既加快了失超保护的响应速度，又提升了失超保护加热系统的安全及稳定性。
超导磁体保护电路

[发明专利]超导磁体和半导体单晶炉-CN202211632765.8在审
发明人：苏小海;刘黎明;许皆平;刘赛波;张海栋;刘统亮;张利坤;牛加振;何爱军 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01F6/04 文献下载
摘要：本发明公开一种超导磁体和半导体单晶炉，超导磁体包括真空筒体、超导磁组、线圈骨架和支撑拉杆组，真空筒体具有环形腔，超导磁组至少有一个，超导磁组位于环形腔内并包括两个超导线圈，线圈骨架和超导线圈的数量相等并一一对应，超导线圈卷绕在相应线圈骨架上，支撑拉杆组与线圈骨架的数量相等并一一对应，支撑拉杆组连接真空筒体和相应线圈骨架，以便于将超导线圈固定在环形腔内的设定位置。本发明提供的超导磁体具有超导线圈在真空筒体内的固定成本低、冷却成本低的优点。
超导磁体半导体单晶炉

[发明专利]散热电气柜-CN202310215302.X在审
发明人：张利坤;苏小海;牛加振;刘赛波;刘黎明;于勇臻;郑国栋;何爱军 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种散热电气柜，散热电气柜包括柜体、液冷箱、进水管、出水管和第一散热风扇，柜体具有密封的容纳腔，液冷箱安装于容纳腔内并具有发热件安装位，液冷箱具有液冷流道，液冷箱具有与液冷流道连通的进水口和出水口，进水管和出水管均与柜体密封相连，进水管的第一端与进水口相连，出水管的第一端与出水口相连，进水管的第二端和出水管的第二端均外露于柜体外，第一散热风扇安装于容纳腔内，第一散热风扇形成的空气流路与液冷箱相对。本发明提供的散热电气柜具有散热稳定、可靠，应用场景广泛的优点。
散热电气

[发明专利]单晶硅生产设备、超导磁体及其磁场调节方法-CN202211447379.1在审
发明人：何爱军;许皆平;刘黎明;刘赛波;苏小海;张海栋 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01F6/06 文献下载
摘要：本发明公开一种单晶硅生产设备、超导磁体及其磁场调节方法，超导磁体包括超导磁组和电源，超导磁组至少有两个并包括第一线圈和第二线圈，至少两个超导磁组中的至少两个第一线圈沿第一线圈的轴向间隔排列，至少两个第一线圈均位于第一平面的上方，至少两个超导磁组中的第二线圈均与相应第一线圈相对第一平面对称布置，电源与超导磁组一一对应，超导磁组中的第一线圈和第二线圈串联在相应电源的供电回路上。本发明提供的超导磁体具有对硅熔体的对流抑制效果更好，拉制成型的单晶棒的含氧量低的优点。
单晶硅生产设备超导磁体及其磁场调节方法

[发明专利]超导磁体冷却容器、超导磁体冷却装置和单晶硅生产设备-CN202310093213.2在审
发明人： 刘赛波;苏小海;张海栋;许皆平;刘黎明;于勇臻 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： H01F6/04 文献下载
摘要：本发明公开一种超导磁体冷却容器、超导磁体冷却装置和单晶硅生产设备，超导磁体冷却容器包括冷却室，超导磁体包括多个超导线圈，冷却室的数量与超导线圈的数量相等并一一对应，每个冷却室具有冷却腔和供相应超导线圈容置的容纳腔，冷却腔邻近容纳腔，冷却室中分隔冷却腔和容纳腔的部分由导冷材料制成，冷却腔的底部和顶部分别设有液氦进口和氦气出口。本发明提供的超导磁体冷却容器具有液氦的储备和消耗量小，超导磁体的冷却成本低的优点。
超导磁体冷却容器装置单晶硅生产设备

[发明专利]超导磁体冷却容器、超导磁体冷却装置和单晶硅制作设备-CN202211632759.2在审
发明人：许皆平;刘赛波;苏小海;张海栋;刘黎明;何爱军 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01F6/04 文献下载
摘要：本发明公开一种超导磁体冷却容器、超导磁体冷却装置和单晶硅制作设备，超导磁体冷却容器包括冷却室，超导磁体包括多个超导线圈，冷却室的数量与超导线圈的数量相等并一一对应，每个冷却室均包括盖体和供相应超导线圈卷绕的线圈骨架，盖体与线圈骨架相连，盖体和线圈骨架之间构成容置超导线圈的冷却腔，冷却腔的底部和顶部分别设有液氦进口和氦气出口。本发明提供的超导磁体冷却容器具有液氦的储备和消耗量小，超导磁体的冷却成本低的优点。
超导磁体冷却容器装置单晶硅制作设备

