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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种晶圆贴膜后圆切装置-CN202320924127.7有效
发明人：周鹏程;戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B26D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆贴膜后圆切装置，包括竖直设置的第一气缸，第一气缸连接有切刀驱动机构，切刀驱动机构连接有切刀结构，切刀结构的下方设有晶圆固定座。本实用新型的有益效果是：实现了晶圆贴膜后对贴膜的自动切断，圆切精准，不会出现偏出和压力不均匀现象，保证不会出现切不断或过压伤刀的现象，且安全性高；能够减少人工劳动量，提高圆切效率。
一种晶圆贴膜后圆切装置

[实用新型]一种全自动晶圆UV解胶机-CN202320777470.3有效
发明人：郭易;戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动晶圆UV解胶机，包括设备机架，设备机架一端设有与之对应的装载平台，装载平台一端对应设置有上下料机构，上下料机构一侧设有UV机构，UV机构与上下料机构后端设有两组第一伺服模组，两组第一伺服模组上分别设有与之移动连接的第一传送手臂与第二传送手臂。本实用新型的有益效果：实现了晶圆料盒的准确定位，可自动化上下料，在全密闭腔室内照射UV，并实时检测当前UV照射的能量值，UV完成后可自动进行mark，提高了生产效率与安全性，避免了UV光对人员造成的伤害，同时企业节省了人工的成本。
一种全自动 uv 解胶机

[实用新型]一种晶圆料盒自动装载平台装置-CN202320586372.1有效
发明人：郭易;戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆料盒自动装载平台装置，包括送料底座，送料底座的上方设有装载平台，送料底座的后方安装于安装板，安装板的下方连接有安装于送料底座内部的双轴直线模组，双轴直线模组包含升降模组和前后移动的水平直线模组，安装板与双轴直线模组之间连接有支撑板，送料底座上设有用于支撑板移动的导槽，安装板上安装有开锁机构和真空吸盘，装载平台上设有呈三角形排布的三个定位柱，装载平台的中间设有安装槽，所述安装槽内转动安装有卡勾。本实用新型的有益效果是：实现对晶圆料盒的定位和固定，避免了送料过程中晶圆料盒的倾覆，提高送料的安全性；实现了对晶圆料盒的精准定位、自动检测、判断，自动开盖，保证了晶圆的取料准确度。
一种晶圆料盒自动装载平台装置

[实用新型]一种晶圆加工精准定位装置-CN202222165064.X有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加工精准定位装置，包括旋转载台与设置于其一侧上端的视觉检测机构，视觉检测机构包括第一安装架，第一安装架一侧上端设有CCD检测相机，CCD检测相机的下端设有相机光源，旋转载台包括第二安装架，第二安装架内设有旋转电机，且旋转电机的两侧对称设有顶升气缸，顶升气缸上端设有晶圆托盘，其上端放置有晶圆。本实用新型的有益效果：旋转载台用于承载加工件，并带有旋转功能，载台运动机构用于带动旋转载台自由移动，相机装置用于检测晶圆V‑notch和偏心位置，通过载台移动补偿晶圆偏心位置，避免了因人工放置物料出现偏差的问题，大幅度的增加了企业的生产效率，同时还提高了生产良率。
一种加工精准定位装置

[实用新型]高效的划片机自动磨刀装置-CN202221670053.0有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B24B3/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效的划片机自动磨刀装置，包括连接架、基座、调节座、安装板以及磨刀板，所述基座通过连接架固定在划片机机台的一侧，所述调节座设置在基座的上方且两者之间留有调整间隙，所述调节座与基座之间通过多个顶丝连接，所述安装板设置在调节座上，所述安装板上安装有磨刀板。本实用新型的有益效果是，当划片机的刀具需要磨刀板时，利用划片机自身的三轴机械手移动至该磨刀板上进行磨刀，代替了人工作业，其工作效率较高，保证了刀具能正常切割；通过调整顶丝来调节调节座的水平度，继而来调整安装板上的磨刀板的水平度。
高效划片自动磨刀装置

[实用新型]晶圆加工精准定位装置-CN202221669255.3有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G06K7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加工精准定位装置，包括旋转载台、载台运动装置、标签读码器以及ID读取相机，所述旋转载台由载台运动装置驱动，所述旋转载台能绕自身中心轴旋转，所述ID读取相机、标签读码器设置在旋转载台的上方，所述标签读码器的光束方向位于ID读取相机的外侧。本实用新型能自动识别的方式定位晶圆序号编码。
加工精准定位装置

