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[发明专利]一种Trench MOS器件及其制备方法-CN202310934320.3有效
发明人： 丁振峰;兰立新 -专利权人：江西萨瑞半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开了一种Trench MOS器件及其制备方法，涉及半导体电子器件技术领域，制备方法包括提供一P型外延衬底，刻蚀形成沟槽，在P型外延衬底的表面和沟槽上沉积第一介质层；在沟槽内的第一介质层上生长多晶硅，以将沟槽填满，磨平回刻；在P型外延层上依次进行N型掺杂和P型掺杂，得到阱区和源极；在P型外延层的表面沉积第二介质层，刻蚀阱区，形成凹槽；在凹槽内以第一预设温度、第一预设浓度进行P型离子注入，再进行N型离子注入；在凹槽内沉积金属，本发明能够解决沉积金属之前注入与阱区的掺杂离子为同类型的掺杂，由于工艺波动所引起的通孔深度变化而导致阱区的掺杂下阔，使PN结形成曲率半径较小的凸起，造成BV下降的技术问题。
一种 trench mos 器件及其制备方法

[发明专利]一种SGT器件的工艺方法及SGT器件-CN202310849595.7有效
发明人： 丁振峰;骆建辉 -专利权人：江西萨瑞半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明提供一种SGT器件的工艺方法及SGT器件，该方法通过提供一N型外延衬底，并在N型外延衬底上刻蚀出第一沟槽，后通过热氧化的方式，在第一沟槽内壁生长第一氧化层，然后填充N型掺杂的多晶硅，并采用CMP技术磨平后回刻，以在第一沟槽内形成屏蔽栅，采用湿法刻蚀技术，将第一沟槽内壁的第一氧化层刻蚀预设深度，随后通过热氧化的方式，在第二沟槽内壁生长预设厚度的第二氧化层，将P型掺杂的多晶硅和N型掺杂的多晶硅依次沉积于第二沟槽内，并采用CMP技术磨平，最终在阱掺杂后，进行高温退火，以得到具有高击穿电压的SGT器件。
一种 sgt 器件工艺方法

[发明专利]一种改善SGT阈值电压稳定性的工艺方法及SGT器件-CN202310934314.8在审
发明人： 丁振峰;兰立新 -专利权人：江西萨瑞半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种改善SGT阈值电压稳定性的工艺方法及SGT器件，该方法通过刻蚀出沟槽后，对沟槽的宽度进行测量，将测量得到的沟槽宽度值与对应的目标值作差，将第一差值输入映射模型中，输出第一目标档位，后在沟槽中形成栅极，然后控制源极离子注入，并根据第一目标档位，调用光刻程序，以对通孔的刻蚀进行控制，后对通孔宽度进行测量，将测量结果与对应的目标值作差，得到第二差值，并根据第二差值确定第二目标档位，最后判断第一目标档位与第二目标档位是否为同一档位，若是，则控制工艺流程结束，若否，则重新调试光刻程序，以使最终刻蚀的第一差值和第二差值所属档位相同，保证沟槽尺寸和通孔尺寸波动情况，从而改善阈值电压的稳定性。
一种改善 sgt 阈值电压稳定性工艺方法器件

[发明专利]一种Trench MOS器件及其制备方法-CN202310934313.3在审
发明人： 丁振峰;骆建辉 -专利权人：江西萨瑞半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开了一种Trench MOS器件及其制备方法，涉及半导体电子器件技术领域，制备方法包括提供一P型外延衬底；在P型外延衬底的表面进行刻蚀，形成沟槽，并沉积第一氧化层；在沟槽的底部进行离子注入，形成N型注入区；去除第一氧化层，生长第二氧化层；在第二氧化层生长多晶硅，以将沟槽填满，并进行磨平回刻；在P型外延衬底内分别进行N型和P型掺杂，得到阱区和源极；在P型外延衬底上沉积第三氧化层，刻蚀成凹槽；对第三氧化层进行P型掺杂，并在凹槽内沉积金属，本发明能够解决Trench MOS器件的击穿点设置在沟槽的底部区域，电场集中于沟槽的底部，分布不均匀，降低击穿电压和栅氧耐压性能的可靠性的技术问题。
一种 trench mos 器件及其制备方法

[发明专利]一种太阳能电池板清洁机器人及其工作方法-CN202310651096.7在审
发明人：张可可;鲁飞;龚淼;邓国标;焦刚刚;王涛;陈涛;丁振峰 -专利权人：华东送变电工程有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池板清洁机器人及其工作方法，本发明包含太阳能板清洁装置和装载清洁机构的智能寻路小车平台两个部分。清洁装置包含闭锁挂载机构、驱动装置、高清洁度毛刷，小车平台负责装载清洁装置，将其配送到指定的出发点，并将清洁装置平稳架在太阳能板上，在清洁装置工作时小车与清洁装置同步工作，小车带动清洁板在光伏板上移动实现整个光伏板得清洁，并为清洁装置提供工作所需的电能和水。本发明通过清洁装置可实现快速、方便的对太阳能板进行清洁，整个清洁过程不需要人的参与，大大节省人力，自动化程度高，清洁效果较好。
一种太阳能电池板清洁机器人及其工作方法