[发明专利]超导磁体和单晶硅生产设备-CN202211447364.5在审
发明人：何爱军;许皆平;刘黎明;张海栋;刘赛波;苏小海 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01F6/06 文献下载
摘要：本发明公开一种超导磁体和单晶硅生产设备，超导磁体包括用于成型勾形磁场的第一超导磁组和第二超导磁组，第一超导磁组包括两个第一线圈，两个第一线圈沿第一线圈的轴向间隔排列，两个第一线圈相对第一平面对称布置，第二超导磁组包括两个第二线圈，两个第二线圈均位于两个第一线圈之间，两个第二线圈相对第一平面对称布置，第二线圈的匝数小于第一线圈的匝数。本发明提供的超导磁体具有对硅熔体的对流抑制效果更好，拉制成型的单晶棒的含氧量低的优点。
超导磁体单晶硅生产设备

[发明专利]一种自循环超导磁体及半导体单晶炉-CN202211480180.9有效
发明人：苏小海;刘黎明;许皆平;刘赛波;张海栋;刘统亮;张利坤;牛加振;何爱军 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01F6/06 文献下载
摘要：本公开提出一种自循环超导磁体及半导体单晶炉，其中，自循环超导磁体包括：直流电源；至少一个超导磁组，至少一个超导磁组串联在直流电源的供电回路上，超导磁组包括：两个串联的超导线圈；自循环开关，自循环开关与至少一个超导磁组并联，自循环开关用于在至少一个超导磁组励磁后使至少一个超导磁组形成自循环回路；冷却装置，冷却装置用于使超导线圈和自循环开关处于超导临界温度以下。在本公开的一种自循环超导磁体及半导体单晶炉中，避免使用较多数量的直流电源，同时也避免使用较多数量的散热部件等辅助器件，而且还减小了保磁过程中交流电转直流电的电能损耗，从而有效降低了半导体单晶硅的生产成本。
一种循环超导磁体半导体单晶炉

[发明专利]一种超导磁体磁场实时监控系统及方法-CN202211480001.1在审
发明人： 刘赛波;刘黎明;郑国栋;许皆平;张海栋;刘统亮;何爱军 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01R33/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导磁体磁场实时监控系统及方法，其中，该系统包括：传感器，用于采集磁场的多个检测信号；检测切换装置，用于根据预设的第一切换指令将多个检测信号中的第一检测信号，切换传输至多通道检测仪表；多通道检测仪表，用于对第一检测信号进行低通带阻滤波的信号过滤，并输出过滤后的第一检测信号；PLC控制系统，用于接收过滤后的第一检测信号，并发送第二切换指令至检测切换装置切换传输多个检测信号中的第二检测信号，以完成本轮信号检测。本发明自动测量，无需人工参与，省去测量设备架设时间，单次测量时间缩短，节省了人力资源。提高了测量精度，大幅提高测量效率，可实现高频次测量和磁场实时检测。
一种超导磁体磁场实时监控系统方法

[发明专利]一种超导磁体自动升降场系统及参数控制方法-CN202211483208.4在审
发明人：郑国栋;刘赛波;刘黎明;许皆平;张海栋;苏小海;刘统亮;何爱军;于勇臻 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导磁体自动升降场系统及参数控制方法，其中，该系统包括：生产系统，用于根据预设的生产指令，分别发送第一控制指令和第二控制指令至磁体控制系统和拉晶工艺系统；拉晶工艺系统，用于根据第二控制指令，生成拉晶工艺系统运行数据；磁体控制系统，用于接收第一控制指令，并响应第一控制指令得到磁体运行的控制参数，并根据拉晶工艺系统运行数据以调整所述磁体运行的控制参数。本发明根据不同的生产工艺需求，通过内置特性曲线，自动升降场。即节省了人力成本，又更加贴近工艺需求从而有效提高生产效率、减小生产成本、提高产品质量。
一种超导磁体自动升降系统参数控制方法

[发明专利]一种可实现多级气体分流的磁流体密封装置-CN202011286330.3有效
发明人：张楚楠;张瀛;周永君;刘黎明;刘赛波 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： F16L39/06 文献下载
摘要：本发明为了克服现有技术中气体一般通过静止的外壳直接进入腔体内部，对于整体的气路设计局限较大，且加工方式较为复杂的技术问题，提供一种可实现多级气体分流的磁流体密封装置，包括传动轴，套设在传动轴外的基座，基座两端和传动轴之间分别设有轴承和磁流体密封组件，传动轴上设有导流孔，导流孔的一端与腔体连通，传动轴的周面上设有与导流孔连通的气孔，轴承包括分别位于磁流体密封组件两侧的第一轴承和第二轴承，气孔位于第一轴承和第二轴承之间，基座上设有供气组件。本申请中气体通过动密封处及动密封之间进入转轴，再经转轴上的深孔进入腔体内部，气管排布设计更为方便，外壳的设计加工更为简单。
一种实现多级气体分流流体密封装置

