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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]缺陷检查装置缺陷检查方法-CN200710086201.8无效
发明人：冈部浩史;金谷义宏;松本俊彦 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2007-03-09 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高对检查区域的端部的缺陷检查的精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。光源(1A、1B)以使彼此的照射区域(检查区域)的端部重叠的方式分别发出照射光(LA1、LB1)。主控制部件(3)合成两个图像并判定有无缺陷。照射光(LA1、LB1)从相互不同的方向发射到被检查面(A)，从而使各图像中表示缺陷的区域的位置稍微错位。因此，在各图像中，即使表示缺陷的区域的面积小，但通过重叠两个图像，也能够使在合成后的图像中表示缺陷部的区域的面积变大。由此能够提高对检查区域的端部的缺陷检测的精度。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查方法以及缺陷检查装置-CN200910157228.0无效
发明人：藏所启一;铃木孝治 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2009-07-01 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检查方法以及缺陷检查装置，防止过度的检查从而提高检查效率。缺陷检查装置检查检查对象物是否存在缺陷并且连续检查多个检查对象物。缺陷检查装置具备：输送单元，连续输送检查对象物；检查部，连续检查由输送单元输送的检查对象物；图像处理部，对由检查部连续检查的检查对象物的图像进行处理而检测缺陷；控制部，在由图像处理部在被连续检查的多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下，将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。缺陷检查方法也同样地在多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下，将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。
缺陷检查方法以及装置

[发明专利]缺陷检查装置及缺陷检查方法-CN200710186526.3无效
发明人：堀内一仁 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2007-12-07 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。摄像部(3)拍摄被检查对象物，生成摄像信息。图像生成部(4)根据摄像信息生成被检查对象物的图像。缺陷提取部(5)使用所生成的图像，来提取被检查对象物上的缺陷。缺陷检查部(6)对提取出的缺陷进行检查，生成每个检查条件下的检查结果。检查结果生成部(10)根据缺陷的相关信息对每个检查条件下的检查结果进行加权，在此基础上整合每个检查条件下的检查结果。由此，可以提供一种通过使基板的合格与否判定变容易，而能够提高制造工序整体的生产率的缺陷检查装置及缺陷检查方法。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法-CN201810800030.9在审
发明人：尾崎麻耶;广濑修 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。缺陷检查系统(1)具备光源(2)、摄像部(3)、输送部(4)及图像处理部(5)，由图像处理部(5)基于对与二维图像(F)所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别由摄像部(3)按离散时间拍摄出的一系列的二维图像所包含的缺陷的类别，因此通过将机械学习适用于按离散时间拍摄出的二维图像而使识别精度提高，除此以外，由摄像部(3)拍摄出在二维图像的与输送方向(X)一致的方向上亮度发生变化的二维图像，因此机械学习被适用于在按离散时间拍摄出的二维图像中的沿着输送方向的各部位处亮度发生变化的二维图像，能够提高缺陷(D)的识别精度。
二维图像缺陷检查系统摄像部拍摄图像处理部缺陷检查光源学习积累

[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置-CN201610404074.0在审
发明人：室伏勇 -专利权人：东芝机械株式会社
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及缺陷检查方法及缺陷检查装置。为了检查在工件(9)的表面形成的作为线状图案的突条(92)的缺陷，具有：拍摄工序，沿着突条(92)依次拍摄检查图像(P)；以及检查工序，对于检查图像(P)，依次进行缺陷检查，在检查工序中，基于检查图像(P)中包含的突条(92)的前端面的轮廓的连续性及图像面积来对缺陷进行判定。
缺陷检查方法装置

[发明专利]缺陷检查装置及缺陷检查方法-CN201910093769.5在审
发明人：野岛和弘;手塚知秀;大西笃志;山田一弘;野嶋茂树;滨口晶 -专利权人：东芝存储器株式会社
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：实施方式提供一种能够在半导体制造的缺陷检查中缩短检查时间的缺陷检查装置及缺陷检查方法。实施方式的缺陷检查装置具备获取部、剪辑部、第1赋予部、匹配部及核对部。获取部获取表示在晶圆上展开的图案的电子信息。核对部基于关系信息及与设计信息所示的各图案对应的节点信息，核对电子信息所示的图案是否包含晶圆的电路上的缺陷。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置-CN201880048854.3在审
发明人：多田扩太郎;杉浦彰彦 -专利权人：横滨橡胶株式会社
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种缺陷检查方法及缺陷检查装置，在检查物品的缺陷时，为了识别器的学习，获取与检查对象物品不同的物品的包含缺陷的缺陷图像和不含缺陷的无缺陷图像，使用所述缺陷图像和所述无缺陷图像，使所述识别器学习所述缺陷的像和并非所述缺陷的非缺陷的像使学习后的所述识别器对分隔了所述检查对象物品的检查图像的各个切出检查图像是否包含缺陷进行识别，使用所述识别器的识别结果，判定所述检查对象物品有无缺陷。在使所述识别器学习所述缺陷时，改变从所述缺陷图像中切出的切出区域以使所述缺陷图像中的所述缺陷位于图像中的不同位置，将根据所述缺陷图像制作的多个切出缺陷图像作为学习用图像提供给所述识别器。
缺陷检查方法装置

