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[发明专利]激光振镜用快速装卸同轴气嘴-CN202011363196.2有效
发明人：赵卫;邵雅男;何自坚;汪斌斌;霍曦宇 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B23K26/142 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光振镜用快速装卸同轴气嘴，涉及激光加工设备技术领域，其包括气嘴组件、旋转气缸以及旋转臂，旋转气缸通过旋转臂连动气嘴组件摆动，使气嘴组件能够与激光振镜之光轴同轴或者位于激光振镜之光轴外。本发明主要解决如何在激光振镜下方设置能随时快速装卸的同轴气嘴的问题；通过旋转气缸能够连动气嘴组件到达与激光振镜之光轴同轴的位置，能够辅助微小异形孔的激光加工；通过旋转气缸能够连动气嘴组件到达激光振镜之光轴外的位置，此时激光振镜的光路偏转角度大；本发明实现了激光振镜用同轴气嘴的快速装卸，免去人手装卸过程，不需要中途停机，保证每次装载气嘴组件角度和位置的一致性，有效提高了加工效率和质量。
激光振镜用快速装卸同轴

[发明专利]一种晶圆异形结构的激光加工方法-CN202010860509.9有效
发明人：王宏建;赵卫;何自坚;陈湘文;朱建海 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆异形结构的激光加工方法，涉及激光加工技术领域。激光加工方法包括：采用第一激光束加工晶圆本体，形成自晶圆本体的表面向晶圆本体的内部延伸的光透通道。采用对晶圆本体具有穿透性波长的第二激光束隐形加工晶圆本体，形成位于晶圆本体的内部并限定待加工部的连续成面状的改质层。待加工部位于光透通道区的周向并与光透通道连接；采用对晶圆本体具有穿透性波长的第三激光束去除待加工部，形成异形结构。与现有的激光直接加工去除该激光无法直接到达的待加工部对应的区域，本申请有效降低去除待加工部时因热效应导致的加工缺陷，大幅提高了异形结构的精度。
一种异形结构激光加工方法

[实用新型]一种新型结构的升降平台-CN202220037003.2有效
发明人：喻荣华;何自坚 -专利权人：广东泰昌工业科技有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B66B9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型结构的升降平台，包括外围钢架和升降组件，所述外围钢架上安装有升降组件，升降组件由伺服电机、减速机、下工作台支架、下安装固定板、涨紧轮、上安装固定板、油压缓冲器、T字型导轨、调整支架、升降台、安全钳、导套、第一链轮、限速器、链条和第二链轮组成，下安装固定板的顶端安装有伺服电机，下安装固定板上安装有减速机，且伺服电机与减速机联动；该新型采用伺服电机、减速机、链条链条、T字型导轨和导套的配合，代替现有的液压或丝杆驱动升降台，承重量较高，位移精度高，通过限速器的使用，保证在速度过快时，安全钳刹车，防止升降台直接下坠，保障平台的运行安全。
一种新型结构升降平台

[发明专利]一种带冷藏输送的智能厨房-CN201910073858.3有效
发明人： 何自坚;文洁 -专利权人：深圳御膳坊智能科技有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G07F17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带冷藏输送的智能厨房，其包括仓储输送设备，用于将装载多个食材盒的连续料带进行叠堆储存并且经连续料带的取出、食材盒的分切后送出；以及炒菜机器人，用于将食材盒自动撕膜、自动倒食材、自动炒菜和自动倒菜。本发明整体结构简单而可靠性强，机构设计紧凑而占地面积较小，更加有利于推广，自动化程度高；采用连续料带的储存方式以及分切方式的组合，实现与传统仓储柜在同一体积上具有更大的储存量，利用率大大地得到提高。
一种冷藏输送智能厨房

[发明专利]一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置-CN202011242999.2有效
发明人：王宏建;赵卫;何自坚;杨涛;王自 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置，属于半导体材料加工技术领域。晶圆剥离方法包括：将晶锭内部的加工面划分成多个区域，使用激光束依次对多个区域进行加工形成改质层，当改质层贯穿于晶锭内部，剥离得到晶圆。激光束在对每一个区域进行加工时，采用冷却流体环绕喷射晶锭的表面以冷却正在加工区域的边缘和/或边缘的外侧。采用冷却流体环绕喷射晶锭的表面并作用于正在加工区域的边缘形成环形流场，使得激光束在形成每个区域的改质层时，激光束作用晶锭内部的能量更加集中于改质层形成区域，以减少能量对未加工区域的影响。实现更加精准的改质层的加工，有利于晶锭内部诱导应力层的产生，从而提高晶圆的剥离质量，以获得高质量的晶圆。
一种剥离方法装置

