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- [发明专利]一种声波滤波器的结构-CN202210732486.2有效
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郑鹏程
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-06-21
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2023-08-04
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H03H9/02
- 本申请涉及异质集成器件制备技术领域，提供了一种声波滤波器的结构，包括并联谐振器和串联谐振器；并联谐振器和串联谐振器级联；并联谐振器中每个谐振器包括第一支撑衬底、第一压电薄膜和第一电极阵列；第一压电薄膜设置在第一支撑衬底上，第一电极阵列设置在第一压电薄膜上；第一电极阵列包括第一叉指电极阵列和第一反射栅阵列；并联谐振器中至少一个谐振器的第一反射栅的对数小于等于第一预设阈值；第一预设阈值小于5。基于本申请实施例通过减少并联谐振器的反射栅的数量，可以抑制并联谐振器的杂散波模式，进而可以在保证滤波器高性能的前提下，有效抑制通带内的起伏。
- 一种声波滤波器结构
- [发明专利]一种声波滤波器-CN202210743537.1有效
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吴进波
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-06-27
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2023-07-14
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H03H9/54
- 本发明涉及微电子技术领域，本发明公开了一种声波滤波器。该声波滤波器包括连接的串联谐振器和并联谐振器；该串联谐振器用于在电场激发下产生第一目标模式和第一杂散模式；该并联谐振器用于在电场激发下产生第二目标模式和第二杂散模式；该第一目标模式的谐振峰与该第二目标模式的谐振峰存在预设距离；该串联谐振器的第一杂散模式的谐振频率大于该并联谐振器的第二杂散模式的谐振频率，该第一杂散模式的谐振峰与该第二杂散模式的谐振峰的重叠率为35％～100％；或者，该串联谐振器的第一杂散模式的谐振频率小于等于该并联谐振器的第二杂散模式的谐振频率，即可实现消除或大幅减弱该滤波器中杂散波。
- 一种声波滤波器
- [发明专利]一种声表面波滤波器-CN202310123204.3在审
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请求不公布姓名
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上海馨欧集成微电有限公司
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2023-02-15
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2023-06-27
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H03H9/64
- 本发明提供一种声表面波滤波器，涉及无源电学器件领域，包括多个电学级联的谐振器，所述谐振器包括串联谐振器和并联谐振器；其中，所述串联谐振器包括从下而上依次叠置的第一支撑衬底、第一压电薄膜和第一电极阵列；所述串联谐振器用于激发纵向泄露声表面波模式；所述并联谐振器包括从下而上依次叠置的第二支撑衬底、第二压电薄膜和第二电极阵列；所述并联谐振器用于激发水平剪切声表面波模式；所述第一电极阵列和所述第二电极阵列均包括平行排布的叉指电极阵列和设于所述叉指电极阵列两端的反射栅阵列。本发明使得串联谐振器的线宽(电极周期)大幅提升，改善声表面波滤波器的功率耐受特性，即使在高频应用滤波器也不容易被击穿而失效。
- 一种表面波滤波器
- [发明专利]一种声波滤波器及信号处理电路-CN202211712304.1在审
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请求不公布姓名
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-12-29
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2023-06-09
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H03H9/64
- 本申请涉及器件制备技术领域，提供了一种声波滤波器及信号处理电路，声波滤波器包括并联谐振器和串联谐振器，并联谐振器和串联谐振器依次级联，其中，并联谐振器中的谐振器为高阶兰姆波谐振器，高阶兰姆波谐振器所激发的声波模式为一阶反对称兰姆波，串联谐振器中至少部分谐振器为纵向泄露声表面波谐振器，纵向泄露声表面波谐振器所激发的声波模式为纵向漏波。基于本申请实施例，通过使用高阶兰姆波谐振器和纵向泄露声表面波谐振器两种谐振器结构，采用不同的声波模式，混合搭建滤波器，可以克服单一纵向泄露声表面波滤波器右半侧通带的能量泄露问题，可以实现高性能的高频大带宽声波滤波器。
- 一种声波滤波器信号处理电路
- [发明专利]一种声表面波滤波器及信号处理电路-CN202211715691.4在审
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请求不公布姓名
