专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理装置-CN02121836.6无效
  • 菅长大辅;藤根修;关口明 - 住友精密工业株式会社
  • 2002-06-07 - 2003-01-15 - G03F7/26
  • 本发明涉及一种基板处理装置,在使用因蚀刻液和剥离液等药液而受到浸蚀的基板的情况下,防止在该基板的背面因局部浸蚀而发生污点。在药液处理部的入口部分设置浸泡槽(37)。一旦与该药液的接触,则基板(100)的背面均匀地浸润后,只要其背面不干燥,通过药液的回入和与传送滚轮的接触,即使药液局部附着于基板(100)的背面,也不发生污点
  • 处理装置

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