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[发明专利]一种金属掩膜版的张网控制方法-CN202110145652.4有效
发明人：何远超;刘耀阳;徐健;顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种金属掩膜版的张网控制方法，方法包括：获取金属掩膜版上各测量点位的当前位置，并与各测量点位的目标位置进行比较，得到各测量点位的当前位置偏差量；构建张网装置上各个夹爪的移动位移量与各个测量点位的位置变化量之间的函数关系；基于各测量点位的当前位置偏差量以及上述函数关系，计算出张网装置上各个夹爪需要移动的位移量；控制张网装置上各个夹爪移动需要移动的位移量，使得各个测量点位从当前位置调整到目标位置。本发明通过控制金属掩膜版上夹持部位的位移以将各测量点位的位置精度调整到需求规格内，可以增加金属掩膜版的张网对位精度，减少张网所需时间，提高张网成功率。
一种金属掩膜版控制方法

[发明专利]一种张网设备中加载反向力的方法-CN202110101027.X有效
发明人：何远超;徐健;刘耀阳;顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种张网设备中加载反向力的方法，包括：获取表示掩膜框架施加外力后所产生的形变量的大小与施力大小及施力位置的数学关系的形变量函数；获取待焊接的各条掩膜版的张网参数，根据形变量函数和张网参数确定所有尚未焊接的掩膜版将对掩膜框架造成的形变量一；根据形变量函数和反向力装置的加载参数，获取反向力装置使掩膜框架产生的形变量二的拟合函数；采用掩膜框架形变量二的拟合函数对掩膜框架形变量一进行拟合，获取拟合函数中各个反向力装置对掩膜框架施加的反向力大小，焊接完一条掩膜版之后，重复执行上述步骤，依次获取各条掩膜版进行焊接前，各个反向力装置需对掩膜框架施加的反向力大小；整个张网最优解的确定过程快速准确。
一种设备加载反向方法

[发明专利]一种弯折装置及弯折方法-CN202110165024.2在审
发明人：何远超;刘耀阳;徐健;顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2021-02-06 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01N3/38 文献下载
摘要：一种弯折装置及弯折方法，涉及到显示面板测试设备技术领域，所述弯折装置用于对柔性显示面板的耐弯折性能测试，所述弯折装置包括机架和设置在所述机架内的旋转组件、平动组件、控制组件和上位机；本方案中旋转组件和平动组件相互独立，不再使用机械结构连接旋转板和平动板，而是使用由运动控制器或运动控制卡控制的多个电机对旋转板和平动板进行同步驱动，不仅提高了对弯折路径的控制精度，还提高了弯折装置进行测试的兼容性和便捷性。
一种装置方法

[发明专利]精细金属掩膜版张网的对位控制方法-CN201811295563.2有效
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种用于对精细金属掩膜板进行张网的对位控制方法，所述对位控制方法包括通过从对位系统中获取的信息来控制对位系统中的夹爪对精细金属掩模版施加的拉力大小，将精细金属掩膜板中的测量点位拉伸至目标位置，以控制张网的方法。所述对位系统包括，拉伸精细金属掩膜板进行张网操作的夹爪，获取夹爪拉力信息的力传感器，以及用来获取测量点位坐标信息的CCD镜头。
精细金属掩膜版张网对位控制方法

[发明专利]一种张网设备的结构设计及使用方法-CN201811297521.2在审
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明涉及制造装备，特别涉及一种张网设备的结构设计及使用方法。本发明中张网设备包括夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统、预对准台、掩膜框架平台、减振平台、搬运系统和控制单元，夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座。本发明还提供了使用张网设备进行张网的使用方法。本发明提供的张网设备利用夹爪系统中的稳定机构和吸附底座间的相互作用，可以消除张网制程中夹持机构的位移和旋转，进而提高张网精度，提升张网效率和良率。
一种设备结构设计使用方法

[实用新型]一种弯折设备-CN201921077767.9有效
发明人：何远超;刘耀阳;顾骏;徐健 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01N3/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及测试设备领域，特别涉及一种用于柔性显示面板的测试设备。本实用新型提供的弯折设备，包括底座；旋转组件，所述旋转组件包括旋转板、旋转轴、第一电机、连接板和二维调整架；平动组件，所述平动组件包括平动板、第二电机、第三电机和连接件；运动控制组件，所述运动控制组件用于控制所述第一电机、第二电机、第三电机的同步运动。本实用新型提供的弯折设备可以实现对柔性显示面板的弯折，弯折测试的最小弯折半径连续，且不会对柔性显示面板产生额外的拉应力或压应力。
一种设备

