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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]高电流电子束检测-CN200480022822.4无效
发明人：亚历山大·卡迪舍维奇;迪米特里·舍尔;克里斯托弗·塔尔伯特 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2004-06-07 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G01R31/307 文献下载
摘要：本发明是有关于一种用于检测晶片检测的方法和设备。该设备能够检测一样品，该样品具有一至少部分导电的第一层，以及形成于所述第一层上方的第二介电层，接着并在所述第二层内生成接触开口，该设备包括：(i)一适于导引一荷电粒子高电流束以同时照射分布在该样品一区域上多个位置处的大量接触开口的电子束源；(ii)一适于测量流过所述第一层的样品电流的测量装置，以响应在所述多个位置处大量的接触开口上的照射；以及(iii)一适于提供一可代表至少一缺陷通孔的指示的控制器，以响应所述测量结果。
电流电子束检测

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