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[实用新型]一种基于无杆气缸晶圆上料装置-CN202223158854.1有效
发明人：江秦波 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于无杆气缸晶圆上料装置，涉及半导体生产技术领域，包括设备舱门，所述设备舱门的底部安装有载荷承载面板支撑架，载荷承载面板支撑架用于固定晶圆，所述载荷承载面板支撑架内壁的一侧安装有无杆气动组件，所述无杆气动组件的内侧活动安装有推出用气动组件，所述设备舱门的正面活动安装有载荷承载台面，载荷承载台面用于放置晶圆，所述载荷承载台面的底部与推出用气动组件固定连接，本实用新型在设置有采用开门结构设计，当载荷传感器检测到无料或停止生产时，帮助EQ设备的进料舱门关闭，保证EQ内部洁净度，同时载荷传感器也可以实时监测物料情况，采用无杆气缸组件设计，有效压缩设备整体尺寸。
一种基于气缸晶圆上料装置

[实用新型]一种基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置-CN202223159054.1有效
发明人：江秦波 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，涉及晶圆研磨后清洗入盒装置技术领域，包括上料接料设备，上料接料设备的一侧壁上固接有清洗水槽，清洗水槽背离上料接料设备的一侧壁上固接有装料设备，所述上料接料设备上通过中空旋转、角度分割机构连接有毛胚料暂存转台，此基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，区别于现有技术，该基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，利用推片机构，将前道下片的硅片自动推入清洗槽内清洗；且通过卡夹提升机构能够对清洗后的晶圆自动装片，中空旋转、角度分割机构，伺服控制，保证定位精度，清洗滑道设计，滑入、清洗同步完成装料机构伺服控制，保证每层步进高度准确可靠。
一种基于伺服控制研磨清洗盒装

[实用新型]一种基于步进电机控制的翻转执行机构-CN202223138999.5有效
发明人：江秦波;单发晨 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于步进电机控制的翻转执行机构，涉及晶圆生产技术领域，包括底板和安装在底板上的翻转手臂，所述底板的正面固定安装有中空旋转机构，所述中空旋转机构的外侧分布有信号触发单元，所述中空旋转机构的转动端固定安装有气缸安装板，所述气缸安装板的一侧固定安装有气缸支架，所述气缸支架的一侧活动安装有翻转手臂，所述翻转手臂的内壁通过peek手指夹持有晶圆，本实用新型通过采用双向抓手夹紧气缸，采用同一气缸保证的两侧同时夹持，保证晶圆放入后保持卡死状态，不会因机构翻面而造成晶圆片掉落，而设置有高精密中空旋转机构带动夹持臂旋转，实现翻面功能，在夹持部位设置peek材质手指的应用。
一种基于步进电机控制翻转执行机构

[实用新型]一种基于直线电机控制的半导体行走机构-CN202223139657.5有效
发明人：江秦波;单发晨 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于直线电机控制的半导体行走机构，属于半导体技术领域，解决了传输效率低和运行精度无法保证的问题，其技术要点是：包括设备安装背板，设备安装背板上固定安装有壳罩，载物平台上固定安装有用于载物的载物架，载物平台与壳罩的连接处设置有磁浮运动单元和光栅组件，载物平台通过磁浮运动单元滑动连接于壳罩内，采用的磁浮运动单元为非接触电控设计，降低摩擦，显著减少发尘量，光栅组件采用的闭环光栅尺设计，可进一步提高设备运行精度，设备设计速度有质的提升，且噪音小，同时采用无尘拖链和喷油嘴喷出的润滑油脂，可有效减少内部的发尘，具有传输效率高、运行精度高、噪音小和不易发尘的优点。
一种基于直线电机控制半导体行走机构