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-12-29
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2023-06-06
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H03H9/64
- 本申请涉及器件制备技术领域，提供了一种声表面波滤波器及信号处理电路，包括串联支路谐振器组和并联支路谐振器组，串联支路谐振器组中的谐振器所激发的声波模式为一阶反对称兰姆波模式，并联支路谐振器组中的谐振器所激发的声波模式为水平剪切声表面波模式。本申请通过将一阶反对称兰姆波模式谐振器和水平剪切声表面波模式谐振器二者结合，使用一阶反对称兰姆波模式和水平剪切声表面波模式两种不同的声波模式谐振器混合搭建滤波器，低频下水平剪切声表面波模式谐振器发挥其稳定的特性，高频时一阶反对称兰姆波模式谐振器产生高频模式，可以兼顾水平剪切声表面波模式谐振器的低频低成本设计与一阶反对称兰姆波模式谐振器的高频大带宽优势。
- 一种表面波滤波器信号处理电路
- [发明专利]一种声表面波滤波器及其制备方法-CN202310092714.9在审
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请求不公布姓名
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上海馨欧集成微电有限公司
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2023-02-02
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2023-05-23
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H03H9/02
- 本申请提供了一种声表面波滤波器及其制备方法，包括并联谐振器和串联谐振器，并联谐振器和串联谐振器依次级联。并联谐振器包括第一压电异质集成衬底和第一金属电极，第一金属电极设置在第一压电异质集成衬底上，串联谐振器包括第二压电异质集成衬底和第二金属电极，第二金属电极设置在第二压电异质集成衬底上，第一金属电极的材料与第二金属电极的材料不同，第一金属电极中铝的含量小于第一预设阈值，第二金属电极中铝的含量大于第二预设阈值，第一预设阈值小于第二预设阈值。相较于采用单一金属材料作为串并联谐振器的电极的滤波器，在不影响插入损耗和矩形度的前提下，使得滤波器的通带内无并联谐振器反谐振频率附近纵向高阶模式导致的杂波。
- 一种表面波滤波器及其制备方法
- [发明专利]一种谐振器及声学滤波器-CN202211352947.X在审
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请求不公布姓名
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-10-31
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2023-03-28
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H03H9/17
- 本申请提供一种谐振器及声学滤波器，谐振器包括异质衬底和设置在异质衬底上的电极组件。异质衬底包括小声速散射角、各向异性的支撑衬底和设置在支撑衬底上的压电薄膜，支撑衬底与压电薄膜之间形成异质界面。压电薄膜内的目标声波存在至少一个方向上的振动分量具有声速‑厚度波长比色散的特性。异质界面用于将压电薄膜内的目标声波能量反射回压电薄膜，并利用声波声速‑厚度波长比色散调控声波能量的渗透、散射分量占比等传播特点，减少能量的损耗途径。不仅可以减少厚度方向的泄露，还能减少多种边界辐射和倾斜辐射，从而获得高品质因子的声学滤波器，降低声学滤波器的带内损耗、增强带边陡直度和矩形度。
- 一种谐振器声学滤波器
- [发明专利]一种声波谐振器及滤波器-CN202210744233.7有效
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吴进波
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上海馨欧集成微电有限公司
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2022-06-27
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2023-03-28
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H03H9/02
- 本发明涉及微电子器件领域，本发明公开了一种声波谐振器及滤波器。该声波谐振器包括依次层叠的支撑衬底、压电薄膜和叉指换能器；该叉指换能器包括多个交错间隔排列的叉指电极；该压电薄膜内设有间隔排列的多个导电区域；该多个导电区域与多个该叉指电极一一对应；该多个导电区域中的每个导电区域的电导率大于等于50西门子/米；每个该导电区域的形成方法为掺杂、离子注入和离子辐照中的一种或者多种。本发明基于异质集成衬底的声波谐振器通过在叉指电极的下方压电薄膜内设置导电区域，能够提高谐振器的机电耦合系数，从而有效保证谐振器在横向电场激励作用下产生的目标模式，并抑制纵向电场激发的以及由不均匀分布的横向电场引起的杂散模式。
- 一种声波谐振器滤波器
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