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[发明专利]检查装置-CN201310447050.X有效
发明人：鹤野真一郎;出口和宏;中村昌弘 -专利权人：新东超精密有限公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置，能够准确地检查金属掩模片，所述检查装置具有至少一个张力部（13），对向金属掩模框安装之前的金属掩模片（4）施加预先设定的规定的检查用张力；以及在所述张力部对所述金属掩模片施加了张力的状态下测定所述金属掩模片的尺寸的尺寸测定部、测定所述金属掩模片的挠曲的挠曲测定部及检查所述金属掩模片的外观缺陷的外观检查部中的至少一个。
检查装置

[发明专利]测量装置的控制方法-CN200510004280.4有效
发明人： 出口和宏 -专利权人：株式会社扫佳
申请日： 2005-01-05 - 公布日： 2006-03-15 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种测量装置的控制方法，缩短同时测量多个测量对象时所需的测量时间。设定表示测量头(20、22)的移动目的地的测量点，基于设定的测量点的坐标，驱动Y轴驱动部(26)，使测量头(20、22)整体移动到测量点附近，之后，对由搭载在测量头(20、22)上的摄像机的摄像得到的图像进行处理，并根据其处理结果，使测量头(20、22)分别非同步地沿X轴用架(12)移动，并且，沿Y1S轴或Y2S轴进行微调，把各测量头(20、22)定位在测量点上，利用PC30对由搭载在测量头(20、22)上的摄像机拍摄得到的图像进行处理，对测量台(18)上的平面板(42)的图形的微小尺寸进行测量。
测量装置控制方法