专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种硅片的清洗方法-CN201711349496.3在审
  • 侯玥玥;黄纪德;金井升;张昕宇;金浩 - 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
  • 2017-12-15 - 2018-05-15 - H01L21/02
  • 本发明实施例公开了一种硅片的清洗方法,包括:将待清洗的硅片放置在臭氧水中进行第一次水洗,在硅片表面形成氧化膜;将硅片放置在预热后的氢氟酸溶液中进行第一次酸洗,以对氧化膜进行去除,氢氟酸溶液中水与氢氟酸的比例取值范围为20:1‑10:1,包括端点值;预热后的氢氟酸溶液的温度为40℃‑80℃,包括端点值;将硅片放入去离子水中,进行第二次水洗,以对位于硅片表面的氢氟酸溶液进行清洗;将硅片放入氢氟酸和盐酸的混合溶液中,进行第二次酸洗,以对硅片表面的金属离子进行去除;将硅片放入去离子水中,进行第三次水洗。该方法可在去除硅片表面沾污的杂质的基础上达到节省氢氟酸的目的。
  • 一种硅片清洗方法
  • [实用新型]管式扩散炉-CN201720936796.0有效
  • 黄纪德;侯玥玥;金井升;张昕宇;金浩 - 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
  • 2017-07-28 - 2018-05-11 - H01L31/18
  • 本实用新型公开了一种管式扩散炉,包括:扩散炉管和加热模块,其中,加热模块加热扩散炉管以使扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高。本实用新型实施例公开的管式扩散炉中,扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高,则在扩散过程中,能够实现扩散炉管内的温度沿扩散炉管的充气方向增高,使得扩散炉管内工艺气体浓度较大的位置温度较低、工艺气体浓度较小的位置温度较高,由于工艺气体的浓度越大扩散电阻越小、扩散炉管的温度越高扩散电阻越小,则提高了扩散方阻的一致性,提高了扩散均匀性。
  • 扩散
  • [实用新型]一种真空吸笔-CN201720319928.5有效
  • 侯玥玥;金井升;金浩;张昕宇;黄纪德 - 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
  • 2017-03-29 - 2018-03-02 - H01L31/18
  • 本实用新型公开了一种真空吸笔,包括具有管腔的握持部和具有吸孔的吸盘,管腔用于外接负压源;握持部与吸盘之间通过可伸缩的笔杆部连接,吸孔经笔杆部与握持部的管腔连通,笔杆部分别与握持部和吸盘密封连接。应用本实用新型提供的真空吸笔取放硅片时,操作员可通过将管腔与负压源连通使管腔内产生负压,从而吸盘的吸孔产生负压,吸住太阳能电池片,转移至想要的位置后,释放负压即可放下硅片。对于不同位置的硅片,可以通过调整笔杆部的长度,如对于位置较远的硅片可以将笔杆部伸长,对于位置较近的硅片则可以将笔杆部缩回,进而对于不同位置的硅片均能够方便的取片及插片,极大的方便了生产员的操作,有利于提高生产效率。
  • 一种真空
  • [发明专利]一种太阳能电池硅片的清洗方法-CN201610380358.0在审
  • 侯玥玥;金井升;黄纪德;蒋方丹;金浩 - 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
  • 2016-05-31 - 2016-07-27 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种太阳能电池硅片的清洗方法,包括步骤:采用臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗,使硅片表面产生氧化层;采用氢氟酸溶液对硅片进行表面腐蚀处理;对硅片进行漂洗。本发明清洗方法先以臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗,能够有效地氧化硅片表面沾污的有机物污质,并氧化硅片表面形成氧化膜;然后通过氢氟酸溶液对硅片进行腐蚀清洗,去除表面的金属污质,并腐蚀掉表面的氧化膜,在腐蚀掉表面氧化膜的同时去除了表面污质,从而实现对硅片表面的清洗。本发明清洗方法中采用臭氧水溶液,臭氧水溶液与表面有机物污质反应产生CO2和H2O,对人体无危害性,且臭氧水溶液产生的废液对环境污染小,不需要进行特殊处理。
  • 一种太阳能电池硅片清洗方法

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