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[发明专利]一种摩擦副部件及其制备系统与制备方法-CN202210564148.2有效
发明人： 傅立超;冯良;肖丽红;张斌 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F02M59/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于共轨泵的摩擦副部件及其制备系统与制备方法，涉及轴承摩擦副技术领域；包括直套、垫片、通油口、定位唇、高分子耐磨材料层，直套与垫片同轴固定连接，直套周侧平行于轴线方向具有接缝，接缝朝向定位唇，垫片的圆心与接缝最短连线的延伸线经过定位唇的宽度范围。解决了目前垫片、直套分离式组装由于垫片的旋转运动会磨损安装座，产生铁屑或杂质堵塞油路故障等失效的问题；不需要分两条线组装产品，组装效率比之前的提高了50%以上，大大降低了人工成本和设备的投入；保证直套与垫片的连接强度、保证尺寸和形位公差，同时使摩擦副部件的负载强度大大提高，增加摩擦副的使用寿命，通油、储油效果更好，使用效果更佳。
一种摩擦部件及其制备系统方法

[实用新型]一种自润滑耐磨轴套-CN202221201679.7有效
发明人： 傅立超;肖丽红;蒋鸿凯;范佳乐 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F16C33/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及自润滑轴套技术领域，且公开了一种自润滑耐磨轴套，包括轴套和开设于轴套侧壁的转动凹槽，转动凹槽的内部转动设有环形板，轴套的内外表面两侧均开设有多个润滑孔，润滑孔的内部转动设有转杆，转杆的杆壁固定套设于润滑组件，润滑组件与环形板之间固定设有拉带，环形板的左侧固定设有按压板，按压板呈环形设置，轴套的内壁两端与环形板的外侧之间设有用于限制环形板位置的限位机构。本实用新型能够对轴套内部润滑组件进行翻转更换，使得轴套内部润滑组件能够得到充分得利用。
一种润滑耐磨轴套

[实用新型]一种自润滑轴套激光焊接专用夹具-CN202221092722.0有效
发明人： 傅立超;范佳乐;张斌;蒋鸿凯 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型涉及自润滑轴套焊接技术领域，且公开了一种自润滑轴套激光焊接专用夹具，包括底板，底板的顶部固定设有竖板，底板的顶部两端均固定设有支架，两个支架的顶部均固定设有定位架，竖板的内部两端均开设有条形孔，条形孔内滑动套设有滑动环，两个滑动环相远离一侧均固定设有横板，横板的内部固定穿设有竖杆，竖杆的底部固定设有压块，竖板的内部转动穿设有转杆，转杆的杆壁和两个滑动环之间设有用于驱动压块移动的传动机构。本实用新型能够减少自润滑轴套在焊接过程中所耗费的装夹和拆卸的时间，提高焊接效率。
一种润滑轴套激光焊接专用夹具

[实用新型]一种引导轮用耐磨轴承-CN202220951539.5有效
发明人： 傅立超;蒋鸿凯;张斌;范佳乐 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： F16C33/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及轴承技术领域，且公开了一种引导轮用耐磨轴承，包括固定套和润滑套，所述固定套的外壁活动开设有安装槽，所述润滑套活动套设于安装槽的内部，所述润滑套的侧壁开设有多个通孔，多个所述通孔的内部均固定嵌设有润滑块，所诉固定套的内部两侧均开设有空腔，两个所述空腔的内部均滑动设置有挡板，所述挡板的外侧表面固定设置有插杆，所述润滑套的内侧两端均开设有插槽，两个所述插杆均与对应的插槽插接，所述固定套的一侧设置有固定所述挡板的限位机构。本实用新型能够对润滑材料进行充分的利用，减少浪费，同时方便对润滑材料进行补充，提高轴承的使用寿命。
一种引导耐磨轴承

[发明专利]一种自动更换光刻胶的检测方法-CN202110151707.2在审
发明人：汪钢;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动更换光刻胶的检测方法。为了克服现有技术人工更换光刻胶瓶，工艺流程复杂，步骤繁琐，容易出错造成涂胶异常的问题；本发明包括以下步骤：S1：同时实时监测排胶管和缓冲器中光刻胶的有无，判断是否需要进行更换光刻胶瓶的报警提醒，并自动更换光刻胶瓶操作；S2：同时打开进气阀和排气泡阀，当压力表检测光刻胶瓶中气压大于一定阈值时，开始自动补胶；S3：同时实时监测排胶管、缓冲器和排气泡阀下方光刻胶的有无，以此判断缓冲器中是否补满光刻胶，关闭进气阀和排气泡阀，完成自动补胶。通过多个位置多个传感器的同时联动监测，自动完成光刻胶瓶更换，减少人力成本，避免人工失误，保证工艺流程的质量。
一种自动更换光刻检测方法

