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[发明专利]用于探测运动的微陀螺仪-CN201180024978.6有效
发明人： 伏尔克·坎普 -专利权人：玛克西姆综合公司
申请日： 2011-04-19 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于探测相对于X轴和/或Y轴和Z轴的运动的微陀螺仪，特别是作为三维、五维或六维传感器。所述微陀螺仪包含基底（2），若干振动样本模块（1），用于将振动样本模块（1）附接至所述基底（2）的锚固件（3、4）以及安置在锚固件（3、4）与样本模块（1）之间的锚固弹簧（5、6），用于在X-Y平面内振动样本模块（1）的驱动元件（15），从而在基底（2）转动时生成Coriolis力，以及包含传感器元件（22），特别是安置在样本模块（1）下方的电极，从而探测样本模块（1）因所生成的Coriolis力而产生的偏移。样本模块（1）围绕中心锚固件（3）均匀地安置，并且能够相对于中心锚固件（3）径向地被驱动。锚固弹簧（5、6）设计成样本模块（1）既能够在X-Y平面内径向偏移，又能够出离所述X-Y平面偏移。传感器模块（20）通过传感器弹簧（21）安置在一个样本模块上，特别是安置在每个样本模块（1）上，并且传感器弹簧（21）允许传感器模块（20）在样本模块（1）的平面内或在X-Y平面内、且正交于样本模块（1）的径向驱动方向的偏移。
用于探测运动陀螺仪

[发明专利]用于测定绕x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺-CN201080009213.0有效
发明人： 伏尔克·坎普 -专利权人：感应动力股份公司
申请日： 2010-02-22 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：一种用于测定绕一x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺，其具有一衬底、多个振荡质量块（4，5）、多个用于将所述振荡质量块（4，5）固定在所述衬底上的弹簧、多个驱动元件和多个感测元件，所述驱动元件用于使所述质量块（4，5）中的至少个别质量块在x-y平面内发生振摆，以便在所述衬底旋转时产生科氏力，所述感测元件用于检测所述质量块（4，5）被所产生的科氏力引发的偏斜。所述质量块（4，5）中的至少个别质量块分两组布置。所述两组质量块（4，5）都能在所述驱动元件的作用在所述x轴和y轴所定义的平面内共同做振荡初级运动。所述第一组质量块（4）在所述衬底上的布置方式使其可以做偏离所述x-y平面的运动。所述第二组质量块（5）在所述衬底上的布置方式使其可以做与所述x-y平面内的振荡初级运动相垂直的运动。
用于测定旋转运动陀螺

[发明专利]微机电传感器-CN201080009206.0有效
发明人： 伏尔克·坎普 -专利权人：感应动力股份公司
申请日： 2010-02-03 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明提出一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x-y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱。本发明的微机电传感器（MEMS）（1）的特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。
微机传感器

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