|
钻瓜专利网为您找到相关结果 14857785个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]温度测量系统以及温度测量装置-CN201380034347.1有效
-
若槻雅男;松泽正人;山口直昭
-
京瓷株式会社
-
2013-10-11
-
2015-03-04
-
G01K7/14
- 本发明提供使用热电偶来精度良好地测量被测温物体的温度的温度测量系统。装置(1)具备温度测量系统,温度测量系统具备:测量工序,使2个种类的热电偶(A、B)的高温接点部(4)与被测温物体接触或接近,将另一端连接部(6、7、8、9)与实质相同温度的导电构件(11、12、13、14)电连接,来测量热电偶(A、B)各自的电动势(eA、eB);和运算工序,算出一起满足关系式(1)、(2)的高温接点部温度(T)和另一端连接部温度(TB(T,0)-EB(T0,0)=eB(2),EA(T,0)表示热电偶(A)的高温接点部温度表示热电偶B的高温接点部温度(T)下的标准热电动势,EB(T0,0)表示热电偶B的另一端连接部温度(T0)下的标准热电动势。
- 温度测量系统以及装置
- [发明专利]温度测量装置和温度测量方法-CN200910126382.1有效
-
阿部淳;松土龙夫;舆水地盐
-
东京毅力科创株式会社
-
2009-03-10
-
2009-09-16
-
G01K11/00
- 本发明提供一种温度测量装置和温度测量方法,与现有技术相比能够精度良好地测量温度,能够更加精度良好地且效率良好地进行基板处理等。该温度测量装置具有:将来自光源(110)的光分解为测量光和参照光的第一分离器(120);用于反射参照光的参照光反射单元(140);用于使参照光的光路长度变化的光路长变化单元(150);用于分解来自参照光反射单元(140)的反射参照光的第二分离器(121);用于测量来自温度测定对象物(10)的反射测量光与反射参照光的干涉的第一光检测器(160);用于仅测量反射参照光的强度的第二光检测器(161);从第一光检测器(160)的输出减去第二光检测器(161)的输出后计算干涉位置,计算温度的控制器(170)。
- 温度测量装置测量方法
- [发明专利]温度测量装置和温度测量方法-CN201210080758.1有效
-
松土龙夫;舆水地盐
-
东京毅力科创株式会社
-
2012-03-23
-
2012-09-26
-
G01K11/00
- 本发明提供温度测量装置和温度测量方法。能够同时测量多个处理腔室内的温度测量对象物的温度。该温度测量装置包括:第1光分离部件,其用于将来自光源的光分成多个测量用的光;多个第2光分离部件,其用于将多个测量用的光分别分成测量光和参照光;第3光分离部件,其用于将测量光分成n个测量光即第1测量光~第n测量光;参照光反射部件,其用于将多个参照光分别反射;一个光路长度变化部件,其用于使从参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化;多个光检测器,其用于对从温度测量对象物反射的第1测量光~第n测量光与从参照光反射部件反射的多个参照光之间的干涉进行测量
- 温度测量装置测量方法
- [发明专利]温度测量装置以及温度测量方法-CN201110328249.1有效
-
清水兴子
-
精工爱普生株式会社
-
2011-10-25
-
2012-10-03
-
G01K7/00
- 本发明提供温度测量装置以及温度测量方法。温度测量装置包含温度测量部(43)、运算部(74)、和控制温度测量部以及运算部的动作的控制部(73),温度测量部(43)具有基材(40)、第1温度传感器(50)、第2温度传感器(52)和环境温度取得部(53),基材(40)具有作为与被测量体的接触面的第1面以及与第1面相对的、作为环境侧的面的第2面,第1温度传感器(50)和第2温度传感器(52)在第3温度不同的条件下,多次测量第1温度和第2温度,运算部(74)使用所测量的温度,根据深部温度的运算式,求出被测量体的深部的深部温度(Tc)。
- 温度测量装置以及测量方法
|