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[实用新型]一种氦气瓶充装设备-CN202321264467.8有效
发明人：宋振法;张杰 -专利权人：山东简森能源科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：本实用新型属于氦气充装技术领域，具体涉及一种氦气瓶充装设备，包括支架，支架的中部横向设有一端与氦气罐连通的氦气输送管道，氦气输送管道的另一端连通有氦气充气管道，氦气充气管道横向固定在支架的下部，氦气充气管道上设有多个氦气充装口，每个氦气充装口均通过软管连接有氦气瓶连接管，氦气瓶连接管的端部螺纹安装有充气接头，充气接头内设有与氦气瓶瓶阀出口配合的容纳腔，每个充气接头处均设有氦气瓶连接夹具，氦气输送管道上设有双表减压阀，双表减压阀的两侧分别设有截止阀，氦气输送管道上与氦气充气管道连通的部位设有安全阀。本实用新型在氦气充气管道上设置多个氦气充装口，能够同时对多个氦气瓶进行充装，提高了工作效率。
一种氦气装设

[发明专利]一种气动阀检漏装置-CN202110705117.X在审
发明人：袁小林;王坤;林恩;陈晓东 -专利权人：福建慧芯激光科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种气动阀检漏装置，包括管道、设置在管道上用于控制管道流体流量的气动阀以及与管道配合用于检测管道中氦气的氦检仪，气动阀具有与驱动气气管连接的活络接口，还包括可与所述活络接口活络连接的氦气管、与氦气管连通的氦气源以及用于控制氦气源启闭的控制阀采用本发明的技术方案后，需要检测气动阀是否内漏时，将气动阀的驱动气气管从活络接口中拆下，将氦气管装到活络接口上，开启控制阀，用氦气源中的氦气来驱动气动阀开关动作，氦气分子量比较小，更容易被氦检仪检测，如果氦气进入管道中，会被氦检仪检测到，说明气动阀内漏，本发明无需将气动阀从管道中拆下来，具有结构简易、操作方便的优点。
一种气动阀检漏装置

[实用新型]一种新型气动阀检漏装置-CN202121417687.0有效
发明人：袁小林;王坤;林恩;陈晓东 -专利权人：福建慧芯激光科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型气动阀检漏装置，包括管道、设置在管道上用于控制管道流体流量的气动阀以及与管道配合用于检测管道中氦气的氦检仪，气动阀具有与驱动气气管连接的活络接口，还包括可与所述活络接口活络连接的氦气管、与氦气管连通的氦气源以及用于控制氦气源启闭的控制阀。采用本实用新型的技术方案后，需要检测气动阀是否内漏时，将气动阀的驱动气气管从活络接口中拆下，将氦气管装到活络接口上，开启控制阀，用氦气源中的氦气来驱动气动阀开关动作，氦气分子量比较小，更容易被氦检仪检测，如果氦气进入管道中，会被氦检仪检测到，说明气动阀内漏，本实用新型无需将气动阀从管道中拆下来，具有结构简易、操作方便的优点。
一种新型气动阀检漏装置

[实用新型]一种压力传感器泄漏测试装置-CN202121257054.8有效
发明人：张和毅;胡晓阁 -专利权人：上海贤日测控科技有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种压力传感器泄漏测试装置，包括台架组件、氦气管道、氦质谱检测仪、氦气控制组件、氦气源、真空管道和真空泵，所述氦气管道一端设于氦气源上，所述台架组件设于氦气管道另一端、所述氦气控制组件设于氦气管道上，所述真空管道一端设于台架组件上，所述真空泵设于真空管道另一端，所述氦质谱检测仪设于真空管道上。本实用新型属于传感器测试技术领域，具体是一种氦气控制组件的设置实现了进入氦气加压室内的氦气压力平稳，防止压力变化过大对测试结果产生影响，密封气囊的设置实现了对待测试压力传感器进行气囊密封，缩短了装载时间
一种压力传感器泄漏测试装置

