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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]碳化硅舟的保护装置-CN201420044153.1有效
发明人：彭充 -专利权人：深圳深爱半导体股份有限公司
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种碳化硅舟的保护装置，包括舟托和舟托支撑件；舟托包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板；第一侧板、第二侧板和第三侧板设置在底板的第一侧面上，并与底板围合形成具有第一舟托开口端的碳化硅舟收容腔，碳化硅舟可活动地收容于碳化硅舟收容腔中；舟托支撑件包括支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁；第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁设置在支撑板的第一表面上，并与支撑板围合形成具有第一开口端的舟托收容腔；舟托可活动地收容于舟托收容腔中上述碳化硅舟的保护装置，舟托和舟托支撑件配套使用，双重保护了碳化硅舟。
碳化硅保护装置

[实用新型]一种新型扩散炉配套用石英舟工作台-CN202220330240.8有效
发明人：孟庆昌;赵海军 -专利权人：青岛海通达微电子有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及石英舟技术领域，且公开了一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，解决了现有的石英舟通过石英舟工作台对其进行放置，而石英舟工作台上载物台隔板之间的距离是固定的，而不同规格的石英舟需要不同的工作台进行放置，不便于实际使用的问题，其包括支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有侧板，侧板的顶部固定连接有顶板，侧板的一侧设有若干石英舟放置板，侧板的一侧开设有两个第一凹槽，第一凹槽的一侧内壁开设有若干卡槽，石英舟放置板的一侧设有两个活动块，活动块和石英舟放置板通过滑动单元连接；可以根据需要放置石英舟的规格，调节相邻两个石英舟放置板之间的距离，便于存放石英舟。
一种新型扩散配套石英工作台

[发明专利]一种新型小舟运输结构-CN201911011088.6有效
发明人：甘新荣;林佳继;刘群;朱太荣;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型小舟运输结构，包括小舟，舟桨和舟托；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接；舟桨结构包括两侧设置把手的舟托和舟托配合对称设置的舟桨；舟托结构包括立板、侧板，立板和侧板形成矩形舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；本发明提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟运输结构。
一种新型小舟运输结构

[实用新型]一种防飞溅型高温钼舟-CN201920973567.5有效
发明人：王征 -专利权人：南京睿扬光电技术有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防飞溅型高温钼舟，涉及钼舟技术领域，为解决现有的高温钼舟长期使用后容易产生变形和扭曲，从而增加生产成本，金属原料在加工过程中易溅出舟舱外部的问题。所述舟舱主体的上端安装有钼舟盖，所述钼舟盖的上端设置有第一蒸发孔，所述钼舟盖下端的两侧均安装有固定销，所述固定销与钼舟盖焊接连接，所述舟舱主体包括舟舱侧板、底板、前挡板与后挡板，所述舟舱主体的两侧均安装有舟舱侧板，两个所述舟舱侧板之间安装有底板。
一种飞溅高温

[实用新型]热蒸发舟-CN200620095828.0无效
发明人：高希存 -专利权人：南昌大学
申请日： 2006-03-24 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种热蒸发舟包括舟体，舟体中部为物料凹槽，舟体的两侧设有挡板，挡板的两端端部为斜坡状，缓冲板放置在舟体的两挡板之间，缓冲板上开有通孔，舟盖的中部设有凹槽，凹槽上开有通孔，舟盖可放置在舟体上。本实用新型的热蒸发舟由于在舟体的两侧设置挡板及增加了缓冲板、舟盖，因此在使用时，物料经过缓冲板和舟盖的作用，不会四处乱溅，还可通过缓冲板和舟盖调节蒸发速度，使物料缓慢释放。
蒸发

[发明专利]一种基于双桨的小舟运输结构-CN202011263216.9在审
发明人：甘新荣;林佳继;刘群;朱太荣;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双桨的小舟运输结构，包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；本发明提供了一种结构简单
一种基于小舟运输结构

[实用新型]一种石墨舟固定传送装置-CN201420720709.4有效
发明人：陈雨程 -专利权人：浙江尚源实业有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟固定传送装置，属于光伏元件加工设备领域。该实用新型包括主支架和石墨舟固定机构，石墨舟固定机构设置在主支架上侧，主支架下侧均匀设置有多个带刹万向轮，石墨舟固定机构包括石墨舟、升降板、支撑板、转动块和石墨舟放置板，升降板四周与主支架之间竖直均匀设置有多根升降丝杆，转动块两侧分别转动连接于支撑板，转动块与升降板之间设置有转动气弹簧，石墨舟放置板水平设置在旋转板上侧，连接板上侧水平设置有旋转气弹簧，转动块与旋转板之间设置有固定销，转动块一侧水平设置有转动手柄。本实用新型结构简单，可以便捷的将硅片放入石墨舟内，并能快速高效的将石墨舟进行传送，满足生产的需要。
一种石墨固定传送装置

[实用新型]一种提升半导体晶舟清洗效率的装置-CN202221865582.6有效
发明人：翁海统;李汉生;蔡雪良 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种提升半导体晶舟清洗效率的装置，可应用于晶舟清洗制程工艺。该装置包括：有一底板，设置若干排水孔及立柱插孔，且可与侧板连接，形成一个整体；有四块侧板，在侧板上设置若干排水孔，保证晶舟在酸中浸泡中可以均匀，及便于酸溶液充分与需清洗晶舟接触；有若干立柱，可插入底板上的立柱插孔中，用以保持需清洗晶舟竖放，立柱之间采用一定间距排序，以便固定不同尺寸需清洗的晶舟；在两侧的侧板上设置把手；方便提放该装置。可以增加单次晶舟清洗的数量，从提升晶舟清洗的效率，提升晶舟在生产过程的周转频率，减少清洗过程晶舟因为接触碰撞造成的损失。
一种提升半导体清洗效率装置

