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- [发明专利]氨基甲酸酯粘合剂和粘合片-CN201980023312.5有效
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髭白朋和;千代延一彦;佐藤浩司
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DIC株式会社
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2019-04-02
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2022-06-10
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C09J175/08
- 本发明的课题鉴于上述情况而成,在于提供能够形成在剥离的前后,光学构件、各种基材等的表面特性的变化受到抑制的表面保护膜的粘合剂组合物。本发明的粘合剂组合物的特征在于,其为包含氨基甲酸酯树脂(A)和固化剂(B)的粘合剂组合物,上述氨基甲酸酯树脂(A)为具有2个以上具有活性氢原子的基团的化合物(a1)和多异氰酸酯(a2)的反应产物,上述具有2个以上具有活性氢原子的基团的化合物(a1)包含以10质量%以上的比例具有碳原子数为4以上的氧亚烷基单元的聚醚多元醇,重均分子量2,000以上且6,000以下的范围中具有极大值的成分的比例在上述氨基甲酸酯树脂(A)100质量%中为5质量%以下。
- 氨基甲酸酯粘合剂粘合
- [发明专利]压印装置和制造物品的方法-CN202110967016.X在审
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佐藤浩司
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佳能株式会社
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2021-08-23
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2022-03-01
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G03F7/00
- 本发明公开了压印装置和制造物品的方法。所述压印装置针对基板上的多个投射区域中的每一个执行使用模具在所述基板上形成压印材料的处理,所述装置包括:检测器,所述检测器被配置为检测在所述基板中提供的标记的位置;以及控制器,所述控制器被配置为在所述处理中基于所述检测器的检测结果来控制所述基板与所述模具之间的对准,其中,所述多个投射区域中的每一个包括在预处理中已单独地转印原版的图案的两个或更多个转印区域,并且在对特定的投射区域的所述处理中,所述控制器基于在所述两个或更多个转印区域当中除了最小的转印区域之外的转印区域中提供的标记的检测结果来控制所述对准。
- 压印装置制造物品方法
- [发明专利]位置检测装置-CN201810126879.2有效
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佐藤浩司
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佳能株式会社
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2015-06-26
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2021-06-15
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G01B11/00
- 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测,以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度,小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
- 位置检测装置
- [发明专利]位置检测装置-CN201810939318.4有效
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佐藤浩司
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佳能株式会社
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2015-06-26
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2021-06-11
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G01B11/00
- 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测,以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度,小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
- 位置检测装置
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