[发明专利]一种SGT器件的工艺方法及SGT器件-CN202310849593.8在审
发明人： 丁振峰;骆建辉 -专利权人：江西萨瑞半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明提供一种SGT器件的工艺方法及SGT器件，通过热氧化的方式，在沟槽内壁生长第一氧化层；采用CVD设备在第一氧化层和掩膜层的表面沉积第二氧化层；在沟槽内填充多晶硅，并采用CMP技术磨平后回刻，以在沟槽内形成屏蔽栅；采用湿法刻蚀技术，将掩膜层表面的第二氧化层去除，同时，将沟槽内壁的第一氧化层和第二氧化层刻蚀预设深度；通过热氧化的方式，沉积预设厚度的第三氧化层；在第三氧化层上沉积多晶硅，以使多晶硅填满沟槽，并采用CMP技术磨平，以完成栅极的制作，具体的，通过热氧化方式和CVD方式制备氧化层，一方面可以控制氧化层的厚度，另一方面，可以在有效改善掩膜层翘曲的同时，杜绝剥离缺陷现象的发生。
一种 sgt 器件工艺方法

[实用新型]一种便于调节的三维激光扫描装置-CN202223265118.6有效
发明人：鲁飞;万炳才;张国强;王涛;焦刚刚;陈涛;张可可;丁振峰;管超;徐玉胜 -专利权人：华东送变电工程有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于调节的三维激光扫描装置，涉及三维激光扫描仪技术领域，包括三维激光扫描仪，所述三维激光扫描仪的侧边设置有显示屏，且显示屏的外侧设置有固定框，所述固定框的上侧卡合有转动块，且转动块的端头固定连接有转动板。本实用新型通过设置有固定框和转动板，实现对太阳光线的阻拦，因而在太阳较为强烈的情况下，无需工作人员在调整参数的过程中始终用手掌来阻拦，从而可有效提升本装置使用过程中的便捷性，设置有连接杆和对接杆，可实现对转动板位置的调节工作，在方便转运本装置的同时，且可实现对显示屏的保护。
一种便于调节三维激光扫描装置

[实用新型]一种便于安装三维激光扫描仪的支撑架-CN202223262262.4有效
发明人：鲁飞;万炳才;张国强;王涛;焦刚刚;陈涛;张可可;丁振峰;管超;徐玉胜 -专利权人：华东送变电工程有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及三维扫描仪领域，尤其涉及一种便于安装三维激光扫描仪的支撑架。所述便于安装三维激光扫描仪的支撑架包括安装座，还包括：挤压盘，呈棘轮状，同轴心转动与安装座下端；挤压件，铰接于安装座侧壁，且所述挤压盘外侧壁与挤压件相接触，而所述挤压件还延伸至安装座上端面。本实用新型提供的便于安装三维激光扫描仪的支撑架中，棘轮状的挤压盘在转动时，会对挤压件产生逐步增大的挤压，使得挤压件本身的转动幅度更大，因此其另一端能够更靠近安装座，从而能够对安装座内部固定的三维扫描仪底座进行夹持固定，从而对三维扫描仪本体达到固定的目的，操作更加的简单，使用也更加的方便。
一种便于安装三维激光扫描仪支撑架

[发明专利]一种用于射孔测试联作的装置及操作方法-CN202111071536.9在审
发明人：张友义;崔明月;吴志均;任源峰;吴秋来;丁振峰 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： E21B43/116 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于射孔测试联作的装置及操作方法，其中，用于射孔测试联作的装置包括油管一、校深短节、油管二、循环阀、负压阀、传压组件、封隔器、压力计托筒、压控式常开阀、压控式常闭阀、减震器组件、点火头、射孔枪，减震器组件的减震效果使得承载压力计的压力计托筒可以设置于封隔器下方，压力计距离储层更近，缩短了测试口袋，可有效克服低渗透、特低渗透储层井筒储集效应的影响，提高试油资料录取质量；该装置通过环空加压方式对压控式常开阀和压控式常闭阀来进行关井和开井，操作简单可靠,该装置不需要采用测试阀，结构更加简单，降低了设备成本、施工人员劳动强度和熟练程度要求，降低射孔测试联作的成本和失败率。
一种用于测试装置操作方法

[实用新型]一种放线滑车专用底座支架-CN202222048942.X有效
发明人：陈鹏飞;周国旺;丁振峰;张利刚;汪豪 -专利权人：华东送变电工程有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： F16M5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种放线滑车专用底座支架，其特征在于：包括底部四根槽钢连接组成底座框架，框架四角垂直设置4根槽钢组成支撑框架，支撑框架设置补强钢筋增加支撑框架强度，底座框架设置4个φ20孔用于地面固定，在支撑框架顶部设置4个φ20孔用于和放线滑车固定，在支撑框架侧面设置4个φ20孔用于放线滑车专用底座拉线固定。本实用新型具有结构合理，安装操作简便，既达到了方便施工的目的也有效的保证了导线展放质量。
一种放线滑车专用底座支架