[实用新型]一种全面屏异形切割的激光切割装置-CN201920525679.4有效
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种全面屏异形切割的激光切割装置，所述激光切割装置包括激光器、反射镜、聚焦镜和载物台、对位标记捕捉镜头；对位标记捕捉镜头用于捕捉待切割显示面板的对位标记；载物台包括第一载物台面和第二载物台面，第一载物台面和第二载物台面用于分别承载不同显示面板；激光器发射的激光经过与其光路呈45°设置的所述反射镜后，进入聚焦镜；激光经过聚焦镜后垂直进入待切割区域，并在待切割区域处形成一光斑，激光器为红外皮秒激光器；切割装置还包括X轴方向运动机构和Y轴方向运动机构，用于带动所述载物台在X轴方向或者Y轴方向上运动，形成所述激光的切割路径。本实用新型提供的切割装置用于全面屏异形切割，切割速度快、精度高、良率高。
载物台面对位标记聚焦镜激光切割装置本实用新型激光切割区域切割装置显示面板异形切割激光器捕捉反射镜载物台切割方向运动机构激光器发射皮秒激光器光斑切割路径镜头光路良率垂直承载

[实用新型]一种蒸镀用坩埚设备-CN201920526354.8有效
发明人：徐健;刘耀阳;顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀用坩埚设备，所述坩埚包括用于使加热后的蒸镀材料通过的喷射口，所述喷射口的形状为管状并设置于所述坩埚的上部；所述喷射口包括靠近所述坩埚一侧的底部端口和远离所述坩埚一侧顶部端口，所述底部端口的内部直径小于所述顶部端口的内部直径。本实用新型提供的蒸镀用坩埚设备可以提高蒸镀材料的利用率。
坩埚喷射口本实用新型底部端口顶部端口蒸镀材料坩埚设备蒸镀加热

[实用新型]一种张网设备-CN201821794479.0有效
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及制造装备，特别涉及一种张网设备。本实用新型提供的张网设备，包括夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统、预对准台、掩膜框架平台、减振平台、搬运系统和控制单元，其中夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座。本实用新型提供的张网设备利用夹爪系统中的稳定机构和吸附底座间的相互作用，可以消除张网制程中夹持机构的位移和旋转，进而提高张网精度，提升张网效率和良率。
张网本实用新型夹爪系统稳定机构底座夹爪吸附搬运系统测量系统焊接系统夹持机构夹爪主体减振平台框架平台设备利用预对准台运动系统制造装备夹爪头滑块良率掩膜制程

[发明专利]一种金属掩膜版的张网设备及其使用方法-CN201811173864.8在审
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供一种用于对金属掩膜版进行焊接和切割的张网设备，所述张网设备包括机架，所述机架包括第一方向轨道、第二方向轨道和第三方向轨道；切割单元，所述切割单元包括第一激光器；第一控制单元，控制所述切割单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第一激光器的功率、开启和关闭；焊接单元，所述焊接单元包括第二激光器；第二控制单元，控制所述焊接单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第二激光器的功率、开启和关闭。本发明提供的张网设备可以提高金属掩膜版张网制程中的精度及良率。
方向轨道张网激光器焊接单元金属掩膜切割单元第二控制单元良率制程焊接切割

[实用新型]一种具有可移动坩埚的蒸镀设备-CN201820805392.2有效
发明人：顾骏 -专利权人： 上海精骊电子技术有限公司
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。实用新型提供的蒸镀设备，可以使得蒸镀材料在玻璃上沉积速率保持一致，还降低了功耗，并且蒸镀材料性质稳定，不易劣化，提高了蒸镀材料的利用率和蒸镀工艺的良率。
坩埚蒸镀材料蒸镀设备加热单元升降机构容纳熔化本实用新型可移动坩埚升华弹簧机构速率保持性质稳定喷射口沉积功耗良率劣化蒸镀加热蒸发玻璃外部

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