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[发明专利]一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法-CN202210714592.8有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，属于半导体材料技术领域，所述的低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，包括以下步骤：(1)将浇铸得到的铝钪合金靶坯进行热轧或锻造处理；(2)将步骤(1)热轧或锻造处理后的靶坯进行热处理；(3)将步骤(2)热处理后的靶坯进行C扫描缺陷，并标记缺陷类型和位置；(4)将靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造；(5)将步骤(4)热轧或锻造处理后的靶坯再次进行C扫描，将靶坯加工至成品。本发明通过在热轧或者再经过HIP处理之后，经过C扫描，确认缺陷，并标记缺陷类型和位置，针对靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造，能够有效的消除缺陷，提升靶坯的质量。
一种低钪铝钪合金缺陷处理方法

[实用新型]一种防基带翘曲装置及流延机-CN202320494635.6有效
发明人：朱明敏;童培云;王云;徐建洋;陈文英;王权龙;朱绍琪;罗贤科 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B28B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及流延机技术领域，公开了提供了一种防基带翘曲装置及流延机，所述防基带翘曲装置包括底座、支撑梁、调节组件和压迫块；所述底座用于固定至流延机上；所述支撑梁固定于所述底座的上端并沿第一方向延伸；所述调节组件设于所述支撑梁上；所述压迫块连接于所述调节组件的下端并位于所述支撑梁的下方；其中，所述调节组件能够促使所述压迫块上升或下降，以调节所述压迫块的高度；本实用新型所提供的在应用于流延机时，能够对基带上的翘曲部分进行压迫整平，以有效解决基带的翘曲问题。
一种基带装置流延机

[发明专利]一种硅铝靶材及其制备方法-CN202310925167.8在审
发明人：文崇斌;朱刘;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明所述硅铝靶材的制备方法不同于现有技术，先将硅粉和铝粉进行特定预处理得到均匀的硅铝合金，随后再将硅铝合金破碎成粉末进行等离子喷涂最终得到硅铝靶材，该产品的不仅对设备的要求低，可实现规模生产，同时还有效解决了现有等离子喷涂制备硅铝靶材中铝元素损失且分布不均匀的问题，硅铝靶材不同位点的铝元素分布误差最低只有0.2wt％。
一种硅铝靶材及其制备方法

[发明专利]一种锌镁靶材及其制备方法-CN202111050306.4有效
发明人：黄宇彬;余飞;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及靶材技术领域，公开了一种锌镁靶材及其制备方法，其中，其制备方法包括以下步骤：将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。采用本发明的制备方法制作的锌镁靶材，其内部物缺陷，致密度较高，平均晶粒小于200微米，采用此锌镁靶材进行溅射，均匀并细小的晶粒不仅有助于获得膜厚均匀统一的薄膜功能层，且可避免溅射过程中发生放电及点火现象。
一种锌镁靶材及其制备方法

[发明专利]一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法-CN202111529596.0有效
发明人：沈文兴;白平平;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法，所述模具包括：模具本体，所述模具本体设有第一槽以及在所述第一槽的底部开设的第二槽，所述第二槽用于放置靶坯，所述第一槽用于在焊料加入到所述靶坯上时形成焊料阻碍区；以及至少两个定位卡件，所述定位卡件可移动地设在所述模具本体上，且可移动到所述第二槽内，以定位所述靶坯。
一种陶瓷绑定模具方法

[发明专利]一种工业化生产电池用氧化银的方法-CN202210214106.6有效
发明人：王权;朱刘;刘洋;许伟瑜 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C01G5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工业化生产电池用氧化银的方法，属于电池材料领域。该方法包括以下步骤：(1)在25‑50℃、搅拌下，将硝酸银水溶液和氢氧化钠水溶液同时注入含有纯水的反应釜中，控制反应液的pH为9‑12，当反应液的体积达到反应釜的80％时，停止加入硝酸银，继续加入氢氧化钠，保持pH为12，继续搅拌反应1‑2h后；停止搅拌，待反应液进行静置分层，将上清液抽出，得到第一次氧化银浆料；(2)重复步骤(1)1‑3次，最后将得到的氧化银浆料经过洗涤、干燥，得到平均粒径为5‑30μm的氧化银粒子。本发明的方法解决了传统生产氧化银粉末中含有细颗粒的问题，且方法简单，氧化银易批量生产。
一种工业化生产电池氧化银方法