[实用新型]一种氦检机的氦气回收机构-CN202122196602.7有效
发明人：肖尤钦;陈刚 -专利权人：福建英业强智能装备有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：一种氦检机的氦气回收机构，其结构包括氦气回收罐，氦气回收罐上端设有进气连接结构，氦气回收罐一侧设有出气管，进气连接结构包括进气管、检漏环，检漏环活动套接于进气管顶部，在氦气管道与进气管密封固定套接后，通过滑动检漏环，使得检漏环上的环形包夹槽对氦气管道与进气管的连接处进行密封包夹，进气管顶端面的密封套会与氦气管道内壁相接触，进一步提高密封性，当出现氦气泄漏时，检漏环上的气体传感器检测到，将信号发送给警报器，警报器发生警报声
一种氦检机氦气回收机构

[发明专利]一种输气管道气体组分实时分析装置-CN201910104997.8在审
发明人：聂中文;黄晶;于永志;王永吉 -专利权人：中国石油天然气集团公司;中国石油管道局工程有限公司;中国石油管道局工程有限公司设计分公司
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种输气管道气体组分实时分析装置，包括：取样探头，其与输气管道连；样气管路，其入口与第一减压阀相连；第一氦气管路，其入口与第一氦气钢瓶连；第二氦气管路，其入口与第二氦气钢瓶连；第三氦气管路，其入口与第一氦气管路出口和第二氦气管路出口连；色谱标气管路，其入口与色谱标气钢瓶连；气体调压管路，其入口与气动阀连，出口连接在第三氦气管路上；气相色谱分析仪，其载气入口与第三氦气管路出口连，气样气入口与样气管路出口连，标气入口与色谱标气管路出口连，排气口接至大气；站控系统，其与电磁阀、调压器和气相色谱分析仪连。本发明的有益效果：提高输气管道组分检测的准确性、实时性和高效性。
氦气管路输气管道色谱实时分析装置出口标气管路氦气钢瓶气管路气入口减压阀气相色谱分析仪色谱分析仪出口连接取样探头载气入口站控系统组分检测电磁阀调压器高效性氦气管排气口气动阀气钢瓶实时性调压气样

[实用新型]一种输气管道气体组分实时分析装置-CN201920182025.6有效
发明人：聂中文;黄晶;于永志;王永吉 -专利权人：中国石油天然气集团有限公司;中国石油管道局工程有限公司;中国石油天然气管道工程有限公司
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种输气管道气体组分实时分析装置，包括：取样探头，其与输气管道连；样气管路，其入口与第一减压阀相连；第一氦气管路，其入口与第一氦气钢瓶连；第二氦气管路，其入口与第二氦气钢瓶连；第三氦气管路，其入口与第一氦气管路出口和第二氦气管路出口连；色谱标气管路，其入口与色谱标气钢瓶连；气体调压管路，其入口与气动阀连，出口连接在第三氦气管路上；气相色谱分析仪，其载气入口与第三氦气管路出口连，气样气入口与样气管路出口连，标气入口与色谱标气管路出口连，排气口接至大气；站控系统，其与电磁阀、调压器和气相色谱分析仪连。本实用新型的有益效果：提高输气管道组分检测的准确性、实时性和高效性。
氦气管路输气管道色谱出口本实用新型标气管路氦气钢瓶气管路气入口减压阀气相色谱分析仪实时分析装置色谱分析仪出口连接取样探头载气入口站控系统组分检测电磁阀调压器高效性氦气管排气口气动阀气钢瓶实时性调压气样