[实用新型]一种透明胶带侦测装置-CN202121291472.9有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B65H37/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种透明胶带侦测装置，涉及侦测装置的领域，其包括用于安装于贴膜装置中的安装块，安装块上设有位移传感器，位移传感器包括壳体和位于壳体内的拉杆，拉杆伸出壳体的一端设有滚动件。本申请具有侦测透明胶带的效果。
一种透明胶带侦测装置

[实用新型]半自动UV解胶机-CN202121290422.9有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种半自动UV解胶机，包括机柜、载物台以及照射灯；载物台设置在机柜上，载物台上设置有晶圆放置区，晶圆放置区处开设有照射孔；照射灯位于载物台下方；照射灯一侧还设置有光强检测仪；机柜上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统。光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，从而对照射灯的光照能量进行精准计算，提升UV解胶效果。
半自动 uv 解胶机

[实用新型]切割机喷水架高度检测装置-CN202121434064.4有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B23Q11/10 文献下载
摘要：本申请切割设备的领域，尤其是涉及一种切割机喷水架高度检测装置，其包括用于安装喷水管的支架、用于抵接喷水管标准板和刻度尺；所述标准板可在支架上竖向移动，所述刻度尺竖向安装在支架上，所述刻度尺用于检测标准板高度。本申请具有提高喷水管高度检测的准确性，以减少喷水管刮伤产品情况出现的效果。
切割机喷水高度检测装置

[实用新型]切割机产品反向防呆装置-CN202121290536.3有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请涉及检测装置的领域，尤其是涉及一种切割机产品反向防呆装置，其包括支撑板，支撑板上设有连接杆，连接杆一端设置在支撑板上，另一端设有用于检测晶元方向的检测件。本申请具有方便确认晶元在进行切割前的状态，减少出现晶元切割受损的情况出现的效果。
切割机产品反向装置

[实用新型]一种研磨机传送手臂自动清洁装置-CN202121290633.2有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：申请涉及研磨机领域，尤其涉及一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其技术方案是，一种研磨机传送手臂自动清洁装置，包括安装座和用于清洁机械臂且设置在安装座上的清洁组件，所述清洁组件包括设置在研磨部和清洗部之间的定位座、设置在定位座上的除屑件和清扫件。本申请具有提高传送手臂的洁净度，提高产品质量，提高产品的良品率的效果。
一种研磨机传送手臂自动清洁装置

[实用新型]一种全自动贴膜设备-CN202121290926.0有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及一种全自动贴膜设备，涉及晶片加工的领域，其包括加工台，所述加工台上滑移设有用于放置固定环和晶片的放置台，加工台上设有放卷辊、第一收卷辊和第二收卷辊，加工台上设有按压胶带的按压辊；加工台上设有用于驱动放置台移动的移动组件、驱动按压辊上下移动的升降组件和用于切割胶带的切割组件。本申请具有有效提高粘贴胶带效率的效果。
一种全自动设备

[实用新型]一种扩膜环与铁环兼容的清洗盘装置-CN202121290830.4有效
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种扩膜环与铁环兼容的清洗盘装置，应用在晶圆加工领域，解决了对晶圆进行切割和取片阶段进行清洗时，需要更换不同的清洗盘分别对扩膜环与铁环进行固定，操作比较繁琐的技术问题，其技术方案要点是一种扩膜环与铁环兼容的清洗盘装置，包括放置组件，放置组件的外侧边缘处设置有若干固定装置，固定装置包括安装块，安装块的侧壁上设置有转动块，转动块的上端与安装块转动连接，转动块的上端连接有固定件，安装块的底端设置有转动槽；具有的技术效果是使清洗盘无需更换就可以分别对扩膜环与铁环进行固定。
一种扩膜环铁环兼容清洗装置

[发明专利]一种用于高转速的旋转真空传导装置-CN202110714867.3在审
发明人：戚孝峰 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆清洗的领域，尤其是一种用于高转速的旋转真空传导装置，解决了晶圆清洗过程中，水柱和高速气流的换向较麻烦，难以对晶圆整体进行全面清洁，影响晶圆的清洗效率和清洗效果的问题，其包括转轴，所述转轴沿中心轴开设有盲孔，所述转轴沿半径开设有多个通孔，所述盲孔与多个所述通孔相通，所述转轴外与多个所述通孔相应的位置绕所述转轴的中心轴转动设置有抽气腔壳，所述抽气腔壳与所述转轴间形成抽气腔，所述抽气腔壳开设有用于抽气的第一抽气孔。本申请具有方便晶圆的整体全面清洁的效果。
一种用于转速旋转真空传导装置

[实用新型]晶圆自动排序机工作台防护装置-CN202021992834.2有效
发明人：戚孝峰;周鹏程 -专利权人： 争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-09-12 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台、机柜以及机箱，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。本申请具有减少晶圆粉尘污染，提高晶圆加工质量的效果。
自动排序机工防护装置

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