[发明专利]一种超声协同激光的晶锭剥离方法-CN202010634131.0有效
发明人：王宏建;赵卫;朱建海;沈旋;何自坚;申漫漫 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种超声协同激光的晶锭剥离方法，涉及晶圆切割技术领域，其包括控制激光束从所述初始加工位置开始，按预设的加工轨迹运动，同时开启超声波振动器并沿XY平面振动；激光束按所述加工轨迹运动完成后，关闭所述激光加工系统；绕Z轴旋转晶锭，所述超声波振动器继续沿XY平面振动，直至裂纹沿XY平面完全扩展后关闭所述超声波振动器，得到剥离后的晶锭。本发明主要解决两个不同激光工位分开加工的方式不仅造成硬件成本高，而且各工序较为分散，增大设备占地面积的同时降低了加工效率的问题；本发明实现了单一激光加工工位完成晶锭剥离的工艺，硬件成本较低，加工工艺集成度高，提高加工效率的同时，减小设备占地面积。
一种超声协同激光剥离方法

[发明专利]一种晶圆剥离方法及晶圆剥离装置-CN202011244662.5有效
发明人：王宏建;赵卫;杨涛;何自坚;王自 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种晶圆剥离方法及晶圆剥离装置，属于半导体材料技术领域。晶圆剥离方法包括：在晶锭表面形成一层固体冷媒，使用激光束从固体冷媒表面开始加工，激光束作用于固体冷媒表面后，固体冷媒与激光束接触的区域被去除，激光束与晶锭直接接触并在晶锭内部加工出改质点，激光束相对于晶锭运动过程中依次在晶锭内部加工出连续的多个改质点，多个改质点形成改质层，当改质层贯穿于晶锭内部，剥离得到晶圆。每加工完预设面积的改质点或改质层后且激光束运动到下一个待加工改质点的区域后，在裸露的晶锭表面重新形成固体冷媒。固体冷媒能够对激光束作用点周边的未加工区域进行有效保护，增强晶锭内部诱导的内应力，提高剥离晶圆的质量。
一种剥离方法装置

[发明专利]激光剥离晶圆装置及激光剥离晶圆方法-CN202010625189.9有效
发明人：王宏建;赵卫;朱建海;沈旋;何自坚;申漫漫 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B23K26/50 文献下载
摘要：本申请提供一种激光剥离晶圆装置及激光剥离晶圆方法，涉及半导体加工领域。激光剥离晶圆装置包括用于安装晶锭的安装平台、激光发射器、聚透镜组件、用于提供磁场的磁体及控制系统；激光发射器和聚透镜组件互相配合以将激光束聚焦于晶锭内以诱导晶锭生成等离子体；晶锭位于磁场中以使磁场能够调控等离子体的运动状态；控制系统与磁体连接，控制系统能够实时获得等离子体的特征参数并根据特征参数实时调控晶锭所在的磁场。激光剥离晶圆装置及激光剥离晶圆方法通过磁场调控激光诱导的等离子体，实时改变等离子体在晶锭内部的运动过程以对改质层进行二次加工，实现晶圆的加工表面的二次加工，大幅提高晶圆自晶锭剥离加工的质量与效率。
激光剥离装置方法

[发明专利]晶锭剥离方法及晶锭剥离装置-CN202011237230.1有效
发明人：王宏建;赵卫;杨涛;何自坚;王自 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶锭剥离方法及晶锭剥离装置，属于半导体衬底制备技术领域。晶锭剥离方法包括：将激光束聚焦于位于磁流变液中的晶锭内预设深度处，通过激光束完成对晶锭的预设深度处的预设剥离面的扫描加工，以使预设剥离面处形成改质层。对磁流变液施加磁场，使得磁流变液相对晶锭运动以磨抛并去除改质层。晶锭剥离装置用于进行晶锭剥离方法。激光剥离的过程中能够实现磨抛，在有效改善剥离表面质量的情况下，能够提高加工效率。
剥离方法装置

[发明专利]一种晶圆微结构的制造方法-CN202010860092.6有效
发明人：王宏建;赵卫;何自坚;陈湘文;朱建海 -专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆微结构的制造方法，涉及激光加工技术领域。晶圆微结构的制造方法包括：采用对晶圆本体具有穿透性波长的第一激光束隐形加工晶圆本体，形成自晶圆本体的内部向晶圆本体的表面延伸并连续呈面状的改质层作为目标微结构和待加工部的第一分界面；以及通过第二激光束自晶圆本体的表面向晶圆本体的内部方向依次去除待加工部，获得微结构。相比于现有的直接采用第二激光束去除待加工部的方式，预先形成第一分界面，有效避免后续去除待加工区域时因第二激光束的激光热效应导致的晶圆材料易产生加工缺陷等问题，获得高精度微结构的同时提高了加工效率。
一种微结构制造方法

