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[发明专利]一种多弧型带材真空连续镀膜系统-CN202010106165.2有效
发明人：王殿儒;田玉波;王百湘;程云立;田源 -专利权人：王殿儒;唐山中土科技发展有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种多弧型带材真空连续镀膜系统，该镀膜系统用于卷绕带材的镀膜，所述镀膜系统包括真空室，所述真空室中设置有入口真空锁、电子枪、第一导向轮、滚轮、第二导向轮、移动杆、密封板、多弧离子源、第一真空镀膜仓、第二真空镀膜仓与出口真空锁，所述带材依次穿过所述入口真空锁、第一导向轮、通气口、第一真空镀膜仓或第二真空镀膜仓、滚轮、通气口、第二导向轮与出口真空锁，所述第一真空镀膜仓与第二真空镀膜仓交替用于带材真空镀膜，从而实现连续镀膜。本发明的多弧型带材真空连续镀膜系统通过两个真空镀膜仓交替工作方式以实现真正地真空连续镀膜。
一种多弧型带材真空连续镀膜系统

[发明专利]旋转式连续镀膜装置及其方法-CN201210501700.X有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2012-11-29 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明公开旋转式连续镀膜装置及方法，其装置是将工件输送带设于真空镀膜装置的一侧，工件输送带的装卸工位与真空镀膜装置的预抽真空室之间设置装卸片机构；真空镀膜装置为旋转式结构，设有多个呈圆周分布的真空室；装卸片机构设有可进行180°旋转的旋转臂；其方法是工件输送带将待镀膜工件送入装卸工位，真空镀膜装置内的已镀膜工件同时进入预抽真空室；通过装卸片机构的旋转臂旋转180°，带动待镀膜工件和已镀膜工件交换位置；工件输送带继续运行，将已镀膜工件送出装卸工位，并将新的待镀膜工件送入装卸工位，同时，真空镀膜装置对待镀膜工件进行镀膜，新的已镀膜工件进入预抽真空室。本发明实现连续式的自动化作业，提高工作效率。
旋转连续镀膜装置及其方法

[实用新型]旋转式连续镀膜装置-CN201220647318.5有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2012-11-29 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种旋转式连续镀膜装置，将工件输送带设于真空镀膜装置的一侧，工件输送带的装卸工位与真空镀膜装置的预抽真空室之间设置装卸片机构；真空镀膜装置为旋转式结构，设有多个呈圆周分布的真空室；装卸片机构设有可进行180°旋转的旋转臂；工件输送带将待镀膜工件送入装卸工位，真空镀膜装置内的已镀膜工件同时进入预抽真空室；通过装卸片机构的旋转臂旋转180°，带动待镀膜工件和已镀膜工件交换位置；工件输送带继续运行，将已镀膜工件送出装卸工位，并将新的待镀膜工件送入装卸工位，同时，真空镀膜装置对待镀膜工件进行镀膜，新的已镀膜工件进入预抽真空室。本实用新型实现连续式的自动化作业，提高工作效率高。
旋转连续镀膜装置

[发明专利]连续式镀膜设备及生产工艺-CN201210099029.0无效
发明人：应伟达 -专利权人：上海千达不锈钢有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种连续式镀膜设备及生产工艺，连续式镀膜设备包含有多弧离子源、真空装置、进气装置和温控装置的真空镀膜机构，由有进料口的进料室、有出料口的出料室和真空镀膜室构成耐压的密封空间，所述的真空镀膜室两端分别与进料室、出料室密封连接，所述的真空镀膜机构设在真空镀膜室，其中，所述的进料室设有放卷轴，放卷轴上设有刹车机构；所述的出料室设有收卷轴，收卷轴由电机带动；所述的真空镀膜室内设有张力辊。本发明设备能不间断地进行金属基材离子镀膜，且操作方便、工序简便、产量大、效率高，节约能源达70%以上，节约劳动力为80%以上。
连续镀膜设备生产工艺

[实用新型]连续式镀膜设备-CN201220141891.9有效
发明人：应伟达 -专利权人：上海千达不锈钢有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种连续式镀膜设备，包含有多弧离子源、真空装置、进气装置和温控装置的真空镀膜机构，由有进料口的进料室、有出料口的出料室和真空镀膜室构成耐压的密封空间，所述的真空镀膜室两端分别与进料室、出料室密封连接，所述的真空镀膜机构设在真空镀膜室，其中，所述的进料室设有放卷轴，放卷轴上设有刹车机构；所述的出料室设有收卷轴，收卷轴由电机带动；所述的真空镀膜室内设有张力辊。本实用新型的连续式镀膜设备能不间断地进行金属基材离子镀膜，且本设备操作简单、工序简便、产量大、效率高，节约能源达70%以上，节约劳动力为80%以上。
连续镀膜设备

