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[发明专利]等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置-CN201280057411.3有效
发明人：玉垣浩 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供一种能够均匀且有效地冷却的等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置和冷却方法。真空等离子处理装置具备内部被真空排气的真空腔室、和设在上述真空腔室内的等离子产生源。等离子产生源具有等离子产生电极，用来在上述真空腔室内产生等离子；和减压空间形成部件，在上述等离子产生电极的背面侧形成能够收容液体的冷却介质且将其减压的减压空间；用上述冷却介质通过上述减压蒸发时的气化热将上述等离子产生电极冷却
等离子生源具备真空处理装置

[发明专利]负离子恒量输出源-CN201711360202.7在审
发明人：罗畅;罗启康;纪建平;孙潘海 -专利权人：镇江市康特电子有限责任公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： H02M7/04 文献下载
摘要：本发明属于负离子领域，特别涉及到一种负离子产生源。现有负离子产生源，散热效果不佳，长时间使用会导致内部温度上升，在温度上升的情况下，电容C2的容量下降，使电压下降，产生负离子的数量也下降。为了解决以上问题，本发明提供了一种负离子恒量输出源，包括电容（C2）和硅整流二极管（QX1），所述电容（C2）和硅整流二极管（QX1）组成倍压电路，通过变压器（T1）产生高压，还设有一电容（CX）通过温控开关本发明提供的负离子产生源，负离子输出端稳定的输出负离子，不会因为内部的温度的变化负离子输出而有起伏。恒量的输出负离子。
负离子恒量输出

[发明专利]包括带状磁铁的等离子产生源及利用此的薄膜沉积系统-CN201280026487.X有效
发明人：俞席在;金圣凤 -专利权人：韩国基础科学支援硏究所
申请日： 2012-06-01 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体产生源及其应用，在高真空下产生均匀的高密度等离子体，并将这种等离子产生源应用于溅射装置、中性粒子束产生源、组合溅射装置和中性粒子束产生源形成的薄膜沉积系统之中，以用于得到高品质薄膜。根据本发明，利用由一对以上的带状磁铁产生的磁场和由微波照射装置照射的微波产生等离子体，根据所述带状磁铁的连续结构，诱导电子的回归轨迹，由此能够极大化等离子体的约束效果而实现本发明目的。
包括带状磁铁等离子生源利用薄膜沉积系统

[发明专利]一种经皮肤导入负离子的极板装置-CN201610065391.4有效
发明人：田芝亮;赵旭升 -专利权人：南京益信园健康科技发展有限公司
申请日： 2016-01-30 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： A61N1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种经皮肤导入负离子的极板装置包括负离子产生源，以及与负离子产生源电连接的极板，该极板从外到内依次设有远红外波发射层、软质绝缘层、防静电层、透气防水层、电荷导电均匀层和负离子导入层。启动负离子产生源后，其将空气电离生成大量负离子，负离子被负离子导入层、电荷导电均匀层、透气防水层、防静电层、软质绝缘层和远红外波发射层逐一导入，解决了其他负离子发生设备中人体吸收效率低的问题。因此本发明能将负离子无损耗的直接导入人体作用吸收，使负离子被快速高效的吸收。
一种皮肤导入负离子极板装置

[实用新型]一种经皮肤导入负离子的极板装置-CN201620097697.3有效
发明人：田芝亮;赵旭升 -专利权人：南京益信园健康科技发展有限公司
申请日： 2016-01-30 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： A61N1/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种经皮肤导入负离子的极板装置包括负离子产生源，以及与负离子产生源电连接的极板，该极板从外到内依次设有远红外波发射层、软质绝缘层、防静电层、透气防水层、电荷导电均匀层和负离子导入层。启动负离子产生源后，其将空气电离生成大量负离子，负离子被负离子导入层、电荷导电均匀层、透气防水层、防静电层、软质绝缘层和远红外波发射层逐一导入，解决了其他负离子发生设备中人体吸收效率低的问题。因此本实用新型能将负离子无损耗的直接导入人体作用吸收，使负离子被快速高效的吸收。
一种皮肤导入负离子极板装置

[实用新型]制程腔室上的连接装置-CN200820057694.2有效
发明人：胡旭峰;胡凯峰;毛国胤;陈亮 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-04-24 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01R4/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种制程腔室上的连接装置，用于连接电源线和等离子产生源。该连接装置包括与等离子产生源连接的连接器、穿过电源线与连接器的螺栓以及与螺栓配合将电源线与连接器固定的螺母；所述螺栓与电源线和连接器螺纹配合。
制程腔室上连接装置

[发明专利]等离子体产生源的检查方法和负载-CN202011505453.1在审
发明人：八幡慎太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体产生源的检查方法和负载，能够进行特性检查。在一个例示性的实施方式中，提供一种等离子体产生源的检查方法。该方法包括以下工序：配置能够与等离子体产生源进行电容耦合和电感耦合的负载；以及一边向等离子体产生源提供基准信号，一边接收来自等离子体产生源的信号，并求出等离子体产生源的特性。
等离子体生源检查方法负载

[外观设计]口罩内托（呼吸宝001）-CN202030665200.5有效
发明人：李锡文 -专利权人：广东艾纳环保科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： 29-02 文献下载
摘要：2.本外观设计产品的用途：用于口罩上的负氧离子产生源的内托装置。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
口罩呼吸 001