[发明专利]一种平稳防背流的显影装置-CN202110069754.2在审
发明人： 傅立超;谢林雅 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：一种平稳防背流的显影装置，包括晶圆吸附结构、挡板、风道结构、供气通道、护圈导轨、护圈、距离传感器；所述晶圆吸附结构安装在电机轴上；所述挡板固定在底座上方；所述风道结构安装在负压腔内，风道结构的底部设有供气通道；所述护圈导轨安装在挡板顶端凹槽内；所述护圈与护圈导轨的上表面连接；所述距离传感器位于晶圆的上方。本发明有益效果如下：采用滚轮对真空吸头定位，同时采用环形扁平的风口吹出显影液，保障了工艺的稳定和安全；水平补偿机制可以保证在吹出显影液的同时稳定晶圆水平状态，提高工艺质量；可全程自动实时调节背流显影液的吹出过程，使调节更加精确可靠；采用风道和带斜面护圈的双层保护，增强了背流显影液的去除效果。
一种平稳防背流显影装置

[实用新型]一种汽车用球碗加工设备-CN202220871881.4有效
发明人： 傅立超;冯良;肖丽红;蒋鸿凯 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B23B41/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及球碗加工技术领域，且公开了一种汽车用球碗加工设备，包括底板和顶板，所述顶板设置于底板的上侧，所述底板的上表面两侧均固定设置有液压缸，所述顶板固定设置于两个所述液压缸的活塞杆末端，所述顶板的一侧下表面固定设置有钻孔机，所述底板的上表面固定设置有两个竖板，两个所述竖板之间转动设置有丝杆，所述丝杆的杆壁螺纹套接有滑块，一侧所述竖板的外侧设置有电机，所述电机的输出端与转杆的一端固定连接，所述滑块的上表面固定设置有U型板，所述U型板的内侧设置有方柱，所述方柱的两端均固定设置有转杆。本实用新型能够进行连续的加工工作，降低设备停机时间，能够大大提高工作效率。
一种汽车用球碗加工设备

[实用新型]一种翻边轴套摩擦焊接加工装置-CN202220791342.X有效
发明人： 傅立超;肖丽红;范佳乐;张斌 -专利权人：浙江凯蒂滑动轴承有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及翻边轴套加工技术领域，且公开了一种翻边轴套摩擦焊接加工装置，包括底板和顶板，所述底板的上表面一侧固定设置有液压缸，所述顶板固定设置于液压缸的活塞杆末端，所述底板和顶板靠近的一侧表面中部均转动设置有连接杆，两个所述连接杆的内侧均固定设置有横板，两个所述横板靠近的一侧两端均转动设置有三爪卡盘，两个所述横板的外侧且与多个所述三爪卡盘对应的位置均转动设置有第一转杆，多个所述第一转杆的外侧一端均固定套接有第一齿轮，所述底板和顶板靠近的一侧表面均转动设置有第二转杆。本实用新型能够一边加工一边换料，大大的降低了设备停机时间，从而大大的提高加工效率。
一种轴套摩擦焊接加工装置

[实用新型]一种片盒及片盒定位装置-CN202220183919.9有效
发明人：汪钢;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种片盒和片盒定位装置，所述片盒包括：相对设置的两个晶圆支撑组件，每个所述晶圆支撑组件上具有纵向排布多个的晶圆安装板；其中，两个所述晶圆支撑组件上的所述晶圆安装板两两相对设置，每一组相对设置的所述晶圆安装板上用于放置一个晶圆；所述晶圆安装板具有晶圆支撑面，所述晶圆支撑面倾斜设置。本实用新型解决了片盒与晶圆的接触面积较大，导致光刻胶粘连片盒的问题。
一种定位装置

