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[发明专利]一种全对称的MEMS全硅摆式加速度计及惯性导航系统-CN202111472846.1在审
发明人：宋运康;闫鑫;赵坤帅;熊恒;孙国良;王刚 -专利权人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明属于加速度计领域，涉及一种全对称的MEMS全硅摆式加速度计及惯性导航系统。加速度计为上下对称结构，包括：底支撑硅层、中间硅层、顶支撑硅层，以及介于中间硅层与底支撑硅层的底层隔离硅层，介于中间硅层与和顶支撑硅层之间的顶层隔离硅层；各硅层通过硅硅键合方式固连，通过氧化绝缘层进行电气绝缘；底支撑硅层和顶支撑硅层结构相同且镜像对称的硅层，底层隔离硅层和顶层隔离硅层结构相同且镜像对称的隔离硅层；隔离硅层用于隔离中间硅层和硅层之间的寄生电容，底支撑硅层、底层隔离硅层、顶层隔离硅层和顶支撑硅层都为中心对称结构；中间硅层沿自身的两个弹性梁的中垂线对称。
一种对称 mems 摆式加速度计惯性导航系统

[实用新型]工位化螺栓硅脂批量涂装装置-CN202022416993.4有效
发明人：姚尚 -专利权人：中车株洲电机有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B05C3/10 文献下载
摘要：工位化螺栓硅脂批量涂装装置，包括盛装硅脂的硅脂盒、用于支撑螺栓的支撑板，支撑板置于硅脂盒上，螺栓的螺杆穿过支撑板伸入至硅脂盒的硅脂中，螺栓的头部置于支撑板上。本实用新型中支撑板上可放置多个螺栓，支撑板置于硅脂盒上使多个螺栓的螺杆同时伸入至硅脂盒的硅脂中，将螺栓从支撑板上取出后在螺杆部分形成硅脂覆层，避免依次逐个在螺栓上涂刷硅脂，实用性高，提高硅脂的涂刷效率，降低牵引电机烘焙工序中的劳动强度，满足不同长度螺栓的硅脂涂覆需求。
工位化螺栓批量装置

[实用新型]一种用于硅棒尾端的支撑装置-CN202223525058.7有效
发明人：靳华福;刘秀坤;李斌全;刘洋;徐杰 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于硅棒尾端的支撑装置，包括支撑机构。所述支撑机构能够沿加工平台的长度方向滑动，以靠近或者远离所述硅棒尾端。当所述支撑机构滑动至与所述硅棒尾端的端面相抵时，所述支撑机构能够吸附于所述硅棒尾端的端面以支撑并固定所述硅棒尾端。通过支撑机构能够相对于加工平台、滑动，以朝向硅棒尾端运动，直至支撑机构与硅棒尾端端面相抵从硅棒的一端进行支撑并通过吸附固定硅棒尾端，无需人工手动支撑，提高了下料效率，而且相较于人工下料支撑方便，支撑效果更好
一种用于尾端支撑装置

[发明专利]一种硅晶圆的加工方法、控制装置及外延反应设备-CN201811612257.7有效
发明人：王力;金柱炫 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种硅晶圆的加工方法、控制装置及外延反应设备，该方法包括：在硅晶圆完成外延沉积后，调整硅晶圆上的印记与支撑杆的相对位置，印记为装载硅晶圆时支撑杆与硅晶圆接触形成的；通过支撑杆将硅晶圆从基座中抬升至指定位置本发明实施例中，在硅晶圆完成外延沉积后，先调整硅晶圆上的印记与支撑杆的相对位置，然后控制支撑杆将硅晶圆从基座中抬升至指定位置，使支撑杆在装载硅晶圆与卸载硅晶圆时与硅晶圆接触的位置尽量一致，从而减少硅晶圆背面印记的面积，提高硅晶圆的质量。
一种硅晶圆加工方法控制装置外延反应设备

[发明专利]一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构及其下料装置-CN202211702517.6在审
发明人：靳华福;刘秀坤;李斌全;徐杰;李柱 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构，包括第一支撑单元和第二支撑单元。所述第一支撑单元能够沿硅棒加工平台朝向硅棒的首端运动，以对所述硅棒的首端的异形头部进行支撑。所述第二支撑单元与所述第一支撑单元固定连接以对所述异形头部的底端进行支撑。通过第一支撑单元和第二支撑单元均能够相对于硅棒支撑平台共同滑动，以朝向硅棒的首端运动，直至第一支撑单元与硅棒的首端端面相抵从硅棒的一端进行支撑，第二支撑单元与硅棒的首端的异形头部的底端进行支撑，两者的共同支撑以配合切割头进行切割硅棒的异形头部，无需人工手动支撑，提高了下料效率，而且相较于人工下料支撑方便，支撑效果更好。
一种用于截断异形头部支撑机构及其装置