[发明专利]关井取样阀、试油管柱及其操作方法-CN202011387512.X在审
发明人：张友义;崔明月;晏军;吴志均;赫安乐;任源峰;丁振峰 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： E21B49/08 文献下载
摘要：本发明为一种关井取样阀、试油管柱及其操作方法，其中，关井取样阀包括第一外护管和第一滑套，在第一外护管的上部管壁和下部管壁分别开设有第一加压孔和第一外导流孔。在第一滑套的内部形成有生产通道，第一滑套能滑动地穿设在第一外护管内，在第一滑套的下部管壁上开设有能与第一外导流孔导通的第一内导流孔。第一滑套的上端外壁与第一外护管的内壁之间形成能与生产通道连通的取样环空。在第一剪钉剪断的状态下，第一滑套能沿第一外护管轴向向上滑动至第一滑套的上端外壁与第一外护管的上端内壁密封接触，并使得取样环空形成两端封闭的密封取样空间。本发明能够在排液求产后瞬间实现井下关井取样，以得到合格的地层流体的样品。
取样试油管柱及其操作方法

[发明专利]基于无公网的视频监控视频-CN202111529539.2在审
发明人：郝家敏;丁振峰;严骥;罗书明 -专利权人：华东送变电工程有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于无公网的视频监控视频，包括检测设备、主控板、光伏板、电源管理模块和锂电池，检测设备和电源管理模块均与主控板电连接；光伏板与通过电源管理模块与锂电池电连接；检测设备，用于采集被监测区域的图像、视频信息以及环境信息；主控板，用于对图像、视频信息以及环境信息进行分析处理，并进行数据存储；电源管理模块，用于将光伏板产生的电能存储在锂电池内，并为防外破系统进行供电。本发明通过检测设备实现对入侵异物的识别和轨迹跟踪，并采用了4G网络无线通信模块，将检测到的异物入侵通过平台服务器传送给运行人员，让运行人员能够及时地了解到变电站异物入侵的状态，从而大大减少了异物入侵导致变电站事故的发生。
基于公网视频监控

[发明专利]一种圆板天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器-CN201911297380.9有效
发明人：付省辉;丁振峰;杜满强;李娟 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： F03H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆板天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器，属于微小卫星电推进技术领域。采用圆板天线馈入微波能量，降低了天线的微波功率密度，抑制了天线起弧，提高了截止功率密度，增加了共振区的横向微波电场强度，降低了击穿功率，提高了等离子体产生效率，同时提高了等离子体径向均匀性。用圆弧形磁钢块组成了闭合的永久磁钢柱体，与端面环形磁场构成交叉磁场，径向、轴向磁梯度力有效地约束、驱动离子，提高了离子产生效率。同时，闭合磁场降低了磁钢间隙弱磁场处的带电粒子泄露。在优化的共振区分布下，采用薄铝板即可覆盖前端面的电子回旋共振区，抑制该区域的局部强放电，提高等离子体产生效率，进一步提高了推进器的性能。
一种天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器

[实用新型]一种方便定量下料的干法制备氧化亚镍高温分解反应器-CN201921858541.2有效
发明人： 丁振峰;陆寅;陆明森;周红艳 -专利权人：江苏泰禾金属工业有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： B01J4/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便定量下料的干法制备氧化亚镍高温分解反应器，包括耐高温外壳、第一驱动电机和排气管，所述耐高温外壳的下方设置有加热仓，所述反应仓的右下方开设有出料口，且出料口的内部设置有电磁阀门，所述第一驱动电机的输出端连接有搅拌杆，所述拦料板的右侧连接有齿条，且齿条的右侧连接有第一复位弹簧，所述齿条的下方设置有半齿轮，所述排气管的上方设置有过滤管，且过滤管的内部设置有二氧化碳吸收剂，所述过滤管的左下方设置有限位杆。该方便定量下料的干法制备氧化亚镍高温分解反应器可以定时开启和关闭进料口，有效起到定量下料的作用，防止下料过多导致分解反应不全面。
一种方便定量法制氧化高温分解反应器

[实用新型]一种用于飞机涂料的纳米管状氧化亚铜合成加热装置-CN201921864645.4有效
发明人： 丁振峰;陆寅;陆明森;常一鸣 -专利权人：江苏泰禾金属工业有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于飞机涂料的纳米管状氧化亚铜合成加热装置，包括外筒，所述外筒的内部放置有内筒在内筒的内部转动连接，所述第一连接轴的外表面焊接连接有搅拌杆，所述外筒的左上端焊接连接有进料口，所述第二连接轴的外壁固定连接有控制转盘，所述内筒的外壁贴合连接有第一管道，所述第二管道的下端螺纹连接有抽水泵，所述水箱的右上端螺栓连接有加热管，所述第四管道的左端螺纹连接有第一管道，所述抽水泵的右端螺纹连接有第三管道，所述内筒的下端焊接连接有出料口，且出料口的内部放置有密封塞。该用于飞机涂料的纳米管状氧化亚铜合成加热装置，便于控料，且便于充分加热原料，并且便于减少资源浪费。
一种用于飞机涂料纳米管状氧化亚铜合成加热装置

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