[发明专利]一种等离子体刻蚀的方法-CN201810604623.8有效
发明人：刘庆;曾林华;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明涉及集成电路制造技术领域，公开了一种等离子体刻蚀的方法，所述等离子体刻蚀的方法包括以下步骤：S1：前批次晶圆在等离子体刻蚀机台的反应腔室中进行等离子体刻蚀作业；S2：对反应腔室进行清洁，同时从静电吸附盘的氦气管道向反应腔室通入氦气本发明通过对反应腔室进行清洁的同时，从静电吸附盘的氦气管道向反应腔室通入氦气，以减少清洁工艺过程中，聚合物从氦气管道口进入氦气管道中，有利于改善在整个清洁工艺中聚合物对氦气管道的污染，从而降低了由于氦气管道污染造成的后续批次晶圆的刻蚀不良
一种等离子体刻蚀方法

[发明专利]一种平流层飞艇氦气压缩机性能指标地面评估系统及方法-CN202110573579.0有效
发明人：熊超;蔡明;颜坤;史智广;杜超 -专利权人：北京临近空间飞艇技术开发有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种平流层飞艇氦气压缩机性能指标地面评估系统及方法，包括：囊体组件，囊体组件包括外囊体和内囊体，内囊体和外囊体均为圆柱状结构，且二者相对布置；连接组件，连接组件包括氦气压缩机、循环管道、进气管道和出气管道，氦气压缩机设于外囊体和内囊体外部，且位于外囊体和内囊体之间，进气管道一端与外囊体连通，另一端与氦气压缩机的进气口连通，出气管道一端与内囊体连通，另一端与氦气压缩机的出气口连通；循环管道两端分别与外囊体和内囊体连通，且循环管道上设置有氦气电控阀，氦气电控阀靠近外囊体设置；测控组件，测控组件设于外囊体和内囊体外部，并与氦气压缩机和氦气电控阀电性连接，用于控制氦气压缩机和氦气电控阀。
一种平流层飞艇氦气压缩机性能指标地面评估系统方法

[实用新型]一种充气柜氦检设备水分处理装置-CN202120128661.8有效
发明人：杨开宝 -专利权人：安徽万克姆科技有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B01D53/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及氦气循环干燥，具体涉及一种充气柜氦检设备水分处理装置，包括氦气回收系统、真空箱、第一干燥筒、第二干燥筒和加热器，真空箱内部设有充气柜，第一干燥筒、第二干燥筒之间分别连通有第一连通管道、第二连通管道，氦气回收系统、第一连通管道之间连接有第一充气管道，第一连通管道上连接有活化出气管道，第二连通管道上连接有活化进气管道，氦气回收系统、充气柜之间连接有第一回收管道、进气出气管道，加热器、进气出气管道之间连接有第二充气管道；本实用新型提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的不能有效去除氦气回收系统中氦气包含的水分、需要频繁更换干燥剂的缺陷。
一种充气柜氦检设备水分处理装置

[发明专利]一种低温液体过冷装置-CN201910414180.0在审
发明人：陈六彪;王俊杰;郭嘉;季伟 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： F25B40/02 文献下载
摘要：本发明涉及低温液体贮存技术领域，提供一种低温液体过冷装置，包括氦气注射器和低温液体贮箱，低温液体贮箱包括内壁和外壁，内壁的内侧形成用于容置低温液体的贮存腔体，贮存腔体为密封设置，内壁与外壁之间形成真空腔体；贮存腔体的上部空间布置有氦气分离装置，氦气分离装置与氦气注射器通过氦气充气管道循环连通，氦气充气管道穿设在真空腔体内。本发明提供的低温液体过冷装置，将氦气通过氦气注射器注入低温液体内部，使得低温液体降温而过冷贮存，并通过氦气分离装置将混合气体继续分离出氦气，并经氦气充气管道循环至低温液体中，使得氦气能够在低温液体过冷装置中循环利用，从而节约氦气资源和节省贮存成本。
氦气低温液体过冷装置分离装置贮存腔注射器内壁贮存充气管道外壁贮箱混合气体密封设置上部空间循环利用循环连通真空腔体充气管真空腔过冷容置体内节约

