钻瓜专利网为您找到相关结果
13447 个，建议您
升级VIP 下载更多相关专利
[发明专利] 晶圆清洗装置和方法 -CN201580083409.7 在审
发明人：
张晓燕 ;吴均 ;王晖 ;陈福平
- 专利权人：
盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日：
2015-09-30
-
公布日：
2018-06-08
-
主分类号：
H01L21/67 文献下载
摘要： 装置(2000,3000,9000)包括：保持至少两片晶圆(1000)的卡盘(2001,3001,9001 )，该至少两片晶圆(1000)与卡盘(2001,3001,9001 )的中心有一段距离，每片晶圆(1000)的表面有多个微小结构(1003)；驱动卡盘(2001,3001,9001 )转动的驱动装置(2002,3002,9002)；以及至少一个向晶圆(1000)喷洒流体以清洗或干燥晶圆(1000)的喷嘴方法包括：在卡盘(2001,3001,9001 )上装载至少两片晶圆(1000)，该至少两片晶圆(1000)与卡盘(2001,3001,9001 )的中心有一段距离，每片晶圆(1000)的表面有多个微小结构(1003)；驱动卡盘(2001,3001,9001 )以一转速转动；向晶圆(1000)喷洒流体以清洗或干燥晶圆(1000)。片晶 晶圆 清洗 卡盘 驱动卡盘 微小结构 一段距离 流体 喷洒 晶圆清洗装置 驱动装置 转速转动 喷嘴 种晶 封装 转动 装载
[实用新型] 一种MP3解码传输板 -CN201620593378.1 有效
发明人：
- 专利权人：
申请日：
2016-06-17
-
公布日：
2017-01-04
-
主分类号：
G11C7/16 文献下载
摘要： 本实用新型公开了一种MP3解码传输板，它涉及电子设备技术领域；PCB板体的两端均安装有定位套，定位套的内部设置有安装孔，PCB板体的底部安装有散热片，电源转换模块分别与信息输入模块、DIR9001 数字音频解码芯片、TDA1543音频数模转换芯片、数据传输模块连接，信息输入模块与DIR9001 数字音频解码芯片的输入端连接，DIR9001 数字音频解码芯片与TDA1543音频数模转换芯片连接，TDA1543音频数模转换芯片与数据传输模块连接一种 mp3 解码 传输
