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- [发明专利]一种超高真空设备-CN202010436585.7有效
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王璇;邱恒山;陆彬
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郑州大学
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2020-05-21
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2021-12-10
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B01D7/00
- 本发明涉及一种用于真空环境下的外部加热装置及超高真空设备,超高真空设备包括真空腔体和外部加热装置,外部加热装置包括加热单元,加热单元包括用于与真空腔体连通的供靶材放置的壳体管,壳体管的一端为盲端,壳体管的外壁上设置有加热结构靶材放置于壳体管中,通过加热结构对壳体管中的靶材进行加热,在真空腔体外部对目标靶材加热,无需引入真空密封电极,大大简化了超高真空设备的结构,降低了成本,同时也简化了操作,使用方便。
- 一种超高真空设备
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