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- [实用新型]真空镀膜装置-CN202320545348.3有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-08-08
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C23C14/02
- 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜装置包括装片室、预加热室、工艺腔室和搬送室，装片室、预加热室和工艺腔室分别设于搬送室周向的不同位置，装片室能存储多个待处理工件，搬送室内设置有机械手，机械手能将待处理工件搬送至预加热室，并能将加热后的待处理工件搬送至工艺腔室；预加热室内设置有加热工件架，加热工件架上能放置多个待处理工件，待处理工件能被置于加热工件架上加热。该真空镀膜装置通过单独设置预加热室，同时对多个待处理工件进行预加热，提高了真空处理效率；同时避免了待处理工件中的水汽等杂质受热逸出影响工艺腔室的内部环境，从而提高了真空处理的品质。
- 真空镀膜装置
- [实用新型]真空镀膜机-CN202320546417.2有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-08-08
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C23C14/34
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。靶材移动小车上还设置有安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，安装机构转动能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换，以便在靶材单元需要维护时，将靶材单元旋转至维护位，将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。
- 真空镀膜
- [实用新型]真空镀膜机-CN202320547291.0有效
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卢鹏;马淑莹
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-08-08
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C23C14/54
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体公开了一种真空镀膜机。真空镀膜机，包括镀膜机体，镀膜机体内部设置有镀膜腔，还包括真空调节机构，真空调节机构用于调节镀膜腔的真空度，真空调节机构包括：过渡腔体，具有过渡腔、连通口及抽气口，连通口间隔设置有至少两个，且连通口能够连通过渡腔和镀膜腔，抽气口与过渡腔连通；调节组件，至少部分连通口处设置有调节组件，调节组件用于调节对应连通口的开度；真空泵，与抽气口对接，以通过过渡腔对镀膜腔抽真空。本实用新型公开的真空镀膜机，能够在不改变真空泵运行状态的基础上，镀膜过程中实时对真空度进行调节，提高调节效率和调节便利性，且能够提高镀膜腔内的真空均匀性，提高镀膜效果。
- 真空镀膜
- [实用新型]基板输送装置及真空镀膜设备-CN202320412380.4有效
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汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-07
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2023-07-28
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B65G35/00
- 本实用新型公开了基板输送装置及真空镀膜设备，该基板输送装置包括输送机构，输送机构包括滚轮组件和第一驱动组件，滚轮组件包括多个沿第一方向间隔分布的滚轮组，滚轮组包括多个沿第二方向间隔分布且均转动设置于安装基体的滚轮，沿滚轮的轴向，至少两个相邻的滚轮的轮轴之间通过活动结构连接，基板能放置于滚轮上，第一方向与第二方向垂直；第一驱动组件被配置为能带动多个滚轮组的滚轮转动于安装基体。能够降低滚轮和轮轴的加工精度要求，便于加工和安装滚轮的轮轴，能够减小传递至滚轮组的轮轴的扭转力矩，降低滚轮组的轮轴被拧断的风险，降低电机过载报警的几率，提升基板输送装置的使用寿命和使用安全性。
- 输送装置真空镀膜设备
- [实用新型]公自转转架装置及真空镀膜机-CN202320546002.5有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-07-25
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对公转轴转动，公转轴通过公转驱动件驱动，公转盘设于公转轴的端部；自转子轴设置有多个，多个自转子轴间隔布设于公转盘的周向；自转轴远离公转盘的一端与自转驱动件连接，另一端伸入公转盘内部，并通过传动机构与多个自转子轴连接，自转子轴与公转盘外部的工件架连接，公转盘包括第一护板和安装架，公转轴设于第一护板的中心，公转盘内设有容纳腔，传动机构位于容纳腔内。该公自转转架装置产生的颗粒少，密封性好，避免颗粒影响外部环境。
- 转转装置真空镀膜
- [实用新型]镀膜装置-CN202320412379.1有效
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汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-07
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2023-07-21
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C23C14/35
- 本实用新型公开了镀膜装置，该镀膜装置用于对曲面基板进行镀膜，镀膜装置包括镀膜室，镀膜室包括与曲面基板的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源，以及膜厚修正机构，膜厚修正机构包括第一膜厚修正板和第二膜厚修正板，第一膜厚修正板设置于镀膜源的开口的周边区域，第二膜厚修正板设置于第一膜厚修正板和曲面基板之间；沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第一区域，第二膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第二区域，第二区域包括曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域。能够有效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。
- 镀膜装置
- [实用新型]基板输送装置-CN202320412378.7有效
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汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-07
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2023-07-21
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B65G35/00
- 本实用新型公开了基板输送装置，用于输送基板，该基板输送装置包括沿安装基体的高度方向间隔设置于安装基体的输送机构和防倾倒机构，基板设置于输送机构且位于防倾倒机构和输送机构之间，输送机构能够带动基板沿第一方向运动，第一方向垂直于安装基体的高度方向，防倾倒机构包括设置于安装基体的防倾倒驱动组件，以及防倾倒件，防倾倒件连接于防倾倒驱动组件的输出端，防倾倒驱动组件被配置为能够带动防倾倒件沿第一方向运动，防倾倒件能与基板抵接。能够避免基板在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板和/或输送机构的现象，且提升了对基板的输送效率。
- 输送装置
- [实用新型]真空镀膜设备-CN202320412550.9有效
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戴晓东;余海春;杨启忠
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-07
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2023-07-18
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C23C14/56
- 本实用新型公开了真空镀膜设备，对于该真空镀膜设备，基板输送室能与基板交换室连通或断开，真空镀膜室还能与基板交换室连通或断开；第一平移机构能够带动基板装载架沿第一方向运动；基板交换机构被配置为能带动基板装载架沿第一方向运动，能带动基板装载架沿第二方向运动，且能带动基板装载架沿第三方向升降，第一方向和第二方向相互垂直且均垂直于第三方向；真空镀膜室的中心区域设有中心毂架，以及沿周向围设至中心毂架的外周的多个镀膜源，中心毂架能带动基板装载架绕自身中心轴线转动。该真空镀膜设备的结构简单，占用面积小，降低了真空镀膜设备的生产成本，提升了真空镀膜设备通用性和实用性。
- 真空镀膜设备
- [发明专利]一种镀膜基板装载架及镀膜设备-CN202111553533.9在审
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戴晓东;马淑莹
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光驰科技（上海）有限公司
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2021-12-17
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2023-06-20
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C23C14/50
- 本发明属于真空镀膜技术领域，公开了一种镀膜基板装载架及镀膜设备，其包括骨架盘、调节组件和装载板，骨架盘包括平行间隔设置的两个安装盘，外部驱动机构能够驱动骨架盘绕安装盘的中心线转动；调节组件包括固定板，至少一个固定板设置于至少其中一个安装盘上，固定板和安装盘两者中的一个上具有多个安装位，固定板通过不同安装位安装于安装盘时，能够使固定板沿安装盘的径向位于不同的安装位置，骨架盘和调节组件均设置于工艺腔内；装载板用于装载基板，装载板连接于固定板朝向工艺腔的内壁的一端。本发明的镀膜基板装载架及镀膜设备，兼容不同曲面曲率的基板，降低了生产成本。
- 一种镀膜装载设备
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