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- [实用新型]静电式微机械全光开关-CN02268460.3无效
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徐永青;杨拥军;赵彦军;梁春广
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信息产业部电子第十三研究所
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2002-07-25
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2003-06-11
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G02B6/35
- 本实用新型公开了一种静电式微机械全光开关，涉及光电子技术领域中的光开关器件。它由N型单晶硅衬底、定齿、动齿、定齿和动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、金属层、浓硼层、光纤、硅微镜、垂直槽、V形槽等部件组成。它采用在静电力的作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中不存在光电转换，是一种全光开关。本实用新型还具有功耗低、结构简单、体积小，重量轻、易集成，及采用微电子工艺大批量生产等特点，还可制成多种光开关阵列，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件。
- 静电式微机械开关
- [实用新型]自适应触点的微机械继电器-CN02238087.6无效
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吕苗;胡小东;赵正平
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信息产业部电子第十三研究所
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2002-07-03
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2003-06-04
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H01H50/54
- 本实用新型公开了一种自适应触点的微机械继电器，它涉及半导体器件领域中硅继电器器件。它由基板、驱动电极、接触电极、单晶硅簧片、绝缘层、自适应触点等部件构成。它采用驱动电极上施加电压时，静电力驱动单晶硅簧片和其上的自适应触点与接触电极产生接触通/断动作，同时自适应触点在接触力作用下产生变形，保证微机械继电器的多个触点同时接触，完成继电器的通/断作用。本实用新型采用微电子加工技术，具有结够简单、体积小、重量轻、成本低、一致性好、电性能可靠等特点，便于批量生产，适合电子线路领域中的自动测试电路、切换电路等应用场合，作为继电器开关器件。
- 自适应触点微机继电器
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