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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种自动键合设备-CN201610113300.X在审
  • 韩春燕 - 上海微电子装备有限公司
  • 2016-02-29 - 2017-09-05 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种自动键合设备，包括一固定支架；安装于固定支架上的旋转电机，旋转电机驱动固定支架绕竖向中心轴旋转；固定于固定支架上的3n个拾取机构，3n个拾取机构以竖向中心轴为中心点对称分布于固定支架的底面上；以及n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位，n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位按顺序依次对应排列于3n个拾取机构的下方，其中，n为正整数。本发明通过旋转电机带动多个拾取机构的旋转，在同一时间内，分别对应不同的工位以实现拾取芯片、对准和键合工序，旋转后同时进入下一工位进行下一操作，从而大大提高了生产效率，且本发明结构简单，成本低、可靠性高。
  • 一种自动设备
  • [发明专利]一种激光退火装置和方法-CN201310098555.X有效
  • 刘国淦;兰艳平 - 上海微电子装备有限公司
  • 2013-03-26 - 2017-08-29 - H01L21/268
  • 本发明公开了一种激光退火装置和方法，其中，所述装置包括激光源、光路部分、光路监测部分和运动部分；所述激光源为两个P极线偏振激光器；两个P极线偏振激光器发出的激光光束经光路部分后，再经一光束分离部分处理，之后分别以近布儒斯特角入射在运动部分的硅片表面。与现有技术相比，本发明采用两个P级线偏振激光器，先将激光器之一转化为S级偏振光，合成后经过光路处理部分，再将两束光进行分离，并将S级光束还原成P级光，最终都以布儒斯特角进行入射。这样既能保证两束激光均按照布儒斯特角入射，光路处理部分也不会太复杂，而激光能量的利用效率会大大提高。
  • 一种激光退火装置方法
  • [发明专利]一种光刻机机械式快门叶片结构-CN201410011585.7有效
  • 王洪尊;高沛;陈宇环 - 上海微电子装备有限公司
  • 2014-01-10 - 2017-08-29 - G03F7/20
  • 本发明提出一种光刻机机械式快门叶片结构，其特征在于包括快门基板，中间受热区域叶片和弹性固定元件；所述快门基板采用低密度高强度金属，所述中间受热区域叶片采用耐高温非金属，所述快门基板和中间受热区域叶片通过弹性固定元件固定连接。本发明去除镀层需求，采用金属及耐高温非金属组合形式，光照能量集中区域采用耐高温非金属，非光照集中区域采用低密度高强度金属，并且运用柔性固定方式消除因材料热膨胀系数不一而产生的形变影响，可以承受800℃高温，且制造工艺简单，组合形式多样，易于工程实现。
  • 一种光刻机械式快门叶片结构
  • [实用新型]一种三维调整机构-CN201621303286.1有效
  • 袁伟杰;姜玉涛 - 上海微电子装备有限公司
  • 2016-11-30 - 2017-08-29 - G02B7/00
  • 本实用新型提供了一种三维调整机构，包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内侧，且通过所述XY向调节结构实现其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。
  • 一种三维调整机构
  • [实用新型]一种垂向调整锁紧装置-CN201621157868.3有效
  • 刁雷 - 上海微电子装备有限公司
  • 2016-10-31 - 2017-08-29 - G03F7/20
  • 本实用新型提供了一种垂向调整锁紧装置，包括框架板连接件、主杆、调整元件、主基板连接件和锁紧元件所述框架板连接件连接一框架板和所述主杆；所述调整元件与所述主杆连接；所述主基板连接件固定在一主基板上；所述锁紧元件与所述主基板连接件连接，并将调整元件与主基板连接件锁紧。本实用新型能够在锁紧时消除主基板的残余应力，提升调焦调平的稳定性，提高工作效率。
  • 一种调整装置
  • [实用新型]一种基板预对准装置-CN201720082743.7有效
  • 张明辉;王刚;宋海军;施益超;杨金国 - 上海微电子装备有限公司
  • 2017-01-20 - 2017-08-29 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种基板预对准装置，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。本实用新型利用至少四组定位气缸定位玻璃基板的两条临边，再利用至少两组夹紧气缸对玻璃基板进行夹紧，实现了玻璃基板的预对准；本实用新型结构简单、轻便，大大降低了控制系统的难度。
  • 一种基板预对准装置
  • [发明专利]用于光刻设备的调焦调平系统-CN201410110020.4有效
  • 唐平玉;房晓俊 - 上海微电子装备有限公司
  • 2014-03-24 - 2017-08-25 - G03F7/20
  • 本发明公开一种用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，包括至少一套信号测量系统以及一套信号处理与控制系统；所述信号处理与控制系统用于在获取调焦调平信号后调整被测对象的水平运动或垂直运动，所述信号测量系统包括一照明组件、梯度透镜组和探测组件；所述照明组件用于提供一光源，所述光源经所述梯度透镜组成像至一所述被测对象表面形成一聚焦光点，所述聚焦光点反射后至所述探测组件形成一成像光点，所述聚焦光点与所述成像光点形成一共轭关系，所述成像光点带有所述被测对象表面的所述调焦调平信号，所述探测组件将所述调焦调平信号传递给所述信号处理与控制系统。
  • 用于光刻设备调焦系统
  • [发明专利]一种硅片边缘保护装置-CN201410857409.5有效
  • 周旭;崔海仓;倪费;葛黎黎 - 上海微电子装备有限公司
  • 2014-12-30 - 2017-08-25 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。本发明提供的硅片边缘保护装置可以避免瞬间强烈冲击工件台，避免压碎硅片；当发生碰撞时，可以保护工作台和硅片；并且提高了生产效率。
  • 一种硅片边缘保护装置
  • [发明专利]基于衍射光栅的位移测量系统及方法-CN201610072573.4在审
  • 陈南曙 - 上海微电子装备有限公司
  • 2016-02-01 - 2017-08-08 - G01B11/02
  • 本发明提供一种基于光栅的位移测量系统和方法，通过设置光源、棱镜与衍射光栅以及光电探测器，并配置相应的控制系统，由于棱镜固定在能够移动的工作台上，衍射光栅固定在整机框架上，当能够移动的工作台相对于光刻机的整机框架作位移时，光源发出的光通过衍射光栅衍射后产生的干涉条纹则发生变化，因此通过控制系统对干涉条纹的变化计算可得出能够移动的工作台相对于光刻机的整体框架的位移量。这种测量系统结构简单，安装方便，由于放置在密闭包装箱体中进行测量，在测量时受到外界的干扰较小，因此相对于传统的干涉仪测量精度更高。
  • 基于衍射光栅位移测量系统方法
  • [发明专利]一种双面激光准同步封装系统及封装方法-CN201610044727.9在审
  • 程蕾丽 - 上海微电子装备有限公司
  • 2016-01-22 - 2017-08-01 - H01L51/52
  • 本发明涉及一种双面激光准同步封装系统及封装方法，该系统包括激光器，用于发射激光束；夹持装置，用于将待封装基板竖直放置并固定；两个振镜系统，分设于所述待封装基板的两侧，将所述激光器发射的激光束反射至待封装基板的表面；以及两个运动机构，两个振镜系统分别安装于不同的运动机构上，所述运动机构带动其上的振镜系统做垂向和水平向共六个自由度的运动。本发明中，通过在待封装基板的两侧分别设置振镜系统，实现对待封装基板的双面同时封装，避免了多振镜之间的位置及运动的干涉，能够适应各种封装工况，且提高了产率；同时由于基板竖直放置，有效解决了由于基板变形导致的激光束定位不准的问题。
  • 一种双面激光同步封装系统方法
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