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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]气体混合装置及半导体制造设备-CN202021927930.9有效
发明人：许志章 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提出一种气体混合装置，其包含：主体、气体混合槽、第一通气槽、第二通气槽及第三通气槽；主体，包含有第一面，第一面设有第一开口及第二开口；气体混合槽，设置于主体内部；第一通气槽，设置于主体内部，第一通气槽自第一开口连通至气体混合槽；第二通气槽，设置于主体内部，其具有第一端及第二端，第一端与第二开口连接；第三通气槽，设置于主体内部，第三通气槽自气体混合槽连通至第二通气槽的第二端，俾使第一通气槽的直线延伸与第三通气槽的直线延伸形成夹角。
气体混合装置半导体制造设备

[实用新型]马达基座组件-CN201921923134.5有效
发明人：杨奇华;谢承靖 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H02K5/00 文献下载
摘要：一种马达基座组件，包含一基座、一马达单元以及一阻离件，其中，所述基座的身部围绕而具有一容置空间，用以容设所述马达单元，多个第一通孔设置于所述基座的身部，所述基座的外底部凹设有一气漩部以及多个第二通孔，所述阻离件设置于所述基座的底部，并使底部成为一平面。
马达基座组件

[发明专利]晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构-CN201410839869.5有效
发明人：谢旭明;王维新 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开一种晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构，用于快速稳定的传送晶片。所述晶片传送手臂包括壳体、连杆机构、可动式抵持部和载盘；所述连杆机构包括一组连杆、一组枢轴和一组与所述连杆连接的S型带体，所述连杆机构通过所述枢轴耦合在所述壳体中；所述S型带体围设在所述枢轴上，使得所述枢轴相对转动；所述枢轴上设置有凸起结构；所述可动式抵持部包括抵块和连动推杆，所述连动推杆通过一耦合部设置在所述壳体中，且其第一端抵触在所述枢轴上；所述抵块设置在所述连动推杆的第二端；所述枢轴旋转时，能够使得所述凸起结构抵触在所述连动推杆的第一端，推动所述连动推杆向第一位置移动，且使得所述抵块接触所述载盘上的晶片。
晶片传送手臂装置保持机构

[实用新型]滤膜框体模块-CN201720726304.5有效
发明人：谢承靖;王维新 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2017-06-21 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： C02F1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滤膜框体模块，包含边框结构及本体结构。边框结构用以固定滤膜，且边框结构具有凸耳及焊接部，凸耳的水平高度高于焊接部的水平高度。本体结构与边框结构接合，本体结构包含集水区及抽水区，集水区具有镂空结构及沟槽，沟槽两端会与镂空结构相互连接。其中，沟槽能在抽水过滤时防止滤膜与本体结构以及滤膜与滤膜相互黏接贴合，使流体能顺利流动。
滤膜模块

[外观设计]磁铁组-CN201730239718.0有效
发明人：陈宏志;张昆源 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： 08-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称磁铁组。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品是一种溅镀用的磁铁组，主要应用于半导体制程中溅镀流程，设置于靶材上使用。3．本外观设计产品的设计要点本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片立体图。
磁铁

[实用新型]晶圆防滑承载装置及其晶圆传载手臂-CN201620578462.6有效
发明人：谢旭明;王维新;吴羽仟 -专利权人： 亦立科技有限公司
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本创作揭露一种晶圆防滑承载装置及其晶圆传载手臂，晶圆防滑承载装置包含承载盘、抵持部及防滑块。承载盘用以承载晶圆，且承载盘更具有止档部以及固定部，止档部位于晶圆防滑承载装置之第一端，抵持部位于晶圆防滑承载装置之第二端且具有导角结构，用以抵持晶圆。防滑块的数量会与固定部的数量相对应，其中，防滑块能与固定部互相组设结合，使防滑块能牢固的结合于承载盘上。
防滑承载装置及其晶圆传载手臂

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