[实用新型]一种扩散舟-CN201620515126.7有效
发明人：林虎彬;朱佰喜;李文红 -专利权人：深圳市石金科技股份有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开一种扩散舟，扩散舟包括位于两端的侧板以及设置在所述侧板之间的横梁，所述横梁上开设有若干用于承载方形硅片的卡槽，所述侧板以及横梁上均沉积了抗氧化涂层；所述的侧板以及横梁均采用石墨材料加工而成解决了常用的低压扩散工具碳化硅舟和石英舟，尤其是碳化硅舟的缺陷和不足：碳化硅舟不易加工、价格昂贵、清洗麻烦、维修不便、舟体偏重等问题。
一种扩散

[实用新型]一种用于钕铁硼生坯烧结的新型料舟-CN201721133023.5有效
发明人：张英伟;何启;孙海涛 -专利权人：京磁材料科技股份有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： B22F3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于钕铁硼生坯烧结的新型料舟，包括料舟本体，其为半包围结构，上方有口，所述料舟本体两个对立侧板各有一个凹槽；活动侧板，所述活动侧板两个侧面各有两个凸台，所述活动侧板通过凸台卡入凹槽与料舟本体相连接；料舟盖，其活动安装与所述料舟本体上方。本实用新型解决因料舟空间狭小导致的生坯磕碰掉角与装炉量下降的矛盾，实现装炉量不变和避免毛坯磕碰掉角的双重效果。
一种用于钕铁硼生坯烧结新型

[实用新型]一种石英舟的清洗工装及清洗设备-CN202120552048.9有效
发明人：刘一川;王其林;李邦勇;刘伟;和江龙 -专利权人：陕西隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种石英舟的清洗工装及清洗设备，清洗工装包括：两个侧板、至少两个隔板和底板；侧板和隔板设置在底板的一面，侧板和隔板垂直于底板；侧板和隔板相互交叉连接，在底板的一面形成用于容纳立式石英舟的至少一个清洗槽，在立式石英舟设置在清洗槽中的情况下，立式石英舟的底盘垂直于底板。本实用新型中，由侧板、隔板和底板组成的清洗工装，具有能够容纳立式石英舟的清洗槽，当立式石英舟设置在清洗槽中进行清洗时，立式石英舟的底盘垂直于清洗工装的底板，使得清洗过程中立式石英舟的底盘中不会产生积液，从而提高立式石英舟清洗效果。
一种石英清洗工装设备

[发明专利]一种具有晶圆保护装置的晶舟-CN202111320511.8在审
发明人：张鹏;张雨晴 -专利权人：江苏汇成光电有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种具有晶圆保护装置的晶舟，包括舟体以及设于舟体上的保护装置，所述舟体内设有一排用于放置晶圆的插槽，舟体上端设有存入或取出晶圆的开口，保护装置包括U形限位杆和限位组件，所述U形限位杆与所述舟体的侧板转动连接，所述U形限位杆沿转动中心转动靠近或远离所述舟体开口，所述限位组件用于将所述U形限位杆固定在舟体开口处或者固定在侧板外壁面上。本发明提供的一种具有晶圆保护装置的晶舟，采用U形限位杆与舟体侧板转动连接，翻转舟体时通过U形限位杆挡住舟体开口，防止晶圆掉出，通过弹簧将U形限位杆侧边卡进侧板上的L形限位槽内，限制住U形限位杆的位置，保证U形限位板挡料的可靠性，结构简单，减少破片的产生。
一种具有保护装置

[实用新型]多段高精度实时监测控温系统料舟-CN201520185107.8有效
发明人：刘洋;姜洪斌;李强 -专利权人：青岛华旗科技有限公司
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多段高精度实时监测控温系统料舟，包括底板和侧板，所述底板和侧板上均匀开有通气孔，侧板两端通过滚轮连接轴安装滚轮，侧板尾端连接料杆，料杆通过料杆连接轴和料杆顶筒可活动的连接在料舟上。所述料舟尾端设置拉紧板。采用这样的结构后，本实用新型的多段高精度实时监测控温系统料舟使得推拉送料过程变得便捷；增加滑动轮子减少了料舟和腔体内壁的摩擦，避免杂质产生；料舟壁上均匀开孔使得气体与物料充分接触，均匀反应，提高了产品的合格成品率；料舟拉头处加上了加强板，增加了料舟的牢固性。
高精度实时监测系统

[发明专利]一种蒸发镀膜装置-CN202111639329.9在审
发明人：张秀明;张贻海;李剑;王丽娟;孟凡华 -专利权人：唐山斯腾光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。所述蒸发舟包括蒸发舟‑底板、蒸发舟‑前侧板、蒸发舟‑后侧板、蒸发舟‑左侧板、蒸发舟‑左翼板、蒸发舟‑右侧板、蒸发舟‑右翼板；所述过滤件包括过滤件‑顶板，所述过滤件‑顶板的板面中部分布有过滤件‑孔；所述阻挡件包括阻挡件
一种蒸发镀膜装置

[实用新型]一种蒸发镀膜装置-CN202123382036.5有效
发明人：张秀明;张贻海;李剑;王丽娟;孟凡华 -专利权人：唐山斯腾光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。蒸发舟包括蒸发舟‑底板、蒸发舟‑前侧板、蒸发舟‑后侧板、蒸发舟‑左侧板、蒸发舟‑左翼板、蒸发舟‑右侧板、蒸发舟‑右翼板；过滤件包括过滤件‑顶板，所述过滤件‑顶板的板面中部分布有过滤件‑孔；阻挡件包括阻挡件
一种蒸发镀膜装置

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