[实用新型]一种光刻胶瓶更换防错结构-CN202220186026.X有效
发明人：李朋;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶瓶更换防错结构，包括：光刻胶瓶，包括胶瓶信息显示组件和胶瓶本体，所述胶瓶信息显示组件设于所述胶瓶本体的侧面；胶瓶安装容器，包括：胶瓶安装槽、限位件和检测装置，所述光刻胶瓶设于所述胶瓶安装槽，所述限位件位于所述胶瓶安装槽的一侧用于对所述胶瓶信息显示组件进行限位，检测装置位于所述限位件一侧；其中，当所述限位件对所述胶瓶信息显示组件进行限位时，所述检测装置正对所述胶瓶信息显示组件。本实用新型解决了光刻胶瓶类型难以区分，导致光刻胶瓶容易换错的问题。
一种光刻胶瓶更换防结构

[发明专利]一种多尺寸兼容的晶圆夹持旋转装置-CN202011348128.9在审
发明人： 傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其是涉及一种多尺寸兼容的晶圆夹持旋转装置。一种多尺寸兼容的晶圆夹持旋转装置，包括安装板和设置在安装板上的外主轴，所述的外主轴内转动连接有内主轴，所述的安装板上设置有伸缩装置和驱动电机，所述的驱动电机的输出轴连接有主动轮，所述的内主轴的底部连接有从动轮，所述的主动轮与从动轮之间通过同步带连接，所述的内主轴内设置有顶杆，所述的内主轴的外壁上设置有定位摆套，所述的顶杆的顶端连接有升降摆套，所述的升降摆套上设置有至少两个夹持装置。本发明能够同时夹持多片不同尺寸的晶圆从而对其进行清洗作业，并且具有旋转功能，清洗效率高，能够降低企业生产加工的成本，从而满足市场需求。
一种尺寸兼容夹持旋转装置

[发明专利]一种多尺寸兼容的晶圆夹持机构-CN202011348164.5在审
发明人： 傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其是涉及一种多尺寸兼容的晶圆夹持机构。一种多尺寸兼容的晶圆夹持机构，包括安装板和设置在安装板上的内主轴，安装板上设置有伸缩装置，内主轴内设置有与伸缩装置的输出轴连接的顶杆，内主轴的上方的外壁上设置有定位摆套，顶杆的顶端连接有升降摆套，升降摆套上沿圆周方向设置有至少两个夹持装置。本发明能够同时夹住多个不同尺寸的晶圆，工作效率较高，能够降低企业生产加工成本，从而满足市场需求。
一种尺寸兼容夹持机构

[发明专利]一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒-CN202111306432.1在审
发明人：王冲;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒，包括底座和放置架，放置架设置在底座上方，放置架包括竖向设置的两块放置板，两块放置板之间设有存储空间，放置板的侧壁靠近存储空间的一侧上设有若干个竖向排列的放置槽；所述存储空间在水平位置上包括开口端和限位端；放置板靠近开口端的一侧设有滑动限位结构，限位结构包括升降块，所述升降块上设有若干个竖向依次排列的限位条，限位条与放置槽一一对应，升降块与放置架沿竖直方向滑动连接。本发明提供了一种可以防止运送过程中放置产品脱落的片盒，可以实现多个薄片产品的堆放烤制，且放置板与的接触位置为线接触，减少胶粘污染。
一种可以防止运送过程放置产品脱落

[发明专利]一种可在烤箱使用的片盒-CN202111306407.3在审
发明人：王冲;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可在烤箱使用的片盒，包括底座和放置架，底座上设有用于确定放置架位置的定位块，放置架设置在底座上方，放置架包括竖向设置的两块放置板，两块放置板之间设有存储空间，放置板的侧壁靠近存储空间的一侧上设有若干个竖向排列的放置槽，两块放置板的上的放置槽一一对应，所述放置槽的下底面由设置该放置槽的放置板向另一块放置板一侧倾斜。本发明提供了一种可在烤箱使用的片盒，可以实现多个薄片产品的堆放烤制，且放置板与的接触位置为线接触，减少胶粘污染。
一种烤箱使用

[发明专利]一种热盘的气流风道结构-CN202111304665.8在审
发明人：汪钢;傅立超 -专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种热盘的气流风道结构，包括：排风管道，设有排风口和导风口；导风单元，所述导风单元连通管所述导风口，所述导风单元设有多个热盘安装口；封板，所述封板可拆卸连接所述热盘安装口；其中，所述热盘安装口未使用时通过所述封板密封；所述热盘安装口使用时，所述热盘安装口与热盘连接，所述热盘安装口用于排出所述热盘加热晶圆时产生的废气。本发明有效解决在可容纳多个热盘的加热腔体中，如何控制任意数量的热盘与排风管道导通的问题。
一种气流风道结构

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