[实用新型]卧式硅芯切割机用硅棒支撑切割装置-CN202221535172.5有效
发明人：张新忠;张炀 -专利权人：无锡斯达新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了卧式硅芯切割机用硅棒支撑切割装置，包括并列且平行设置的硅棒支撑部和硅棒切割部，硅棒支撑部包括第一支撑立柱、第二支撑立柱、连接支撑组件和棒头底座组件，连接支撑组件连接在第一支撑立柱和第二支撑立柱的顶部，棒头底座组件设在在连接支撑组件上靠近第二支撑立柱的一端；硅棒切割部包括安装架、移动组件和切割组件，安装架上设有移动组件，切割组件安装在移动组件上；移动组件与连接支撑组件平行设置，移动组件与连接支撑组件所在的平面具有夹角本实用新型提供了一种极大提高硅棒截断效率、切割精度高、切削碎屑易于清理的卧式硅芯切割机用硅棒支撑切割装置。
卧式切割机用硅棒支撑切割装置

[实用新型]一种硅棒输送升降装置-CN202022183081.7有效
发明人：刘绪军;孙鹏;赵思禹 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B65G13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种硅棒输送升降装置，包括用于支撑待输送硅棒的支撑组件和用于升降支撑组件的升降组件，所述升降组件的升降端固定连接于所述支撑组件上。通过在底座框架上设置托架和升降组件，实现硅棒的上升或下降操作，当升降组件上升时，此时硅棒主要受托架的支撑，托架主要设置在硅棒下方，便于夹爪等抓取移动组件对硅棒进行抓取和移动，当升降组件下降时，托架与硅棒分离，硅棒主要依靠底座框架上设置在两侧的支撑重心设置较低的支撑座进行支撑，此时硅棒重心下降，进而保证支撑的稳定性。
一种输送升降装置

[实用新型]一种高支撑结构的硅堆-CN202222958520.6有效
发明人：陈岗;夏冰成 -专利权人：鞍山雷盛电子有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H02M7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高支撑结构的硅堆，包括绝缘底座、支撑杆、硅堆、支撑用均压环。所述的硅堆为长圆杆形状，包括多个，由两个硅堆横向串联连接，串联后的两个端部各连接一个支撑用均压环，构成一个硅堆组件；多个硅堆组件横向依次布置，端部及两个硅堆组件之间用支撑杆支撑，支撑杆底部安装在绝缘底座上将硅堆进行整体进行支撑高度的设计，从而增加与安装平面的绝缘距离和爬电距离，减少硅堆击穿后的对外伤害，并且利用高支撑杆还可以实现高位置安装。
一种支撑结构

[实用新型]铝合金熔炼用筛硅装置-CN201020284720.2有效
发明人：臧立国;王莹;杨保垒;王妍妍 -专利权人：保定隆达铝业有限公司
申请日： 2010-08-06 - 公布日： 2011-03-16 - 主分类号： B07B1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铝合金熔炼用筛硅装置，由支撑框架、位于支撑框架顶部的提升电机、位于支撑框架底部的筛子斜板、盛硅桶等组成，所述的提升电机通过支撑框架顶部的导向轮、油丝绳与盛硅桶连接，在盛硅桶侧的支撑框架的适当位置设有导向槽，盛硅桶内设有硅包挂钩。盛硅桶能够规范钩挂硅包，在实现了机械筛硅的同时，还能使硅包重复使用。有效降低了生产采购成本。经测算每天能节约硅包6-7个，节约资金200元左右，同时有效降低了员工劳动强度。
铝合金熔炼用筛硅装置

[实用新型]一种用于支撑硅热法竖罐的装置-CN202321251402.X有效
发明人：高倩;闫肃;杜源;许康;王晋华;吴军二 -专利权人：西安陕鼓动力股份有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C22B26/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于支撑硅热法竖罐的装置，包括两个分别套设在硅热法竖罐的轴向两端且结构相同的支撑机构；支撑机构包括依次套设在硅热法竖罐外壁上的支撑环和支撑托环，支撑环和支撑托环之间可转动设置有多个沿周向均匀分布的支撑结构；通过在硅热法竖罐的轴向两端设置支撑结构，便于对硅热法竖罐的两端进行支撑，达到了硅热法竖罐两端支撑稳定的目的；支撑结构中的电动液压油缸的伸缩端固定有压力传感器，便于硅热法竖罐支撑时每个电动液压油缸均通过压力传感器检测受力，便于调节硅热法竖罐支撑时的平衡力，防止了硅热法竖罐受热不均匀造成形变，解决了现有技术中支撑装置易造成硅热法竖罐变形导致硅热法竖罐稳定性差的技术问题。
一种用于支撑硅热法竖罐装置

