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- [发明专利]表面检查系统和表面检查方法-CN201780033485.6有效
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M·理查德;F·皮劳德
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鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司
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2017-05-29
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2021-09-03
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G01N21/57
- 本发明涉及一种表面检查系统（10），用于检查出现在检查区域（20）的板材元件（4）的表面，该表面检查系统（10）包括图像评估单元（18）、相机（12）、暗场照明器（14）和明场照明器（16），该图像评估单元本发明还涉及一种识别正在移动通过板材元件加工机的板材元件（4）的高反射表面区域的方法，其中首先在明场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的表面的线图像（l16），以及在暗场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的相同表面的线图像（l14），然后比较两张线图像（l1414,l16）之间的差异（Sn）高于预定阈值，则该板材元件（4）的表面被识别为反射表面
- 表面检查系统方法
- [发明专利]表面检查装置以及表面检查方法-CN201080051745.0有效
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及川聪;野条聪
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本田技研工业株式会社
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2010-10-04
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2012-07-18
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G01N21/954
- 构成表面检查装置(9)，其具备：图像生成部(53)，其生成对实施了镗孔加工的镗孔3的内侧表面(3A)拍摄得到的数字图像(70)；线提取处理部(65)，其从所述数字图像(70)中沿着设定为线提取方向的水平方向(K)而提取线(81)；和评价部(57)，其基于由所述线提取处理部(65)所提取出的线(81)来判定所述镗孔(3)的内侧表面(3A)的状态，所述线提取处理部(65)固定所述线提取方向，并将所述数字图像(70)以规定角度旋转1次或多次的、旋转前后的各个数字图像(70)中提取沿着所述线检测方向的线(81)，所述评价部(57)基于从旋转前后的各个所述数字图像(70)中提取出的线81，来判定所述镗孔3的内侧表面
- 表面检查装置以及方法
- [发明专利]表面检查方法和表面检查装置-CN200980112567.5无效
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早野史伦
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株式会社尼康
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2009-04-08
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2011-03-23
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G01N21/956
- 本发明提供一种表面检查方法及表面检查装置。本发明的表面检查方法用于检查半导体基板的表面，该半导体基板具有反复排列的线状的线图案及形成于该线图案上的孔状的孔图案，其中，具有：设定检查条件的设定工序(S101)；通过设定工序中设定的检查条件向半导体基板的表面照射照明光的照明工序(S102)；检测来自被照射了照明光的半导体基板的衍射光的检测工序(S103)；和根据检测工序中检测出的衍射光检查孔图案中有无缺陷的检查工序(S104)，在设定工序中，设定检查条件，以使半导体基板的表面中的照明光的行进方向与线图案的反复排列方向不同
- 表面检查方法装置
- [发明专利]表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法-CN201480010057.8在审
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牧野良保;加贺秀明
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新东工业株式会社
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2014-02-14
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2015-11-18
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G01N27/90
- 本发明提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法表面特性检查装置(1)具备交流电源(10)、交流桥电路(20)以及评价装置(30)，交流桥电路(20)由分配比(γ)可变的可变电阻(21)、基准检测器(22)以及检查检测器(23)构成。检查检测器(23)具备卷绕成与被检体(M)的表面特性检查区域相向的线圈(23b)，通过对线圈(23b)供给来自交流电源(10)的交流电力而在被检体(M)中激发涡电流。由此，能够检测被检体(M)的电磁特性，根据来自交流桥电路(10)的输出信号来检查表面特性。
- 表面特性检查装置系统以及方法
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