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[发明专利]一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭-CN202310711504.3在审
发明人：岳晓聪;黄宇彬;李明山;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B22D27/08 文献下载
摘要：本发明属于合金铸锭废品回收加工技术领域，公开了一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭，该合金铸锭缺陷修复方法包括如下步骤：步骤1：将内部含有缩松和/或气孔的合金铸锭放入浇铸模具内升温软化；步骤2：待合金铸锭软化后振动浇铸模具，并下压铸锭表面；步骤3：降温，取出合金铸锭；其中，振动的振动频率为35‑40kHZ；所述步骤2下压铸锭表面的具体操作为：采用干净怵头在铸锭表面向下压5次，每次下压的压力为200‑300公斤力，下压时间为2‑4s，相邻的两次下压时间间隔为10‑12s；所述合金铸锭为至少含有镍、铬、铝、钇金属的合金铸锭。本发明通过振动浇铸模具和下压铸锭表面结合对合金铸锭施力，合金铸锭内部的缩松、气孔等缺陷减少，修复合金铸锭的缺陷。
一种合金铸锭缺陷修复方法

[发明专利]高纯铝硅铜靶坯的制备方法-CN202310693689.X在审
发明人：董小雨;黄宇彬;黄娟;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明属于金属加工技术领域，公开了一种高纯铝硅铜靶坯的制备方法，包括以下步骤：依次加热预处理、镦粗锻造、多向轧制、热处理高纯铝硅铜铸锭，得到高纯铝硅铜靶坯。通过上述方法处理得到的铸锭组织内部均匀、晶粒尺寸分布均匀、无裂纹。而且本发明提供的工艺流程简单、完成时间短、成本低，利于工业化推广应用。
高纯铝硅铜靶坯制备方法

[发明专利]一种CoFeB合金靶材及其制备方法-CN202310678692.4在审
发明人：欧海玲;马国成;童培云;张壮壮 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请属于靶材制备领域，公开了一种CoFeB合金靶材的制备方法，包括以下步骤，按CoFeB合金靶材中铁钴硼的配比将硼颗粒投入熔炼坩埚，随后将钴片、铁片投入熔炼坩埚内并覆盖在硼颗粒表面，盖上设备炉盖，进行抽真空、升温加热及雾化操作，待设备冷却后将收集的合金粉末过筛，得到粒径＜150um的CoFeB合金原料；将制得的CoFeB合金原料放入包套内进行热等静压烧结，将烧结后的CoFeB合金材料机加工，得到CoFeB合金靶材；通过上述操作，使得熔炼过程中硼的流失情况得到抑制，进而使得生成的CoFeB合金靶材中各组分的含量得到精准的控制。
一种 cofeb 合金及其制备方法

[发明专利]一种平面靶材的绑定方法-CN202210649943.1有效
发明人：黄宇彬;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及平面靶材技术领域，提供了一种平面靶材的绑定方法，包括步骤：S1、在靶坯的连接面和背板的连接面分别开设相对应的锥孔；S2、在靶坯的连接面和背板的连接面各涂抹一层锡层；S3、将靶坯和背板加热，靶坯的锥孔和背板的锥孔受热膨胀；S4、将连接销钉的一端插入靶坯的锥孔，另一端插入背板上对应的锥孔；并将靶坯的连接面和背板的连接面紧贴；S5、将靶坯和背板冷却，靶坯和背板的锥孔收缩，将连接销钉拉紧，实现靶坯和背板自动对心，并实现逐步拉紧，最终完成平面靶材的绑定。本发明工艺简单方便，成本低，且绑定稳固，适用范围广。
一种平面绑定方法

[发明专利]一种CdIn合金靶材及其制备方法-CN202210029388.2有效
发明人：余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法，属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备，简单快速，成本低廉。本发明制备方法不受制于热压烧结设备及烧结模具的限制，可实现尺寸和形状的自由调整。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度，致密度接近100％，明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95％的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能，具有良好的塑性和韧性，克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大，磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
一种 cdin 合金及其制备方法

[发明专利]中空背板的靶材绑定方法-CN202210287868.9有效
发明人：行卫东;董亚栋;黄宇彬;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及金属靶材制备技术领域，公开了一种中空背板的靶材绑定方法，包括以下步骤：制作与背板匹配的垫块；将所述垫块和靶坯放置于加热桌，将所述背板套装于所述垫块；打开所述加热桌进行加热，将所述背板和所述靶坯升温至预设温度；在所述加热桌上进行所述靶坯和背板的绑定；将绑定完成的所述靶材冷却至室温，对绑定完成的所述靶材进行检测。上述方法提高了温度传递的效率，可以提高背板绑定面各部位温度的均匀性，减少了空鼓的出现，从而避免靶材绑定失败后的多次退绑、再绑定工序，减少了铟焊料的使用以及人工成本，极大节约了经济成本；有效的减少了铟焊料的氧化，显著提高了焊合率以及焊接强度。
中空背板绑定方法