[实用新型]一种夹持工装-CN201921779071.0有效
发明人：陈伟;丁云飞;李林东;王全志;周硕;陈志军;王万胜;邢国强 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶硅制造技术领域，尤其涉及一种夹持工装。该夹持工装包括：升降支撑台，用于支撑硅棒，所述升降支撑台能带动其上支撑的硅棒升降；夹具，所述夹具包括相对设置的两个夹持端，所述升降支撑台位于两个所述夹持端之间，所述夹具能沿所述硅棒的轴向夹持所述硅棒。该夹持工装中，通过升降支撑台调整硅棒的高度，从而调整夹具与硅棒的接触位置，通过切割和调整接触位置的配合，完成硅棒的切割。
一种夹持工装

[发明专利]挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅-CN200680007000.8有效
发明人：詹姆斯·E·包义森;里斯·雷诺斯;拉阿南·Y·柴海威;罗伯特·米顿;汤姆·L·卡德韦尔 -专利权人：统合材料股份有限公司
申请日： 2006-02-17 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： H01L21/30 文献下载
摘要：多晶硅的挡板晶圆(60)置放在支撑塔(20)的非生产沟槽中，用于热处理单晶硅晶圆。多晶硅较佳为随机定向多晶硅(ROPSi)，优选通过使用随机定向晶种(例如CVD成长的硅)而以Czochralski方法来成长。热炉管(10)的全硅热区可以包括硅支撑塔，其中该硅支撑塔设置在硅衬里(18)内且支撑这些多晶硅挡板晶圆，硅注射器在该衬里内提供处理气体。该随机定向多晶硅可用于其它需要粗糙构件的零件(例如在硅处理腔室中)并用于结构性构件。
挡板及其所用随机定向多晶

[实用新型]一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置-CN201420275408.5有效
发明人：田清明;王惠 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2014-05-27 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置，包括卡帽和能够夹持硅芯的根部的卡瓣，卡帽与卡瓣卡接，所述装置还包括能够在硅芯生长过程中支撑硅芯并能将气流输送至硅芯的根部的支撑部件，所述支撑部件设置于卡帽的上表面，能够将气流输送至硅芯的根部，使得多晶硅能够快速沉积并覆盖、包裹住卡瓣，增大多晶硅还原炉硅芯夹持装置与硅芯的接触面积，增大电流通导面积，降低变压器负载电压，使得变压器转档更为顺畅，支撑部件能够在硅芯生长过程中与不断增粗的硅芯接触，对硅芯起到支撑的作用，减少硅芯倒伏发生的概率，提高夹持的稳定性。
一种多晶还原炉硅芯夹持装置

[实用新型]一种还原炉硅芯安装装置-CN201020514199.7有效
发明人：侯俊峰;杨光军;吴多楠;孟庆库 -专利权人：国电宁夏太阳能有限公司
申请日： 2010-08-30 - 公布日： 2011-03-16 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种还原炉硅芯安装装置，包括两个内支撑圈、两个中支撑圈、两个外支撑圈，连接筋，硅芯调整夹具，内、中、外支撑圈分别与还原炉底盘的内、中、外圈的大小相同。两个内支撑圈之间、两个中支撑圈之间、两个外支撑圈之间分别通过两条以上长度相同的连接筋相连。硅芯调整夹具设置在内上支撑圈、中上支撑圈、外上支撑圈上，硅芯调整夹具的数量和分布与还原炉底盘上石墨夹头的数量和分布相同，使得应用所述装置安装硅芯时，每个石墨夹头的正上方都有一个硅芯调整夹具。一个石墨夹头和与所述石墨夹头对应设置的硅芯调整夹具用以插入一根硅芯并将硅芯固定，保证了硅芯对于还原炉底盘的垂直度。
一种还原炉硅芯安装装置

[实用新型]硅棒支撑装置、上料装置及硅棒抛光机-CN202221790231.3有效
发明人：任帅;陆宇;海金明;马小林 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种硅棒支撑装置、上料装置及抛光机，涉及硅棒加工技术领域，旨在解决相关技术中经过抛光的硅棒表面经常出现线痕或抛光过程中磨量异常的问题。硅棒支撑装置包括设置在支撑座上的两根支撑件，两根支撑件间隔设置；支撑件的第一端沿朝向硅棒的方向凸起形成第一支撑部，支撑件的第二端沿朝向硅棒的方向凸起形成第二支撑部，且第一支撑部和第二支撑部之间具有凹陷部；一个支撑件的凹陷部与另一个支撑件的凹陷部对齐；第一支撑部用于支撑硅棒的第一端，第二支撑部用于支撑硅棒的第二端。支撑件支撑硅棒的第一端和第二端，而悬空第一端和第二端之间的中段，使硅棒的位置更加稳固，不容易发生倾斜。
支撑装置抛光机

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