[发明专利]智能连续镀膜设备-CN201910424961.8在审
发明人：应净球 -专利权人：应净球
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种智能连续镀膜设备，用于薄钢板镀膜，包含有多弧离子源、真空镀膜通道和带温控的真空镀膜机构，由MCU分别控制多弧离子源、镀膜通道的真空、带温控的真空镀膜机构以及进出料的传动机构，所述的镀膜通道与放卷模块和收卷模块通过闸门密封连接本发明提供了一种的智能连续式镀膜设备，能不间断地进行金属卷材离子镀膜，操作简单、可连续化大规模量产，质量稳定、效率高。
镀膜连续镀膜设备真空镀膜机构离子源温控智能连续式镀膜设备放卷模块金属卷材离子镀膜密封连接真空镀膜质量稳定薄钢板进出料连续化量产收卷闸门

[实用新型]智能连续镀膜设备-CN201920731811.7有效
发明人：应净球 -专利权人：应净球
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种智能连续镀膜设备，用于薄钢板镀膜，包含有多弧离子源、真空镀膜通道和带温控的真空镀膜机构，由MCU分别控制多弧离子源、镀膜通道的真空、带温控的真空镀膜机构以及进出料的传动机构，所述的镀膜通道与放卷模块和收卷模块通过闸门密封连接本实用新型提供了一种的智能连续式镀膜设备，能不间断地进行金属卷材离子镀膜，操作简单、可连续化大规模量产，质量稳定、效率高。
智能连续镀膜设备

[发明专利]一种带材多室连续式真空等离子体镀膜系统-CN201810791582.8在审
发明人：何培忠 -专利权人：广州市中昊装饰材料有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种带材多室连续式真空等离子体镀膜系统，包括真空镀膜室、抽真空装置、加热器、弧源发生器和涨缩头，涨缩头包括放卷涨缩头和收卷涨缩头，带材缠绕在放卷涨缩头上，带材的端部穿入真空镀膜室连接到收卷涨缩头，真空镀膜室分别连接抽真空装置，通过抽真空装置对真空镀膜室抽真空，真空镀膜室内设置加热器，弧源发生器均匀分布在真空镀膜室上，通过加热器对真空镀膜室加热后弧源发生器向带材溅射金属离子，弧源发生器与带材之间安装进气管，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面。该镀膜系统实现了带材的连续单双面单一或复合膜层的沉积，应用范围非常广泛，可满足各种镀层需求。
真空镀膜室带材缩头发生器弧源加热器抽真空装置等离子体镀膜连续式真空金属离子进气管多室放卷收卷沉积带材表面镀膜系统复合膜层气体通过真空镀膜抽真空穿入镀层溅射加热缠绕室内应用

[实用新型]一种带材多室连续式真空等离子体镀膜系统-CN201821160214.5有效
发明人：何培忠 -专利权人：广州市中昊装饰材料有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带材多室连续式真空等离子体镀膜系统，包括真空镀膜室、抽真空装置、加热器、弧源发生器和涨缩头，涨缩头包括放卷涨缩头和收卷涨缩头，带材缠绕在放卷涨缩头上，带材的端部穿入真空镀膜室连接到收卷涨缩头，真空镀膜室分别连接抽真空装置，通过抽真空装置对真空镀膜室抽真空，真空镀膜室内设置加热器，弧源发生器均匀分布在真空镀膜室上，通过加热器对真空镀膜室加热后弧源发生器向带材溅射金属离子，弧源发生器与带材之间安装进气管，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面。该镀膜系统实现了带材的连续单双面单一或复合膜层的沉积，应用范围非常广泛，可满足各种镀层需求。
真空镀膜室带材缩头发生器弧源加热器抽真空装置等离子体镀膜连续式真空金属离子进气管多室放卷收卷沉积本实用新型带材表面镀膜系统复合膜层气体通过真空镀膜抽真空穿入镀层溅射加热缠绕室内应用

