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- [发明专利]形成金属膜的方法-CN202210705901.5在审
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近藤春树
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丰田自动车株式会社
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2022-06-21
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2022-12-23
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C25D5/00
- 提供使用了固体电解质膜的金属膜形成方法,该方法能够形成具有平滑的表面的金属膜,并且能够充分地发挥添加剂的功能。一种形成金属膜的方法,依次包含:(a)向溶液收纳空间供给溶液的步骤,所述溶液含有金属的离子、以及添加剂;(b)在溶液收纳空间未与溶液罐连通、且保持于台座的基板和固体电解质膜接触的状态下提高溶液收纳空间内的溶液的压力的步骤;(c)降低溶液收纳空间内的溶液的压力的步骤;以及,(d)一边在溶液收纳空间与溶液罐之间使溶液循环,一边在阳极与基板之间施加电压,从而在基板上形成所述金属的膜的步骤。
- 形成金属膜方法
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