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- [实用新型]一种新型真空蒸镀机的视窗结构-CN202023098324.3有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2020-12-21
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2021-09-24
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C23C14/24
- 本申请提供一种新型真空蒸镀机的视窗结构,从腔体门外部向内部的方向依次包括外层玻璃、回转玻璃和防着板,防着板固定在腔体门的内侧壁上,外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,回转轴与回转玻璃连接固定,回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转,防着板上设置有观察孔,真空蒸镀机腔体门上的所述视窗结构有两个,两个视窗结构上下设置,并且,上方的视窗结构的防着板的第一观察孔水平设置,下方的视窗结构的防着板的第二观察孔竖直设置,所述回转轴为一体式磁流体密封回转轴,回转轴从前到后包括:首端部、螺纹杆体部、平滑杆体部、凸起部和尾端部,回转轴的尾端部与回转玻璃通过螺钉固定,外层玻璃位于靠近凸起部的平滑杆体部上。
- 一种新型真空蒸镀机视窗结构
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