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- [发明专利]芯片深沟腐蚀装置-CN201510970093.5有效
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葛林五
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上海提牛机电设备有限公司
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2015-12-21
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2018-10-19
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H01L21/306
- 本发明公开了一种芯片深沟腐蚀装置,包括:酸槽;设置在酸槽内的芯片容纳盒,芯片容纳盒放置在固定架内,芯片容纳盒用于固定芯片的侧壁上设置有若干过流槽;设置在酸槽侧部的直线往复驱动机构,直线往复驱动机构的运动输出端与固定架连接,直线往复驱动机构带动固定架在酸槽内沿芯片的径向往复运动。本发明的有益效果在于:1、酸槽内不会产生大量微小气泡,保证腐蚀质量和腐蚀速率;2、使得酸槽内酸液的液面不会产生波浪或漩涡,防止芯片露出液面,保证腐蚀质量;3、有效防止酸液外溅,防止安全事故发生,还能够节约酸液成本
- 芯片深沟腐蚀装置
- [发明专利]一种清洁装置-CN201210425102.9有效
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吕冰;高常青;胡慎果;白羽弘;包绍雨
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济南大学
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2012-10-31
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2013-02-06
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A47L1/02
- 本发明公开了一种使用方便且省力的清洁装置,包括底座、转动支撑在底座支架上且可上下往复摆动的脚踏板、由脚踏板带动的直线往复运动的齿条、将齿条运动增速并将运动由输出轴输出的齿轮系、将输出轴的顺逆交替转动转换成单向间歇转动的棘轮机构以及由棘轮机构输出的单向间歇转动驱动的软轴,软轴的另一端连接刷头并驱动刷头内的转子,转子上具有和待清洁面接触的擦拭体,底座上还设置储液罐,储液罐上设置将内部清洁液增压输出的往复泵,往复泵的活塞杆和杠杆阻力臂的端部铰接,杠杆动力臂由脚踏板上脚踏部相对端带动作上下往复运动,往复泵的出液管接刷头将清洁液送入刷头内并喷向待清洁面。
- 一种清洁装置
- [实用新型]一种清洁装置-CN201220564599.8有效
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吕冰;高常青;胡慎果;白羽弘;包绍雨
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济南大学
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2012-10-31
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2013-04-03
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A47L1/02
- 本实用新型公开了一种使用方便且省力的清洁装置,包括底座、转动支撑在底座支架上且可上下往复摆动的脚踏板、由脚踏板带动的直线往复运动的齿条、将齿条运动增速并将运动由输出轴输出的齿轮系、将输出轴的顺逆交替转动转换成单向间歇转动的棘轮机构以及由棘轮机构输出的单向间歇转动驱动的软轴,软轴的另一端连接刷头并驱动刷头内的转子,转子上具有和待清洁面接触的擦拭体,底座上还设置储液罐,储液罐上设置将内部清洁液增压输出的往复泵,往复泵的活塞杆和杠杆阻力臂的端部铰接,杠杆动力臂由脚踏板上脚踏部相对端带动作上下往复运动,往复泵的出液管接刷头将清洁液送入刷头内并喷向待清洁面。
- 一种清洁装置
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