专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法-CN03152295.5有效
  • 曹义昌 - 友达光电股份有限公司
  • 2003-08-05 - 2005-02-16 - H01L21/336
  • 一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法,包括以下步骤:提供基板;接着,形成缓冲层于基板上;然后,形成低表面自由能材料于缓冲层上;接着,形成第一非晶硅层于低表面自由能材料上;然后,以激光回火法全熔第一非晶硅层,并致使液态的第一非晶硅层于低表面自由能材料上形成均匀分散的数个多晶硅晶种;接着,形成第二非晶硅层于低表面自由能材料之上,以覆盖多晶硅晶种;然后,以激光回火法全熔第二非晶硅层,并致使液态的第二非晶硅层藉由多晶硅晶种结晶成多晶硅层
  • 低温多晶薄膜晶体管制造方法

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