专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]氧化镓半导体膜的制造方法及成膜装置-CN202180045966.5在审
  • 渡部武纪 - 信越化学工业株式会社
  • 2021-05-17 - 2023-04-21 - H01L21/365
  • 本发明是一种氧化镓半导体膜的制造方法,其使用雾化CVD,包含以下工序:产生工序,在雾化部中雾化包含镓的原料溶液而产生;载供给工序,向所述雾化部供给用于输送所述的载;输送工序,经由连接所述雾化部与成膜室的供给管利用所述载从所述雾化部向所述成膜室输送所述;整流工序,在所述成膜室中向基板的表面供给的所述及所述载的流动被整流成沿着所述基板的表面的流动;成膜工序,对经过所述整流的进行热处理而在所述基板上进行成膜;以及排气工序,向所述基板的上方排出废气。
  • 氧化半导体制造方法装置
  • [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN202180027330.8在审
  • 坂爪崇宽 - 信越化学工业株式会社
  • 2021-03-22 - 2022-12-02 - H01L21/365
  • 本发明是一种成膜装置,其至少具备:雾化部,其雾化原料溶液而产生;连接于所述雾化部、并输送含有所述的载的配管;输送向含有所述的载中混合、并以1种以上的气体为主成分的添加用流体的至少一根以上的配管;与成膜部连接、并输送将含有所述的载和所述添加用流体混合后的混合流体的配管;连接部件,其连接输送含有所述的载的配管、输送所述添加用流体的配管、以及输送所述混合流体的配管;以及成膜部,其对所述进行热处理而在基体上进行成膜,通过所述连接部件连接的、输送所述添加用流体的配管与输送所述混合流体的配管所成的角是120度以上。由此,提供一种能够应用成膜速度优异的雾化CVD的成膜装置。
  • 装置方法
  • [发明专利]一种新型气溶胶发油箱-CN201911298256.4在审
  • 魏文龙;陈建;刘嘉;庄静;曹海婷 - 江苏苏净集团有限公司;苏州苏净仪器自控设备有限公司
  • 2019-12-17 - 2020-04-10 - G01M3/20
  • 本发明提供的新型气溶胶发油箱,通过在洁净空气进嘴右端设置调节阀与压缩空气源相连接,使得流经洁净空气进嘴空气的压力和流量能够通过调节阀进行调节,能够检测高效过滤器前对所需油进行高浓度与低浓度的连续性调节,通过控制所述进气口的进气压力与流量,使箱体内油流动通畅,通过设置过滤挡板,使得油在通过油出气嘴前被过滤,使得粒径在0.3um左右的油粒子均匀的通过挡板后由油出气嘴喷射出去,被过滤挡板挡下来的油凝结后落回箱体内重复使用,通过设置过滤挡板,使得本发明能够使不同粒径的油保持较好的一致性,不会对检测系统整体产生不良影响,防止了油倒流现象,发效果稳定,油浓度便于调节,能够大大提高光度计检漏的准确性。
  • 一种新型气溶胶油箱
  • [发明专利]一种热磷酸生产装置-CN201410496526.3有效
  • 梅毅;李慧;武春锦;龙萍 - 昆明理工大学
  • 2014-09-25 - 2015-01-07 - C01B25/24
  • 本发明公开了一种热磷酸生产装置,属于热磷酸生产的节能型工艺技术领域,该装置包括燃烧塔、吸收塔、动力波除器、液分离器、引风机,燃烧塔与吸收塔顶部的入口连通,吸收塔与动力波除器连接,动力波除器通过气液分离器与引风机连通,同时吸收塔通过吸收塔循环泵与换热器连接,换热器通过管道连通至吸收塔形成回路,动力波除器与除器循环泵通过管道形成回路;该装置降低系统的阻力,减少循环酸和循环水的用量,大幅度降低系统的装机容量,实现节能降耗和提高系统生产能力
  • 一种磷酸生产装置

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