[实用新型]一种开放式卡夹上料机构-CN202223240470.4有效
发明人：江秦波;喻志鹏 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种开放式卡夹上料机构，涉及晶圆制造技术领域，包括侧板，所述侧板的底部设有两组对称设置的调平机构，两组调平机构分别连接在调平架的两侧，调平架固接在支撑架的底部，支撑架的顶部固接有载台，载台上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器，载台上通过定位槽放置有开放式卡夹，载台的顶部通过两个扭矩铰链活动铰接有保护盖，保护盖的正面安装有翻盖把手，此开放式卡夹上料机构，区别于现有技术，形成带缓冲功能的上翻盖设计，降低操作者作业强度，增加翻盖设计，降低外界环境对于设备内部的污染，可避免因漏放卡夹或者卡夹放置不到位带来的设备运行风险，设备水平调试更简单，精度更高。
一种开放式卡夹上料机构

[实用新型]基于ROS2的移动机器人控制系统-CN202123168205.5有效
发明人：殷跃红;黄磊;朱俊达;袁玉峰 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司;上海交通大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于ROS2的移动机器人控制系统，包括：地面站PC、机器人上位机端和机器人下位机端；所述地面站PC与所述机器人上位机端之间采用无线连接；所述机器人上位机端与所述机器人下位机端之间采用通用异步收发传输器UATR进行有线连接。本实用新型通过采用分层式控制系统框架，集成多种传感器和控制终端，降低了各个层级间的耦合性，降低后期系统修改升级的成本。
基于 ros2 移动机器人控制系统

[发明专利]基于ROS2的松散介质移动机器人-CN202111543657.9在审
发明人：殷跃红;黄磊;朱俊达;袁玉峰 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司;上海交通大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于ROS2的松散介质移动机器人，包括：螺旋轮式轮毂电机、差速底盘、控制器、传感器、电机驱动器和电池模组；所述螺旋轮式轮毂电机的数量为四个，分别置于差速底盘的轮毂位置，并与电机驱动器驱动连接；所述控制器、传感器、电机驱动器和电池模组置于差速底盘上；所述控制器分别与螺旋轮式轮毂电机、传感器和电机驱动器电连接；所述电池模组分别与螺旋轮式轮毂电机、差速底盘、控制器、传感器和电机驱动器电连接。本发明通过采用四轮差速底盘结构，搭载螺旋轮式构型轮胎，解决了传统四轮移动机器人在松散介质中运行困难，且很容易打滑甚至深陷其中的问题。
基于 ros2 松散介质移动机器人

[发明专利]用于海关粮食检验的采样存储装置、方法和系统-CN202111546021.X在审
发明人：殷跃红;朱俊达;黄磊;袁玉峰 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司;上海交通大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于海关粮食检验的采样存储装置、方法和系统，包括：高压抽粮电机、上端盖、下端盖、取样管、偏心漏斗、存储罐和底盖；所述高压抽粮电机置于所述上端盖内部，所述高压抽粮电机与所述上端盖的上部通过内外两层端面连接，所述高压抽粮电机与所述下端盖的上部通过卡口连接；所述上端盖的下部通过紧定螺钉与所述下端盖的上部连接，所述上端盖与所述取样管螺纹连接；所述下端盖的下部与底盖通过紧定螺钉连接；所述偏心漏斗的中心与所述存储罐的中心通过舵机连接；所述存储罐置于所述下端盖内部。本发明通过旋转式偏心漏斗、分隔式存储仓以及RFID标签的设计，可以对不同区域内的粮食分别存储，分别标记，提高粮食检验的精确性。
用于海关粮食检验采样存储装置方法系统

[发明专利]基于ROS2的移动机器人控制系统-CN202111545905.3在审
发明人：殷跃红;朱俊达;黄磊;袁玉峰 -专利权人： 上海交震半导体科技有限公司;上海交通大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于ROS2的移动机器人控制系统，包括：地面站PC、机器人上位机端和机器人下位机端；所述地面站PC与所述机器人上位机端之间采用无线连接；所述机器人上位机端与所述机器人下位机端之间采用通用异步收发传输器UATR进行有线连接。本发明通过采用ROS2机器人操作系统作为主控操作系统，解决了常规ROS实时性差，只能在少数操作系统上运行，占用大量资源等问题，满足了分布式系统对安全性、扩展性、容错性和实时性的要求。
基于 ros2 移动机器人控制系统

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