专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于在基底上形成基准的设备和方法-CN200980153615.5有效
  • 丹尼尔·H·卡尔森;丹尼尔·J·泰斯;布赖恩·K·纳尔逊 - 3M创新有限公司
  • 2009-12-09 - 2011-12-07 - D06H1/00
  • 本发明涉及在基底上形成基准的设备,其中在基底上形成具有基本上连续的部分的基准允许确定基底的位置。本发明公开一种形成基准的方法,其涉及使第一和第二基准装置一起横穿基底沿着具有沿基底横向轴线的分量的轨线来回移动,同时基底与第一和第二基准装置沿着基底的纵向轴线相对运动。第一基准装置在沿着所述轨线的移动以及所述相对运动期间操作以在基底上形成一个基准。第二基准装置在沿着所述轨线的移动以及所述相对运动期间操作以在基底上形成另一个基准。所述基准可形成为使得其具有恒定的空间频率,同时第一基准相对于第二基准异相。
  • 用于基底形成基准设备方法

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