[发明专利]一种离子诱导喷雾离子化方法和装置-CN201910689995.X在审
发明人：郭寅龙;曹宇奇;陆颖洁;王政永;朱苏珍;张立;张菁 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子诱导喷雾离子化方法和装置，所述离子诱导喷雾离子化方法是先通过高压使辅助溶剂产生带电的诱导离子，然后使诱导离子在毛细管中与样品进行电荷交换，使样品离子化。所述离子诱导喷雾离子化装置包括诱导离子产生装置、毛细管和质谱进样通道，诱导离子产生装置包括辅助溶剂通道，辅助溶剂通道连接有高压发生装置，辅助溶剂通道的出口端与毛细管的末端相通，毛细管的尖端位于质谱进样通道的轴线上本发明可有效解决传统ESI所存在的样品易发生源内氧化、离子化溶剂兼容性差的问题，对极性较低的化合物、易于发生氧化还原反应的化合物均具有良好的离子化效果，且对离子化溶剂兼容性好，且可用于痕量分析检测。
毛细管辅助溶剂离子诱导诱导离子化喷雾离子产生装置离子化溶剂进样通道兼容性质谱离子高压发生装置氧化还原反应方法和装置离子化装置电荷交换痕量分析通道连接样品离子有效解决不导电出口端发生源内氧化带电可用相通检测

[实用新型]一种离子诱导喷雾离子化装置-CN201921204246.5有效
发明人：郭寅龙;曹宇奇;陆颖洁;王政永;朱苏珍;张立;张菁 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子诱导喷雾离子化装置，包括诱导离子产生装置、毛细管和质谱进样通道，所述诱导离子产生装置包括用于引入辅助溶剂的辅助溶剂通道，辅助溶剂通道连接有高压发生装置，辅助溶剂通道的出口端与毛细管的末端相通本实用新型创造性地利用高压电离辅助溶剂产生的带电的诱导离子与样品进行电荷交换，从而使样品离子化，可有效解决传统ESI所存在的样品易发生源内氧化、离子化溶剂兼容性差的问题，对极性较低的化合物、易于发生氧化还原反应的化合物均具有良好的离子化效果，且对离子化溶剂兼容性好，且可用于痕量分析检测。
一种离子诱导喷雾离子化装置

[发明专利]等离子腐蚀设备和方法-CN96111726.5无效
发明人：门村新吾 -专利权人：索尼公司
申请日： 1996-07-05 - 公布日： 1997-05-21 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子腐蚀设备及其使用方法，它能防止离子入射损伤，并满足高各向异性和高腐蚀速率的腐蚀。工作台2包含一高导磁率材料层，具有直接降到地电位的电位，使从等离子产生源发散的磁力线按基本上与其垂直的方向入射在工作台上。这使等离子中的负离子和正离子沿着磁力线按与其垂直的方向，入射到要被腐蚀的衬底上。结果，与现有技术不同，不利用屏极区加速离子，因而能有效地防止损伤衬底。
等离子腐蚀设备方法

[实用新型]一种玻璃基板静电去除装置以及显示面板检测系统-CN201620669043.3有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H05F3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种玻璃基板静电去除装置，其包括离子气体发生源和离子气体传输源，离子气体发生源用于产生离子气体，离子气体传输源用于和离子气体发生源的导管连接，以便离子气体去除玻璃基板和工作台之间的静电。通过离子气体传输源将离子气体发生源产生的离子气体传输到玻璃基板和工作台之间，去除了玻璃基板和工作台之间的静电，从而解决了由静电引起的玻璃基板弯曲度的增大直接导致玻璃基板在被抬起的过程中容易发生破裂的问题
一种玻璃静电去除装置以及显示面板检测系统

[发明专利]X射线管装置-CN201680012025.0在审
发明人：阿武秀郎;石原智成 -专利权人：东芝电子管器件株式会社
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H01J35/14 文献下载
摘要：实施方式的X射线管装置包括阳极靶(35)，该阳极靶(35)包括靶面，该靶面通过电子碰撞以产生X射线；阴极(36)，该阴极(36)包括射出电子的多个电子产生源；真空外围器(31)，该真空外围器(31)对阴极和阳极靶进行收容，并将内部密闭成真空气密；以及四极子磁场产生部(60)，该四极子磁场产生部(60)通过被从电源供给电流以形成磁场，并设置于真空外围器的外侧，四极子磁场产生部由四极子构成，上述四极子将分别从多个电子产生源射出的电子的电子轨道的周围包围
射线装置

[发明专利]离子产生部件以及具有离子产生部件的离子产生装置-CN201580038273.8在审
发明人：寺西宏真;酒井贵浩;尾崎英朗 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01T23/00 文献下载
摘要：本发明提供一种离子产生部件，该离子产生部件具有一对接地电极(21)，它们彼此相对地配置；中心电极(31)，其配置在一对接地电极(21)的中间，通过放电产生离子；以及保持部(40)，其将一对接地电极(21
离子产生部件以及具有装置

[发明专利]离子产生装置以及离子产生方法-CN201310059058.9有效
发明人：张小强;孙文剑 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2013-02-25 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种离子产生装置以及离子产生方法，特别是在较低气压下产生离子并将该离子进行偏轴传输的装置和方法。在该装置和方法中，将电喷雾离子源或其它离子源放置于低于大气压的环境中，并将该低压下产生的离子通过离子导引装置进行偏轴传输以送入后级分析器进行分析，而大部分中性成分噪音在该过程中被去除。
离子产生装置以及方法

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