[实用新型]用于金属提纯的浇铸炉-CN202221768598.5有效
发明人：姚雁斌;潘松成;张文涛 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： F27B14/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于金属提纯的浇铸炉，包括用于溶解原料的熔炼炉和控制阀，熔炼炉设有的中空腔体且下方开设有出料口；控制阀与出料口连接且用于控制出料口的开启和闭合。本方案通过上述设置，利用原料溶解后分层的现象，直接通过排料口排出下层金属溶液，无需等到副产品捞出清理干净，提高金属提纯的工作效率，同时将原料溶解和金属溶液的浇铸位于不同的炉体中进行，可保证残留于熔炼炉的副产品不会对后续下一批产品造成影响，避免发生交叉污染，提高金属提纯的精度。
用于金属提纯浇铸

[发明专利]一种基于高温烧结法得到的氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法-CN202310691428.4在审
发明人：谭洪蕾;邵学亮;李开杰 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种基于高温烧结法得到的氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，采用氧化铟铈钽钛前驱体经过烧结得到氧化铟钛钽铈靶材；所述烧结的工艺参数为：将氧化铟铈钽钛前驱体置于烧结炉中，以0.5‑1℃/min升温至600‑800℃，保温2‑3h，以0.8‑1.2℃/min升温至1200‑1350℃，进行保温时间为5～10h，继续以0.8‑1.2℃/min升温至1450‑1520℃，进行保温6‑8h，自然降温得到氧化铟钛钽铈靶材；氧化铟铈钽钛前驱体中含有氧化铟、氧化钛、氧化钽、氧化铈；氧化铟、氧化钛、氧化钽、氧化铈的摩尔比为81‑87：2‑8：1‑3：5‑11。该靶材采用梯度烧结的方式，实现了氧化铟钛钽铈靶材的导热性能的提高和电子迁移率的改善。同时，本发明还提供了该靶材。
一种基于高温烧结得到氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法

[发明专利]一种碲化铋基合金晶棒的破碎方法及碲化铋基合金粉体-CN202310711579.1在审
发明人：苏紫珊;蔡新志;童培云;申璐琴 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B02C1/14 文献下载
摘要：本发明涉及热电材料技术领域，提供了一种碲化铋基合金晶棒的破碎方法及碲化铋基合金粉体，该方法的步骤依次主要包括固定、锤击破碎、筛分；本发明破碎的粉体颗粒更好地保持了区熔晶棒原有的取向，使成型块体材料的取向度大大提高，从而有益于块体材料性能优化提升的研究。破碎得到的碲化铋基合金粉体颗粒均匀，相比采用粉碎机、球磨机制备的粉体，本发明的粉体更大程度地保持了取向结构。
一种碲化铋基合金破碎方法合金粉

[发明专利]一种小晶粒金属的制备装置及制备方法-CN202210255472.6有效
发明人：黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种小晶粒金属的制备装置，其技术方案：包括定型模具，所述定型模具包括导电底板、设有通槽的绝缘板，所述绝缘板与导电底板紧密配合使通槽的一侧封闭，所述通槽与导电底板配合形成用于容纳液态金属材料的容纳腔；还包括一脉冲电源，所述脉冲电源的正极与一导电柱连接、负极与导电底板连接；所述导电柱用于插入定型腔内的液态金属材料中使脉冲电源的正极、负极形成电回路；还提出一种小晶粒材料的制备方法，属于靶材制备技术领域。
一种晶粒金属制备装置方法

