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- [发明专利]一种探针全方位测量装置及方法-CN202311219788.0在审
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汪明涛;罗雄科;邹斌
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上海泽丰半导体科技有限公司
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2023-09-21
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2023-10-27
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G01R35/00
- 本发明涉及半导体测试技术领域,更具体的说,涉及一种探针全方位测量装置及方法。本装置,包括3D扫描设备、吸取探针结构、载盘、夹取探针结构以及若干测量相机:载盘用于摆放所需测量的探针;3D扫描设备用于对探针进行形态扫描;吸取探针结构用于在扫描完成后吸取探针并调节探针位置,使得探针指向特定方向;夹取探针结构用于从吸取探针结构处夹取探针并移动至测量位置;若干测量相机安装在测量位置对应的若干功能区域,从不同测量方向对探针进行识别、测量与判断,获得探针全方位的形态与尺寸数据。本发明可以对整个探针以及针尖进行全方位测量,直观地判断探针的全方位尺寸和平整度,有效筛选适用于探针卡的探针。
- 一种探针全方位测量装置方法
- [发明专利]一种垂直探针及其制作工艺-CN202310921549.3在审
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邱碧辉;梁建;罗雄科
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上海泽丰半导体科技有限公司
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2023-07-26
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2023-10-24
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G01R1/073
- 本申请提供一种垂直探针及其制作工艺,涉及半导体测试技术领域。所述垂直探针的制作工艺包括:按照预设探针图形设计制备基底;在所述基底上电镀金属层,并进行等离子抛光处理;通过激光设备或专用压铸治具进行垂直探针的形变馈缩部中至少两个折弯部的加工;利用专用磨针设备对针头部或针尾部进行塑形,得到垂直探针,其中所述垂直探针包括所述针头部、所述形变馈缩部和所述针尾部,所述形变馈缩部包括至少两个所述折弯部,所述折弯部包括相邻设置的第一折弯部和第二折弯部,所述第一折弯部的折弯方向与所述第二折弯部的折弯方向相反,提升了接触稳定性的同时,通过优化探针的回弹应力、阻抗等参数实现了高速高频探针卡的设计,可控的探针长度降低了探针自身寄生电感,优化了探针的高速性能。
- 一种垂直探针及其制作工艺
- [发明专利]探针卡-CN202310584541.2在审
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梁建;罗雄科
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上海泽丰半导体科技有限公司
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2023-05-23
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2023-09-15
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G01R1/067
- 本申请提供一种探针卡,应用于半导体测试技术领域,其中,探针卡,包括:一个印刷电路板、多个插座模块、多个与插座模块相对应的基板模块,多个探针以及加固件,每个插座模块包括插座上盖和插座下盖;插座模块和基板模块设置在加固件上,探针设置在基板模块上,插座模块通过弹簧针与印刷电路板电连接;每个插座模块上的弹簧针贯穿插座模块的插座上盖和插座下盖,并通过固定销钉将插座上盖和插座下盖固定住;每个与插座模块相对应的基板模块固定在加固件上,每个基板模块的尺寸大于对应的插座模块的尺寸。通过将探针卡上的关键部件进行模块化处理,并将插座模块和基板模块设置在固定件上,降低探针卡的维护成本,提高探针卡的生产效率和良品率。
- 探针
- [发明专利]一种垂直探针卡及其制作工艺-CN202310919148.4在审
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邱碧辉;梁建;罗雄科
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上海泽丰半导体科技有限公司
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2023-07-26
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2023-09-05
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G01R31/28
- 本申请提供一种垂直探针卡及其制作工艺,涉及半导体测试技术领域,包括PCBA板、探针头固定板、芯片测试基板、探针导板固定板、探针导板和垂直探针,所述PCBA板位于底部,所述探针头固定板固定于所述PCBA板上,所述探针头固定板具有第一通孔,所述芯片测试基板固定于所述PCBA板上并位于所述第一通孔内,于所述探针头固定板的上部、沿所述第一通孔的上部外圆周方向延伸设有安装凹槽,所述探针导板固定板固定于所述安装凹槽的底面上,所述探针导板固定板具有第二通孔,所述垂直探针的下端焊接于所述芯片测试基板,所述垂直探针的上端穿过所述探针导板并经由所述探针导板夹持定位,优化了垂直探针在垂直探针卡上的接触稳定性。
- 一种垂直探针及其制作工艺
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