专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]多层连续式电浆辅助化学气相沉积设备-CN201420104340.4有效
  • 郑锡辉;陈正士;坂本昇一郎;蔡依廷 - 丰捷应用材料有限公司
  • 2014-03-07 - 2014-12-03 - C23C16/513
  • 本实用新型公开了一种多层连续式电浆辅助化学气相沉积设备,包含有一腔体、至少一气体源、一第一沉积组件及一第二沉积组件。该气体源供应一输入该腔体内的气体,该第一沉积组件设置于该腔体内,包含一供承载一第一基板的第一载板以及相对设置于该第一载板的两侧并以该气体产生一第一电浆的一第一电极组,该第二沉积组件与该第一沉积组件相邻,并包含一供承载一第二基板的第二载板以及相对设置于该第二载板的两侧并以该气体产生一第二电浆的一第二电极组。据此,本实用新型可有效利用该腔体的空间,同时对该第一基板及该第二基板进行薄膜成长,增加产量。
  • 多层连续式电浆辅助化学沉积设备

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