[实用新型]用于热等静压设备铜电极脱出的夹具-CN202223323201.4有效
发明人：徐铸;马国成;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型属于工装夹具设计领域，公开了一种用于热等静压设备铜电极脱出的夹具。包括提拉结构、动力元件和支撑结构，所述支撑结构包括底座和支撑件，所述支撑件用于支撑所述底座；所述提拉结构包括连接件、导向件和顶板，所述顶板和所述连接件分别设置在所述导向件的上下两端，所述连接件与电极可拆卸连接，所述导向件用于引导所述连接件上下移动；所述动力元件通过推动所述顶板带动所述连接件相对所述底座上下移动。本实用新型的夹具结构简单，在脱出铜电极时不必人工拔取，也不会造成中心偏离导致电极损伤的情况，既减少了人力，也增加了电极的使用寿命。
用于静压设备电极脱出夹具

[实用新型]一种松手即停式刹车装置-CN202321319590.5有效
发明人：汪强;徐涛;张莉兰;高建成;钟小华 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B62B5/04 文献下载
摘要：本实用新型属于手推车配件技术领域，涉及一种松手即停式刹车装置。松手即停式刹车装置包括：手动控制结构，手动控制结构包括手刹、连接线、固定座和活动轴，手刹设置在把手上，固定座固定设置在手推车上，固定座设有滑槽，活动轴与滑槽滑动连接，连接线的一端固定在手刹上，连接线的另一端固定安装在活动轴远离车轮的一端；自动复位结构包括卡环和弹性件，卡环设置在活动轴靠近车轮的一端，弹性件设置在活动轴外，弹性件的两端分别与卡环和固定座抵接；制动结构包括相互配合的第一制动件和第二制动件，第一制动件固定设置在所述活动轴靠近所述车轮的一端，第二制动件设置在车轮上。本实用新型能够实现松手即停。
一种松手即停式刹车装置

[发明专利]一种铜和不锈钢的热等静压扩散连接方法及一种铜和不锈钢焊接板-CN202310249369.5在审
发明人：马国成;欧海玲;徐铸;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K20/00 文献下载
摘要：本发明属于异种金属扩散连接技术领域，公开了一种铜和不锈钢的热等静压扩散连接方法及一种铜和不锈钢焊接板，所述铜和不锈钢的热等静压扩散连接方法包括以下步骤：步骤1：将铜和不锈钢的待连接面表面处理使带连接面光滑无杂质；步骤2：将步骤1得到的铜和不锈钢进行包套包装并真空密封；步骤3：将步骤2得到的包套进行热等静压扩散连接得到成品；其中，所述步骤2的具体步骤为：将铜和不锈钢装入包套中装配连接，然后送入真空脱气炉内升温至300‑350℃，保温3‑5h，在此过程中对包套进行抽真空形成密封。本发明在抽真空阶段能够充分将包套内的水汽和氧气，减少后续热等静压阶段的氢化物和氧化物的生产，有效提高产品的抗拉强度和焊接面结合率。
一种不锈钢静压扩散连接方法焊接

[发明专利]一种用于旋转靶材的钛背管的制备方法-CN202310249873.5在审
发明人：黄宇彬;谭雪清;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及溅射靶材技术领域，提供了一种用于旋转靶材的钛背管的制备方法，包括以下步骤：将无缝钛管的一端采用三爪中空卡盘固定在机床上，用带滚轮的中心架压紧钛管的外表面，加工内径；将加工好的钛管固定在数控机床上，加工钛管的外表面，加工过程中采用跟刀架紧跟刀具；放入热处理炉中进行热处理；然后采用液压校平机对钛管进行校直；装配法兰、螺纹堵头，抽真空后，对法兰、螺纹堵头进行焊接；最后气密性检测，焊缝抛光。本发明通过采用带滚轮的中心架和跟刀架来对钛管的内径和外表面进行加工，加工后钛管壁厚均匀性更好，再通过热处理和校直后，通过设置特定的转速和电流，在电子束焊接设备内进行焊接，保证焊接效果和焊接后的接头强度。
一种用于旋转钛背管制备方法