[实用新型]旋转式真空镀膜装置-CN201220647294.3有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2012-11-29 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种旋转式真空镀膜装置，将工件输送带设于真空镀膜装置的一侧，工件输送带的装卸工位与真空镀膜装置的预抽真空室之间设置装卸片机构；真空镀膜装置为旋转式结构，设有多个呈圆周分布的真空室；装卸片机构设有可进行180°旋转的旋转臂；工件输送带将待镀膜工件送入装卸工位，真空镀膜装置内的已镀膜工件同时进入预抽真空室；通过装卸片机构的旋转臂旋转180°，带动待镀膜工件和已镀膜工件交换位置；工件输送带继续运行，将已镀膜工件送出装卸工位，并将新的待镀膜工件送入装卸工位，同时，真空镀膜装置对待镀膜工件进行镀膜，新的已镀膜工件进入预抽真空室。本实用新型实现连续式的自动化作业，提高工作效率高。
旋转真空镀膜装置

[实用新型]连续式蒸镀溅镀机-CN03219715.2无效
发明人：林政乾;戴明光;马伟平 -专利权人：林政乾;戴明光;马伟平
申请日： 2003-01-28 - 公布日： 2004-02-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种连续式蒸镀溅镀机，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的两端分别密封连接在若干个进件真空过渡室和出件真空过渡室，每个进件真空过渡室和出件真空过渡室均安装有抽真空装置，进件真空过渡室、真空镀膜机和出件真空过渡室之间贯通有工件输送导向装置，每个室与室之间均设有密封移门装置；本实用新型可以使真空镀膜机始终处于真空状态，实现连续工作，提高生产效率。
连续式蒸镀溅镀机

[发明专利]一种真空镀膜系统-CN201510581546.5在审
发明人：陈学兵;王光辉 -专利权人：苏州普京真空技术有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜系统，包括控制器、真空镀膜机、镀膜室、冷却室、排气阀以及人机界面，所述的控制器与真空镀膜机相连接，所述的镀膜室和冷却室分别与真空镀膜机相连接，所述的排气阀与镀膜室相连接，所述的人机界面与控制器相连接通过上述方式，本发明提供的真空镀膜系统，设置有镀膜室和冷却室，可省时、省力、减少动力消耗和大气对镀膜室污染的镀膜装置，提供一种可使多个镀膜室保持一定真空度的节拍式连续工作的真空镀膜系统。
一种真空镀膜系统

[实用新型]一种环绕式真空镀膜机产线-CN202221410440.0有效
发明人：郭爱云;朱选敏 -专利权人：武汉科瑞达真空科技有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种环绕式真空镀膜机产线，解决了现有技术中依靠单体镀膜机单独生产效率低的问题；其包括中心腔，中心腔上开设有进口、出口以及转接口，中心腔的进口、出口以及转接口处设置有密封阀门，进口与转接口处的密封阀门外对接有真空镀膜单元，中心腔与真空膜单元上连接有真空泵，进口处对接的真空镀膜单元上开设有进料口，进料口处设置有密封阀门，进料口外设置有上料装置；本方案整合了不同真空镀膜单元的上料装置，使其连续的将待镀膜产品先后放入不同的真空镀膜单元中，产品通过全程保持真空的中心腔依次进出不同的真空镀膜单元，先后完成不同的镀膜工序，能连续化工作，大大提高了效率。
一种环绕真空镀膜机产线

[实用新型]一种多室连续真空镀膜装置-CN201120216053.9有效
发明人：刘晓波;翟玉涛;王珂;李绪波;文磊 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2011-06-24 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多室连续真空镀膜装置，旨在提供一种能够将大真空室分割为若干个气氛独立的小真空镀膜室，能够实现多室连续真空镀膜的装置。它包括一个大真空室、若干个真空泵，大真空室中均匀设置若干个气室隔离墙，气室隔离墙之间形成小真空镀膜室，大真空室与小真空镀膜室各自与至少一台真空泵相连。本实用新型适用于真空环境下的连续多层镀膜。
一种连续真空镀膜装置

[发明专利]连续真空镀膜方法-CN201010234736.7无效
发明人：张新倍;陈文荣;蒋焕梧;戴龙文;陈正士 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-07-23 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种连续真空镀膜方法。该方法包括如下步骤：提供一基体；将该基体装载于一连续真空镀膜机中，该连续真空镀膜机的镀膜室设有阴极电弧发射源；以阴极电弧镀的方式在该基体的表面沉积一镀膜层。
连续真空镀膜方法

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