[发明专利]一种碲化锌掺杂靶材及其制备方法与应用-CN202210677305.0有效
发明人：周荣艳;文崇斌 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C04B35/515 文献下载
摘要：本发明公开了一种碲化锌掺杂靶材及其制备方法与应用，属于太阳能薄膜电池技术领域；所述制备方法包括以下步骤：(1)取碲化锌与掺杂物混合均质预压；(2)预压结束后在减压环境下以10‑20℃/min的升温速率加热至500‑700℃下保温，保温结束后加压并保压、降温，得碲化锌掺杂靶材；所述掺杂物包括砷、锑的单质或其化合物。本发明提供的碲化锌掺杂靶材纯度和密度均较高且具有优异的光电转换效率；同时，本发明提供的制备方法中先均质预压，再以一定的升温速率加热保温、加压保压，从而能够避免掺杂物的挥发，使其均匀掺杂，从而改善靶材的电阻率，提升其导电性；本发明提供的碲化锌掺杂靶材的制备工艺简单、对设备要求低、成本低，有利于实际生产。
一种碲化锌掺杂及其制备方法应用

[发明专利]一种碲硒镉靶材及其制备方法-CN202110663628.X有效
发明人：周荣艳;吴彩红;文崇斌 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C04B35/515 文献下载
摘要：本发明公开了一种碲硒镉靶材，涉及太阳能电池领域。所述碲硒镉靶材，包括以下组分：CdSe粉和CdTe粉；其中，所述CdSe粉和CdTe粉的摩尔比为：CdSe粉：CdTe粉＝1:3.5‑4.5。本发明提供的制备工艺简单，对设备要求较低，成本较低，制得的靶材纯度和密度均较高。
一种碲硒镉靶材及其制备方法

[发明专利]氧化锡掺杂靶材、提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位的方法-CN202310678791.2在审
发明人：罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位的方法，在真空、烧结温度为1300‑1600℃条件下，将氧化锡掺杂靶材前驱体、单质钛置于同一环境中，保温一段时间得到氧化锡掺杂靶材。该方法通过选用在烧结温度下能够迅速与氧结合的金属与前驱体进行非接触式共烧，可显著提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位。同时，本发明还提供了该氧化锡掺杂靶材。
氧化掺杂提高表面空位方法

[发明专利]一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法-CN202310691429.9在审
发明人：李开杰;邵学亮;罗斯诗;顾德盛;张兴宇 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法。所述制备方法为：按质量比为98.73～99.42:0.43～0.19:0.64～0.30:0.20～0.09称取氧化铟、氧化铈、氧化钽和氧化钛粉末，将氧化铈、氧化钽和氧化钛粉末加入到分散剂水溶液中分散研磨，得到浆料一，然后加入氧化铟粉末分散研磨，得到浆料二，再加入粘结剂分散研磨得到浆料三；通过喷雾造粒，混料和筛分，得到混合氧化物粉末经干压和冷等静压，最后热处理，得到低锆含量氧化铟铈钽钛靶材。本发明通过限定各氧化物粉末的成分配比及配合特定的制备工艺，可显著提高靶材的相对密度和降低靶材因研磨带入的锆含量。
一种含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法

[发明专利]一种Ln系元素掺杂In-Zn基氧化物靶材的金相显示方法-CN202310691431.6在审
发明人：谭洪蕾;邵学亮;李开杰;顾德盛;罗斯诗 -专利权人： 先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本申请属于靶材检测技术领域，公开了一种Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的金相显示方法，包括以下步骤，使用砂纸打磨、使用抛光液抛光、使用腐蚀液腐蚀、腐蚀后冲洗、干燥、金相显微镜下观察Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的表面，得到金相组织图像；所述腐蚀液有氢氟酸、盐酸、水制备得到，所述氢氟酸、盐酸、水的体积比为1～1.2：1～1.2：20，通过上述方法进行金相显示，得到了一种成像准确、晶界清晰的Ln系元素掺杂In‑Zn基氧化物靶材的金相组织图像。
一种 ln 元素掺杂 in zn 氧化物金相显示方法

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