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- [发明专利]风机过滤单元-CN201410010252.2在审
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宋新丰;王丽荣
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北京七星华创电子股份有限公司
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2014-01-09
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2014-04-09
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F04D29/70
- 本发明公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体，所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔，所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部本发明提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。
- 风机过滤单元
- [实用新型]风机过滤单元-CN201420013528.8有效
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宋新丰;王丽荣
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北京七星华创电子股份有限公司
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2014-01-09
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2014-06-11
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F04D29/70
- 本实用新型公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体,所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器,所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔,所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部本实用新型提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。
- 风机过滤单元
- [实用新型]风机过滤单元-CN201720174499.7有效
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朴德濬
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苏州新盛超净化系统有限公司
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2017-02-24
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2017-10-10
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F04D25/08
- 本实用新型公开了一种风机过滤单元，包括过滤器、风机组件和安装组件，其中，所述风机组件固定安装在所述过滤器上，所述安装组件采用矩形框架，所述矩形框架与所述过滤器固接，所述矩形框架与所述过滤器之间设置有密封条本实用新型通过设置安装组件，使得风机过滤单元可以实现竖直安装，且无需使用其它的支撑装置或治具，节省了安装空间，进而可以适用于狭窄空间，另外通过设置所述密封条，可以确保所述矩形框架与所述过滤器之间的密封效果，避免出现空气未过滤便被排出的现象，保证竖直安装时风机过滤单元的净化效果。
- 风机过滤单元
- [实用新型]风机过滤单元-CN201922457519.3有效
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廖文先
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碧海科技（深圳）有限公司
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2019-12-30
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2020-09-04
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F04D29/66
- 本实用新型公开风机过滤单元。风机过滤单元包括箱体、风机安装板、离心风机和高效过滤器，所述箱体为底部开口的中空腔体，所述风机安装板两端与箱体固定连接，所述离心风机固定安装于所述风机安装板上，所述箱体开口处安装有高效过滤器，所述箱体内固定安装有导流板本实用新型风机过滤单元通过在箱体内部安装导流板，从而有效减少了气流流动过程中产生的乱流，降低了流动过程中的压力损失；且导流板上开有气孔以及导流板背面铺有防火吸音棉，从而有效降低了气动噪声；同时挡风板将箱体分为上下两层，防止箱体下层气流反弹回箱体上层，有效的将箱体上层气流均匀的导向高效过滤器，从而达到降噪、减震和均匀出风的目的。
- 风机过滤单元
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