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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种优化平整度调节的探针卡-CN202310609726.4在审
发明人： 余圣洋;梁建;罗雄科 -专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本申请提供一种优化平整度调节的探针卡，涉及半导体测试技术领域。所述优化平整度调节的探针卡包括支撑架、PCB板、载板以及调整结构，所述PCB板设于所述支撑架与所述载板之间，所述调整结构包括调整螺柱和调整螺母，所述调整螺母具有内螺纹和外螺纹，通过所述内螺纹与调整螺柱的上部螺接，通过所述外螺纹与所述支撑架螺接，所述调整螺柱穿过所述PCB板并延伸至所述载板且与所述载板螺接，优化了探针卡平整度调节效率和精度，提升了平整度的可调整裕量。
一种优化平整调节探针

[发明专利]薄膜探针卡水平调节装置及薄膜探针卡-CN202211174128.0在审
发明人： 余圣洋;梁建;罗雄科 -专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种薄膜探针卡水平调节装置及薄膜探针卡。其中，薄膜探针卡水平调节装置固定连接安装架，包括相对固定的背板和调节板，调节板由弹性材料制成，且切割形成多段同心设置的内切割槽和外切割槽，从而在切割槽之间形成可以发生形变的类似悬臂的结构，调节螺丝抵接在该悬臂结构处，当需要调整薄膜探针卡的水平度时，拧动调节螺丝控制悬臂结构向芯片所在方向的凸出程度，调节探针所在平面与芯片所在平面的相对水平度，使得各探针与芯片上的检测位点形成有效的接触，调节幅度较大、反馈清晰，降低水平调节的操作难度，简化操作流程，且与薄膜探针卡的结合适应性好。
薄膜探针水平调节装置

[发明专利]薄膜探针卡组件-CN202211174413.2在审
发明人： 余圣洋;梁建;罗雄科 -专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种薄膜探针卡组件，包括探针头、薄膜和衬板，探针头包括支撑件，薄膜的第一面固定于支撑件，薄膜的第二面开设有多个填充孔，填充孔中填充有柔性材料，衬板焊接于薄膜的第二面，设有与填充孔对应数量的经由切割形成的悬臂结构，悬臂结构的自由端位于填充孔的垂直投影区域内，悬臂结构的自由端相背于填充孔的一面焊接有探针，探针用于和待测晶圆形成机械接触和电接触。通过悬臂结构和填充孔中的柔性材料的配合，在探针滑动刺破氧化层时，使探针的滑动方向和滑动距离可控，并且提供适当的压力，保证有效刺穿氧化层形成稳定的、有效的接触。
薄膜探针组件

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