[发明专利]一种智能分切输送平台-CN201910073826.3有效
发明人： 何自坚;文洁 -专利权人：深圳御膳坊智能科技有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能分切输送平台，用于与仓储柜对接，其包括输送带、分切机构和勾出机构，勾出机构伸入仓储柜中并将装载有多个物料的连续料带从仓储柜勾出至输送带上，连续料带在输送带的驱动下前移，当前方物料与后方物料之间的分切线在分切机构上到位后，分切机构沿该分切线将前方物料从料带上分切出来，并在输送带的驱动下继续前移送出。本发明为仓储柜配置分切输送的功能，使得仓储柜能够减少输送部件的设置而能够提高仓储量。
一种智能输送平台

[发明专利]一种智能仓储输送设备-CN201910073193.6有效
发明人： 何自坚;文洁 -专利权人：深圳御膳坊智能科技有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能仓储输送设备，其包括仓储柜和分切输送平台，仓储柜设置有输送窗口，分切输送平台经该输送窗口将仓储柜里的装载有多个物料的连续料带取出并分切后送出，仓储柜内设置有叠堆的连续料带的提升机构，提升机构将连续料带提升至与输送窗口对应的高度。本发明整体结构简单而可靠性强，有别于传统的仓储结构，本发明采用连续料带的储存方式以及分切方式的组合，实现与传统仓储柜在同一体积上具有更大的储存量，利用率大大地得到提高。
一种智能仓储输送设备

[发明专利]自动上下料及装卸夹平台-CN202011363175.0在审
发明人：赵卫;邵雅男;何自坚;汪斌斌;霍曦宇 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-11-28 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动上下料及装卸夹平台，涉及自动化搬运及装夹技术领域，其包括机器人、料盘、夹具、夹具旋转台以及夹具锁紧机构；夹具锁紧机构包括电动螺丝刀和进给位移台，进给位移台连动电动螺丝刀使电动螺丝刀沿靠近或远离夹具的方向平动；机器人用于将料盘上的待加工产品搬运至夹持在气动卡盘上的夹具。本发明主要解决涡轮叶片夹具的使用高度依赖人工的问题；本发明能够自动化完成待加工产品的上下料和装卸夹，方便机器人取放待加工产品，提升飞秒激光涡轮叶片气膜孔加工效率及量产能力，满足涡轮叶片自定位、自加工和自检测的全流程闭环制造需求，大幅提升涡轮叶片气膜孔加工效率及良品率，最终实现多型号、大批量、实现无人化生产。
自动上下料及装卸平台

[发明专利]一种智能冷柜及其控制方法-CN201910826108.9在审
发明人：文洁;曾小平;程志红;何自坚 -专利权人：东莞御膳坊信息技术有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： F25D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能冷柜及其控制方法，包括冷柜主体和控制单元，冷柜主体包括冷柜外壳、货架和传输机构；货架内设有若干隔板和载板，以分隔储存商品；载板倾斜安装使商品能够自然滑落，载板的末端设有限位机构；传输机构采用导杆结构，包括横向导杆、纵向导杆和载物机构，横向导杆和纵向导杆实现载物机构在横纵方向的任意移动。本发明的有益效果是，采用了倾斜的载板和限位机构进行商品的存放，限位机构占用空间小，通过伸出和缩回即可实现商品出货；传输机构采用横纵方向的导杆实现商品转移，降低移动装置占用的空间，智能冷柜在实现智能取货的同时，整体上大大增加冷柜的存货空间。
一种智能冷柜及其控制方法

[发明专利]一种全自动智能厨房-CN201910826112.5在审
发明人：文洁;曾小平;程志红;何自坚 -专利权人：东莞御膳坊信息技术有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： A47J27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动智能厨房，包括冷柜、智能炒菜装置、餐盒传送机构、回收机构、食材盒传送机构、油烟过滤装置和总控制箱；冷柜的出货口对应各智能炒菜装置，智能炒菜装置包括撕膜机构和烹饪机构，食材盒撕膜后食材掉落到烹饪机构，食材盒沿食材盒传送机构移出；餐盒传送机构设于所有智能炒菜装置的下方，餐盒传送机构将餐盒移动至烹饪机构下方进行装盒，再沿餐盒传送机构送出；回收机构设在烹饪机构下方；油烟过滤装置在智能炒菜装置上方。本发明的有益效果是：全自动智能厨房集成了食材储存、拆包装、烹饪、装盒和厨余回收的功能，整机采用简便且紧密的连接结构，在实现智能化作业的同时，减少全自动智能厨房所需的使用空间。
一种全自动智能厨房

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