[发明专利]一种旋转靶材半成品切割上料用夹具-CN202211006280.8有效
发明人：徐涛;张莉兰;汪强;高建成;钟小华 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转靶材半成品切割上料用夹具，包括支撑管，支撑管两端的外侧壁上均螺纹连接有末端支撑环，每个末端支撑环的外侧壁上均设置有四个调整丝杆，每个调整丝杆的上端均通过轴承转动设置有弧形承接板，每个弧形承接板靠近末端支撑环的一侧均对称固定有两个侧导杆，侧导杆活动贯穿至末端支撑环内，支撑管的外侧壁上活动设置有两个中间支撑机构；本发明在使用时，将该支撑管从待夹持固定的旋转靶材半成品本体的内部穿出，然后转动两个末端支撑环靠近旋转靶材半成品本体的内壁，接着转动各个调整丝杆，从而推动弧形承接板靠近旋转靶材半成品本体的内壁，从而对旋转靶材半成品本体从内部对其进行夹持固定，使用方便。
一种旋转半成品切割上料用夹具

[发明专利]一种靶材组件的摩擦焊接方法-CN202210029513.X有效
发明人：黄旭东;黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明涉及焊接技术领域，公开了一种靶材组件的摩擦焊接方法，本摩擦焊接方法利用高速旋转的靶材与背板摩擦产生的热量使第一凸台和第二凸台局部熔化，并在焊具的挤压下形成致密的固相焊缝，相较于钎焊而言，本摩擦焊接方法通过熔化形成焊接结合层，比钎焊的铟结合强度更高，耐高温性能更好，不易脱焊；相较于电子束焊接而言，第一凸台和第二凸台的焊接区域更大，也即，冶金结合的面积更大，整体强度更高；相较于扩散焊接而言，本摩擦焊接方法耗时更短，且无需采用惰性气体或其他工作条件进行保护，成本较低；其次，本摩擦焊接方法摩擦力较小，对设备要求较低，能耗较低，且焊接耗时更短，并且，小面积的接触摩擦不易导致靶材或背板整体变形。
一种组件摩擦焊接方法

[发明专利]一种钨硅合金靶材的制备方法-CN202111519475.8有效
发明人：程少磊;马国成;欧海玲;庄成康;徐铸;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种钨硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)以硅粉和钨粉为原料，将硅粉真空加热后，水淬处理；(2)将水淬后的硅粉放入球磨罐中进行真空球磨，然后真空干燥；(3)将真空干燥后的硅粉加入到硫酸和盐酸的混合液中超声处理；然后用水清洗，洗后放入干燥箱真空干燥；(4)将硅粉与钨粉进行真空球磨；(5)将钨硅粉末进行真空感应加热处理；(6)将初步合金化的钨硅粉末进行球磨处理；(7)将混合粉末烧结、机加工、去除渗碳层，得到所述钨硅合金靶材。本制备方法提高了钨硅合金靶材的性能，降低了钨硅靶材对于温度和压力的敏感度，提高靶材的致密度和均匀性，防止在镀膜过程中因为气孔产生的污染和镀膜后薄层的不均一性。
一种合金制备方法

[发明专利]一种半导体钽靶材及其锻造方法-CN202210234356.6有效
发明人：丁跃跃;行卫东;董亚栋;童培云 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于靶材锻造技术领域，公开了一种半导体钽靶材及其锻造方法。取钽锭在变形量20％～40％，单次变形量控制在≤10％的多道次小变形量条件下镦粗拔长，然后酸洗，将酸洗后的钽锭在1250～1400℃进行第一次真空热处理；再次重复镦粗拔长和酸洗后在950～1150℃温度下进行第二次真空热处理；再次重复镦粗拔长、酸洗和950～1150℃真空热处理两次，得到所述半导体钽靶材。本发明通过四次镦粗拔长锻造方式，采用合理的多道次小变形量，压实了疏松组织，焊合了微观孔洞，增大钽靶坯的致密度。所得半导体钽靶材的平均晶粒在50～70μm之间，整体{111}织构占比30％。
一种半导体钽靶材及其锻造方法

[实用新型]一种旋转靶材的定位夹具-CN202320496864.1有效
发明人：陆杨军;郭庆生;蒋波;赖家俊 -专利权人： 先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K37/053 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转靶材的定位夹具，涉及一种靶材夹具，包括支撑底座和端部底座，所述支撑底座和端部底座之间通过连接螺杆固定连接，所述支撑底座的一侧设置有固定板，所述固定板的中部卡合连接有靶管，所述靶管的中部套设有靶材，所述靶材的靠近支撑底座的一侧设置有定位套管，所述定位套管的一侧设置有调节环，所述调节环靠近定位套管的一侧卡合连接有调节垫片；本实用新型装置结构简单，不易发生故障，安装使用方便；通过设置调节环以及与调节环卡合连接的调节垫片，对定位套管进行抵紧限位，进而实现对靶材的限位，由于调节垫片卡合连接易于安装拆卸，使得本装置能够将靶材夹持限位于不同位置，满足不同的夹持定位需要。
一种旋转定位夹具

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