[实用新型]一种用于氦压缩机的氦气管道-CN201820036072.5有效
发明人：张沈阳 -专利权人：合肥迅即影像科技有限公司
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： F04B39/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于氦压缩机的氦气管道，包括管道本体，所述管道本体内侧壁上设有防腐蚀层，所述管道本体外侧壁外侧设有密封层，所述管道本体一端端口固定连接密封凸条，所述管道本体另一端端口设有密封凹槽；本实用新型是一种用于氦压缩机的氦气管道，结构简单、设计合理、密封性能好，能有效防止氦气泄露，防腐蚀层的设置能有效防止氦气对管道本体的侵蚀，提高氦气管道的使用寿命；密封层的设置能有效防止管道内氦气泄露；密封凸条与密封凹槽的设置能避免管道连接时密封效果差的问题
管道本体氦气管道氦压缩机氦气本实用新型防腐蚀层密封凹槽密封凸条密封效果密封层泄露有效防止管道管道连接密封性能使用寿命内侧壁外侧壁侵蚀

[实用新型]一种低温液体过冷装置-CN201920719109.9有效
发明人：陈六彪;王俊杰;郭嘉;季伟 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： F25B40/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及低温液体贮存技术领域，提供一种低温液体过冷装置，包括氦气注射器和低温液体贮箱，低温液体贮箱包括内壁和外壁，内壁的内侧形成用于容置低温液体的贮存腔体，贮存腔体为密封设置，内壁与外壁之间形成真空腔体；贮存腔体的上部空间布置有氦气分离装置，氦气分离装置与氦气注射器通过氦气充气管道循环连通，氦气充气管道穿设在真空腔体内。本实用新型提供的低温液体过冷装置，将氦气通过氦气注射器注入低温液体内部，使得低温液体降温而过冷贮存，并通过氦气分离装置将混合气体继续分离出氦气，并经氦气充气管道循环至低温液体中，使得氦气能够在低温液体过冷装置中循环利用，从而节约氦气资源和节省贮存成本。
一种低温液体过冷装置

[实用新型]一种适用于压水堆环境的含氚氦气管道-CN201921796070.7有效
发明人：张亮;杨文华;吴红伟;孙胜;童明炎;李炳林;斯俊平;徐斌;聂良兵;张帅 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： F16L9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于压水堆环境的含氚氦气管道，包括外管、位于外管内的内管，所述外管与内管之间充填钛基填充层。本实用新型的目的在于提供一种适用于压水堆环境的含氚氦气管道，以解决现有技术中含氚氦气管道的防氚渗透能力较为不足的问题，实现减少氚对管道的渗透泄露，防止氦气管道中的氚大量地渗透泄露入冷却水中，从而有效减少氚泄露产生的放射性危害的目的
一种适用于压水堆环境氦气管道

[实用新型]一种退火镀锡机微细线退火氮气保护装置-CN202122264318.9有效
发明人：黄新明;宋小军;黄少毅;尹剑 -专利权人：鹰潭毅鹏智能科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C21D1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种退火镀锡机微细线退火氮气保护装置，包括退火炉和进线退火管道，所述退火炉一侧安装有氦气发生装置，所述氦气发生装置通过传输管输气到氦气盒中，所述氦气盒被安装在退火炉顶部的固定支架固定，所述氦气盒远离退火炉一面连接有氦气管道，所述氦气管道的另一端连接有在氦气盒下方的分流盒，所述分流盒靠近退火炉一面和远离退火炉一面都开有炉火安装孔，所述安装孔对应连接有进线退火管且该退火管连通到退火炉内，所述分流盒内安装有密封连接两安装孔的分流管道，所述分流管道的管壁与氦气管道密封连通到分流管管内，所述进线退火管呈进线口低于出线口倾斜设置。分流管压缩了氦气进入风流盒的空间，大幅度的节约了进气时间。
一种退火镀锡微细氮气保护装置

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