[实用新型]一种双轴转动的磁流体密封装置-CN202022809048.0有效
发明人：张瀛;张楚楠;刘黎明;周永君;刘赛波 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F16J15/43 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双轴转动的磁流体密封装置，旨在解决现在的磁流体密封装置对于多层转动结构体积较大，布置不易的不足。该实用新型包括内轴和外轴，内轴插装并转动连接在外轴中，外轴上固定连接有第一磁极片，内轴对应第一磁极片沿轴向方向排布有沿径向方向伸出的极靴环，外轴插装在基座并相对基座转动，基座上固定连接有第二磁极片，外轴对应第二次级片位置套装有磁套，磁套的外壁面对应第二磁极片沿外轴的轴向方向排布有沿径向方向伸出的极靴环，所述极靴环与内轴或磁环之间设有流通间隙。通过在外轴上套设长度较外轴短的磁套，更为方便，也更省空间；在非运动部件之间采用密封圈密封，更好的提高了装置整体的密封性。
一种转动流体密封装置

[实用新型]一种可以模拟磁流体轴端受力的测试装置-CN202022663897.X有效
发明人：张瀛;周永君;张楚楠;刘赛波;刘黎明 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本实用新型为了克服在应用场景中对磁流体组件直接进行测试的难度较高，且测试的精准度难以得到有效把控技术问题，提供一种可以模拟磁流体轴端受力的测试装置，包括传动轴，传动轴的一端与电机相连，传动轴部分位于腔体内部，传动轴靠近其另一端的周面上套设有轴承，轴承外设有轴承座，轴承座上连接有活塞杆的一端，活塞杆延伸至腔体外侧，活塞杆的另一端连接有拉力传感器，拉力传感器远离活塞杆的一端设有调节组件。本申请可实现对磁流体轴端受力的模拟测试，且检测结果可通过拉力传感器直接读出，测试操作便捷且效率较高。
一种可以模拟流体轴端受力测试装置

[发明专利]一种用于磁控直拉单晶的线圈结构及磁控直拉单晶的方法-CN201810291309.9有效
发明人：汤洪明;傅林坚;刘黎明;刘赛波 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C30B30/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于磁控直拉单晶的线圈结构及磁控直拉单晶的方法，属于半导体制造技术领域，包括上下同轴设置的第一线圈和第二线圈，第一线圈和第二线圈正中间设置有辅助线圈，辅助线圈与第一线圈同轴设置；通电时，第一线圈和第二线圈中的电流反向。本发明通过在第一线圈和第二线圈之间增设辅助线圈，在一对同轴反向线圈的基础上，使辅助线圈产生的磁场与一对反向线圈产生的磁场相互叠加，从而增强了磁场的强度，提高了单晶硅的品质。此外，通过设置辅助线圈调节和优化磁场，能够调节磁场的均匀度，从而对单晶炉内的熔体热对流的抑制具有一致性，使制得的单晶硅具有很高的纯度，同时减轻了磁体的重量。
一种用于磁控直拉单晶线圈结构方法

[发明专利]一种用于磁控直拉单晶的磁体结构及磁控直拉单晶的方法-CN201810298489.3在审
发明人：汤洪明;傅林坚;刘黎明;刘赛波 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于磁控直拉单晶的磁体结构及磁控直拉单晶的方法，属于半导体制造技术领域，该磁体结构包括多个串联且周向设置于单晶炉外部的线圈，所述线圈呈两两对应设置，且对应设置的两个线圈以单晶炉的中心对称，每一所述线圈包括同轴设置的主线圈和副线圈，线圈通电时，所述主线圈和所述副线圈内的电流方向相反。本发明通过将线圈设置为主线圈和副线圈，并向主线圈和副线圈通入相反方向的电流，使得副线圈产生的磁场能够有效地抵消主线圈在外部产生的磁场，通过主动屏蔽的方式减小了磁体结构的漏磁场。此外，本发明通过采用主动屏蔽的形式减少漏磁场，降低了磁体结构的重量，节省了磁体结构的制造成本。
磁体结构副线圈直拉单晶主线圈磁控主动屏蔽单晶炉漏磁场磁场半导体制造技术电流方向同轴设置线圈设置线圈通电制造成本中心对称周向设置反方向有效地外部减小串联抵消

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