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- [发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法-CN201880025759.1有效
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和食雄大;佐川栄寿
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株式会社斯库林集团
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2018-07-27
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2023-05-02
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H01L21/027
- 本发明的衬底处理装置具备旋转保持部、涂布液喷出系统、第1喷出速率调整部及第2喷出速率调整部。旋转保持部将衬底以水平姿势保持并使它旋转。涂布液喷出系统将涂布液喷出到通过旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部。第1喷出速率调整部在第1期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为第1速率，以使从涂布液喷出系统喷出到衬底的一面的中心部的涂布液在衬底的一面上扩展。第2喷出速率调整部在第1期间之后的第2期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为高于第1速率的第2速率，以使扩展到衬底的一面的整体的涂布液的厚度增加。
- 衬底处理装置方法
- [发明专利]成像系统和成像装置-CN201080061022.9有效
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池田泰二;樋山拓己;山崎和男
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佳能株式会社
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2010-12-20
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2012-10-03
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H04N5/378
- 一种成像系统包括A/D转换器，该A/D转换器包含：保持单元，将像素信号作为电压电平而保持；比较器，比较保持的电压电平与基准电平；电路，能够改变电压电平以便以第一速率和第二速率接近基准电平，其中，电压电平以第一速率变化以根据基准电平与电压电平之间的关系的反转确定高位，之后，电压电平以第二速率改变以根据基准电平与电压电平之间的关系的反转确定低位；以及调整单元，在确定高位之后直到电压电平以第二速率改变的时段期间调整电压电平，使得低位与电压电平保持线性关系。
- 成像系统装置
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