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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种气缸式定位装置-CN202223593864.8有效
发明人：高鹏;张兴华 -专利权人： 优睿谱半导体设备（无锡）有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及面板制造技术领域，提出一种气缸式定位装置，包括：主体，其承载基板；气缸，其与对位针连接；以及对位针，其布置在所述主体上，其中所述气缸被配置位驱动所述对位针定位所述基板。本实用新型通过气缸进行驱动相比与传统的电机驱动成本更低。并且本实用新型的定位针与玻璃基板的边缘接触的位置即为定位的位置，因此可以根据玻璃基板来料的位置进行机械补偿，定位方便快捷。
一种气缸定位装置

[实用新型]一种光谱仪吊装式固定结构-CN202223395981.3有效
发明人：高鹏;张兴华 -专利权人： 优睿谱半导体设备（无锡）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光谱仪技术领域，提出一种光谱仪吊装式固定结构，包括固定面；以及光谱仪，其与所述固定面吊装连接，其中所述光谱仪与所述固定面之间设有间隙。本实用新型将光谱仪与固定面通过螺栓连接，并且使光谱仪的平面与固定面之间留有间隙，使得光谱仪与固定平台之间的接触面较小，避免了固定平台的内部发生震动时会对光谱仪的测试结果产生影响的问题。
一种光谱仪吊装固定结构

[实用新型]一种传感器及用于传感器的固定装置-CN202223592609.1有效
发明人：高鹏;张兴华 -专利权人： 优睿谱半导体设备（无锡）有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01D11/30 文献下载
摘要：本实用新型总的来说涉及光电传感器技术领域，提出一种传感器及用于传感器的固定装置，包括：n个定位装置，其被配置为能够穿过相应安装孔以固定传感器，其中所述定位装置的横截面具有第一长度和第一宽度，n为大于等于2的自然数；以及n个安装孔，其横截面具有第二长度和第二宽度，其中第一宽度等于第二宽度，并且第二长度大于第一长度，使得传感器能够在第一长度的方向上移动。本实用新型可以对传感器的位置进行调节，从而当遇到平台孔位设计误差、平台设计改动等问题时可以直接对传感器进行调节，不需要将安装平台拆卸下来后重新在安装平台上打孔，降低了成本。
一种传感器用于固定装置

[实用新型]一种镜头调节装置-CN202223195529.2有效
发明人：殷鑫;张兴华 -专利权人： 优睿谱半导体设备（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，提出一种镜头调节装置，包括镜头固定装置，其被配置为固定镜头；第二调节装置，其与所述镜头固定装置连接，所述第二调节装置被配置为在第二平面上调整所述镜头的角度；以及第一调节装置，其与所述第二调节装置连接，所述第一调节装置被配置为在第一平面上调节所述镜头的角度，其中所述第一平面与所述第二平面垂直。通过本实用新型可以方便快捷地将镜头调节至与晶圆的表面所在的平面平行，进而可以有效改善观测晶圆过程中的精准度和清晰度。
一种镜头调节装置

[实用新型]一种晶圆预对准平台-CN202223073993.4有效
发明人：高鹏;孟祥宇;张兴华 -专利权人： 优睿谱半导体设备（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提出一种晶圆预对准平台，包括：主体，所述主体包含旋转装置，所述旋转装置带动主体进行旋转定位；以及第一平台和第二平台，所述第一平台和所述第二平台布置在所述主体的顶部，其中所述第一平台和所述第二平台被配置为承载晶圆。本实用新型在不需要设置升降旋转平台的情况下，依然可以实现对晶圆的承载、吸附以及旋转晶圆以实现晶圆对准，节省了对准用时因此提升了产能，并且降低了成本，可以适用多种机械手取放晶圆。
一种晶圆预对准平台

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