[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法-CN201880099763.2在审
发明人：吉田康纪;畠堀贵秀;田窪健二 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01N29/06 文献下载
摘要：该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法-CN201880100367.7在审
发明人：畠堀贵秀;田窪健二;吉田康纪 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01N29/24 文献下载
摘要：本缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)，其激发弹性波；照射部(2)，其照射激光；测定部(3)，其测定干涉光；以及控制部(4)，其基于测定部(3)的测定结果，来获取表示测定区域内的被检查物体(7)的振动状态的图像(61)，从表示振动状态的图像(61)中检测测定区域内的振动状态的不连续部来作为缺陷(73)，基于检测出的缺陷的形状(62)和缺陷部的振动状态中的至少一方来确定缺陷的种类。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法-CN201980095137.0在审
发明人：吉田康纪;畠堀贵秀;田窪健二 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G01N29/06 文献下载
摘要：该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)、激光照明(2)、干涉部(3)、摄像部(35)以及生成与检查对象(7)的弹性波的传播有关的运动图像(61)的控制部(4)。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查装置及缺陷检查方法-CN202080093243.8在审
发明人：畠堀贵秀;田窪健二;吉田康纪 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2020-10-09 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N29/24 文献下载
摘要：所述缺陷检查装置(100)构成为：通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像(A)的像素值与不同于摄像图像(A)的基准图像(Aave)的像素值的差分值或差分值的绝对值(Iα)进行近似，获取与摄像图像(A)的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查装置及缺陷检查方法-CN202080091392.0在审
发明人：吉田康纪;田窪健二;畠堀贵秀 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01N29/24 文献下载
摘要：所述缺陷检查装置(100)包括：激振部，激发弹性波；照射部(2)，对激光进行照射；测定部(3)，对经干涉的激光进行测定；以及控制部，通过使激振部为了对检查对象(P)激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，针对多个频率，获取与检查对象(P)受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象(P)的缺陷检查的推荐频率(F)。
缺陷检查装置方法

[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置-CN202210196953.4在审
发明人：小林信次;松田俊介 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：本发明提供一种能够检测出光学特性的不均的缺陷检查方法。所述缺陷检查方法具有：配置工序，依次地并且满足下述的条件a1及条件a2地配置第1滤光片、光学膜、第2滤光片：(a1)所述第1滤光片的第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内；检测工序，检测从光源照射、并依次透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片的光；以及判断工序，基于所述检测工序中的检测结果，判断所述光学膜的缺陷
缺陷检查方法装置

[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置-CN202210198556.0在审
发明人：小林信次;松田俊介 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：提供缺陷检查方法及缺陷检查装置，在以在直线偏振板层叠有防护膜和剥离膜的光学膜为被检物的情况下，能检出直线偏振板光学特性不均。缺陷检查方法是以具有直线偏振板的光学膜为被检物的该直线偏振板的缺陷检查方法，该光学膜依次具有剥离膜、该直线偏振板和防护膜，该防护膜具有取向轴，且被层叠为使该取向轴与该直线偏振板的吸收轴所成角度为0°±30°的范围，该缺陷检查方法具有配置工序，沿光轴依次配置具有第1偏振片的第1滤光片、相位差补偿板、该光学膜以及具有第2偏振片的第2滤光片，且将该光学膜以使该剥离膜侧的表面与该相位差补偿板相面对的方向配置，且满足
缺陷检查方法装置

[发明专利]缺陷检查装置以及缺陷检查方法-CN202210349312.8在审
发明人：海老塚泰;新藤博之;荫谷龙吾 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法，其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信号以与所述第一合成比率不同的第二合成比率进行合成而生成第二合成图像然后，基于所述第一合成图像生成第一检查图像，并且基于所述第二合成图像生成第二检查图像。并且，执行所述第一检查图像和所述第二检查图像的逻辑运算来生成合成检查图像。对所述合成检查图像执行缺陷判定。
缺陷检查装置以及方法

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