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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种大功率旋转阴极端头-CN202320606397.3有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种大功率旋转阴极端头，包括主轴和套设于所述主轴上并绕主轴中心轴线相对转动的同步轮空心轴；主轴由导电材料制成，且在主轴与同步轮空心轴之间通过铜套电性连接；同步轮空心轴由导电材料制成，其中一端连接靶材；在主轴与同步轮空心轴之间的间隙中还设置有导电环组件，外部电源依次通过主轴、导电环组件、同步轮空心轴与靶材电性连接。该大功率旋转阴极端头的主轴与同步轮空心轴之间既通过导电套、弹簧以及导电块电性连接，又通过第二电编织带和导电块电性连接电性连接，从而实现大功率动态旋转传输的目的，并且多个均匀分布的导电块与同步轮空心轴浮动接触，从而实现大功率动态旋转传输的目的。
一种大功率旋转阴极端头

[实用新型]一种镀膜设备阴极供气装置-CN202320672510.8有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种镀膜设备阴极供气装置，包括集成气路板，在所述集成气路板内开设有多条平行或相交的气路，该镀膜设备阴极供气装置配置三个进气嘴快换接头，能够同时连接三种不同的气源，满足真空镀膜设备多种气体供应的要求，并且还配置四个出气嘴快换接头，通过不同气路的组合能够输出单一气体，也能够输出多种混合气体，同时每条气路上均设置有流量计，通过调节流量计，使得出气嘴快换接头能够输出不同流量的单一气体或者不同比例的混合气体，从而满足大部分真空镀膜设备供气的需求。
一种镀膜设备阴极供气装置

[实用新型]一种旋转阴极供气系统管路-CN202223174321.2有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种旋转阴极供气系统管路，属于旋转阴极配套设备技术领域。该旋转阴极供气系统管路包括管路座，所述管路座的其中一面上开设有一个主气口和多个辅气口；所述主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路；每个所述辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；所述管路座的另一面上间隔开设有多个缓冲室，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部均贯穿所述管路座与对应的所述缓冲室连通。该旋转阴极供气系统管路通过多个均匀间隔分布的缓冲室将工作气体均匀地导入真空室的各个部分，从而实现工作气体的均匀分布和均匀控制。
一种旋转阴极供气系统管路

[实用新型]一种平面阴极供气系统管路-CN202223174337.3有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种平面阴极供气系统管路，属于平面阴极配套设备技术领域。该平面阴极供气系统管路包括管路座以及沿长度方向设置于管路座上的多个上压条；管路座的其中一面上开设有至少一个主气口，另一面上至少开设有一个辅气口；每个主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与管路座上开设的缓冲室，使得主气口的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入缓冲室；每个辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；每个上压条内至少开设有一个混合腔，缓冲室以及每个辅气口的辅三级分气路端部均与混合腔连通，使得主气口与辅气口导入的气体在混合腔内进行混合。
一种平面阴极供气系统管路

[实用新型]一种密集型硅片镀膜载板装置-CN202222827175.2有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种密集型硅片镀膜载板装置，在框架内并排放置有至少一块硅片承载板，每块硅片承载板上均匀开设有多个硅片放置槽，每个硅片放置槽内均放置有一块待镀膜的硅片；硅片承载板四周通过多个拉扣与框架连接，且拉扣中穿过有与框架本体的螺纹孔连接的调节螺栓，通过转动调节螺栓能够调节硅片承载板的拉紧力。该密集型硅片镀膜载板装置的硅片承载板四周通过多个拉扣与框架连接，且拉扣中穿过有与框架本体的螺纹孔连接的调节螺栓，通过转动调节螺栓能够调节硅片承载板的拉紧力，使得面积较大的硅片承载板的中间与四周能够保持在同一水平面，从而使得硅片承载板一次性能够装载更多的待镀膜的硅片，且不会因硅片承载板变形而影响镀膜效果。
一种密集型硅片镀膜装置

[实用新型]一种旋转阴极从动端连接结构-CN202222739180.8有效
发明人：匡国庆;匡静;万安江 -专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种旋转阴极从动端连接结构，属于旋转阴极安装结构技术领域。该从动端连接结构包括从动端支撑座、球头组件和转动轴承；所述球头组件包括球头座以及装配于所述球头座内的球头销；所述旋转阴极的从动端与所述球头销连接，所述球头座与所述从动端支撑座之间通过所述转动轴承转动连接。该旋转阴极从动端连接结构将旋转阴极的从动端与从动端支撑座之间通过球头组件连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极的从动端连接的球头销也能够在球头座中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极的偏心安装，能够大大提高旋转阴极的安装难度。
一种旋转阴极从动连接结构

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