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- [实用新型]一种搬运机器人-CN202223261182.7有效
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林世权;胡敬祥;刘全益
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深圳市梦启半导体装备有限公司;深圳市长盈精密技术股份有限公司
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2022-12-06
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2023-06-09
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B65G47/90
- 本实用新型涉及一种搬运机器人,包括升降机构、连接于升降机构的顶部的旋转机构,以及连接于旋转机构上的伸缩机构;伸缩机构包括与旋转机构连接的第一滑动模组,以及连接于第一滑动模组上的第二滑动模组;第二滑动模组由第一滑动模组驱动动作;第一滑动模组包括连接于旋转机构的第一安装板、设于第一安装板上的第一滑动轨道,以及滑动连接于第一滑动轨道上的第二安装板;第一安装板与第二安装板平行设置;第二滑动模组包括设于第二安装板上的第二滑动轨道、滑动连接于所述第二滑动轨道上的滑动块,以及设于所述滑动块上的臂板;所述臂板远离所述滑动块的端部设有取料部。本实用新型提供搬运机器人结构简洁、生产成本低、且能够进行远离距离快速稳定搬运传输。
- 一种搬运机器人
- [实用新型]晶圆加工平台-CN202221878981.6有效
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刘全益;胡敬祥
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深圳市梦启半导体装备有限公司
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2022-07-07
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2023-03-28
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B28D5/00
- 本实用新型提供一种晶圆加工平台,包括:X轴驱动组件、Z轴驱动组件、旋转驱动组件以及可吸附晶圆的吸附组件,Z轴驱动组件安装在X轴驱动组件上并由X轴驱动组件驱动进行沿X轴的运动,旋转驱动组件安装在Z轴驱动组件上并由Z轴驱动组件驱动进行沿Z轴的运动,吸附组件安装在旋转驱动组件上并由旋转驱动组件驱动进行旋转运动;吸附组件包括吸盘、连接导管以及旋转连接头,吸盘安装在Z轴驱动组件上,吸盘的顶部开设有吸附槽,吸附槽的底部与连接导管的一端连通,连接导管的另一端与旋转连接头连接,Z轴驱动组件具有沿Z轴方向延伸的第一通孔,连接导管贯穿第一通孔设置,连接导管与Z轴驱动组件之间设有轴承。
- 加工平台
- [实用新型]晶圆搬运手臂-CN202221708919.2有效
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刘全益;胡敬祥;胡灿辉
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深圳市梦启半导体装备有限公司
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2022-07-04
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2023-02-21
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H01L21/687
- 本实用新型提供一种晶圆搬运手臂,其包括Z轴驱动组件、旋转驱动组件、X轴驱动组件、第一臂、第二臂以及晶圆托板;旋转驱动组件与Z轴驱动组件固定连接,第一臂固定于旋转驱动组件的顶部,第二臂滑动安装在第一臂的顶部,晶圆托板滑动安装在第二臂的顶部;X轴驱动组件的第三旋转驱动件的输出轴设有第一同步轮,第一臂设有第二同步轮,第一同步带绕设在第一同步轮和第二同步轮上,第一同步带固定设有第一连接块,第一连接块还与第二臂固定连接,第二臂的两端分别设有第三同步轮和第四同步轮,第二同步带绕设在第三同步轮和第四同步轮上,第二同步带上设有第二连接块和第三连接块,第二连接块还与第一臂连接,第三连接块还与晶圆托板连接。
- 搬运手臂
- [发明专利]一种晶圆倒角装置-CN202211096270.8在审
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刘全益;胡敬祥
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深圳市梦启半导体装备有限公司
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2022-09-08
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2023-02-03
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B24B9/06
- 本发明涉及半导体产品加工设备技术领域,特别涉及一种晶圆倒角装置,包括机架、固定单元和磨削单元,所述固定单元包括用于吸附晶圆片的真空吸盘、驱动真空吸盘旋转的旋转机构和使旋转机构竖直上下移动的竖向调节机构和驱动所述旋转机构向远离或靠近所述磨削单元方向移动的水平驱动机构,所述真空吸盘通过气管与外部抽真空机连通,磨削单元包括磨轮组件和第一驱动机构,磨轮组件包括与磨轮本体和套设在所述磨轮本体外的磨削套,磨削套上形成有多个与第一驱动机构的输出轴同轴设置的开口宽度可调的环形磨削槽。本发明能有效延长磨轮的使用时间,减少磨轮的更换频次,提高工作效率。
- 一种倒角装置
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