专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体处理单元-CN200810111324.7有效
  • 手钱永充 - 爱斯佩克株式会社
  • 2008-05-27 - 2008-12-03 - F26B21/00
  • 本发明提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有:热处理室,收容被热处理物,所收容的被热处理物可从热处理室取出;以及气体导入部和气体导出部,分别与热处理室连通。气体处理单元包括:气体通道,具有通过第一连接部可拆卸地与气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与气体导出部连接的导出管,气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部中,并且从气体导出部导出气体;催化剂,分解从气体导出部导出的气体中所含的升华物,升华物从被热处理物产生;加热器,至少加热所述催化剂;以及鼓风机,将热处理用气体及进行热处理后的气体向规定方向引导。
  • 气体处理单元
  • [发明专利]气体供给单元-CN201910922349.3有效
  • 李洪宰 - TES股份有限公司
  • 2019-09-27 - 2023-06-13 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种气体供给单元,包括:背板,设置于腔室内部;簇射头,与所述背板的下部隔开设置并朝向所述腔室内部供给工艺气体或清洗气体;挡板单元,设置于所述背板与所述簇射头之间,通过中央部区域供给工艺气体并通过周边区域供给所述工艺气体或所述清洗气体;以及工艺气体供给源与清洗气体供给源,所述工艺气体供给源朝向所述挡板单元供给所述工艺气体,所述清洗气体供给源朝向所述挡板单元供给所述清洗气体。在执行针对大面积基板的各种处理工艺的基板处理装置中,在根据沉积工艺或清洗工艺而向基板处理装置的内部供给各种气体的情况下,气体供给单元可使气体均匀地在基板处理装置的内部分散。
  • 气体供给单元
  • [实用新型]气体吸附单元-CN201520533155.1有效
  • 王桂青;王景懿 - 青岛祥青环保技术有限公司
  • 2015-07-21 - 2015-12-09 - B01D53/02
  • 本实用新型公开了一种气体吸附单元,包括内笼、外罩、填充在内笼与外罩之间的吸附材料,内笼围成的筒形空腔为气体通道,内笼两端设有用于开关所述气体通道的端盖,外罩两端设有外盖,外盖呈环形,外盖的内圆与端盖密封连接本实用新型维护简单方便,气体通道两端均可作为开口或出口,对吸附材料的利用率增加,吸附高效、快速,吸附效率高,同时吸附材料采用活性炭纤维层和过滤膜层配合,对含有大颗粒杂质的气体起到很好的过滤作用,也延长了气体吸附单元的使用时间
  • 气体吸附单元
  • [发明专利]气体供给集成单元气体单元的增设方法-CN200580016044.2有效
  • 武市昭宏;青山达人;三轮敏一;长屋小典 - 喜开理株式会社
  • 2005-05-12 - 2007-05-02 - F16K27/00
  • 为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元气体单元增设方法,在将气体单元(1、2、A~E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上,设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29),在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上,可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47),在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42),通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中,通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。
  • 气体供给集成单元增设方法
  • [发明专利]压缩气体供给单元-CN201310098914.1有效
  • 小林健一;宇波厚 - 阿耐思特岩田株式会社
  • 2013-03-26 - 2017-10-24 - F04C23/00
  • 本发明提供一种压缩气体供给单元,在具备多台涡旋压缩机的压缩气体供给单元中,为了能够相对于频繁的负载变动进行始终保持成恒定的喷出压力的稳定运转,并且减少消耗动力,多台涡旋压缩机(14a~c)的喷出空气在经由主供给路控制装置(32)具有对涡旋压缩机(14a~c)的上限转速以及下限转速进行设定的上下限转速设定部(320);根据压缩气体供给单元(10)的负载算出涡旋压缩机(14a~c)的合计转速的合计转速算出部(322
  • 压缩气体供给单元
  • [发明专利]气体吸附单元装置-CN201110161539.1有效
  • 川田和之;池野友明 - 东洋纺织株式会社
  • 2011-06-07 - 2012-12-12 - B01D53/04
  • 本发明提供一种气体吸附单元装置,其能够保持经卷绕层叠的活性炭纤维片的形状,并防止被处理气体的发生泄漏,能够获得稳定的吸附性能。该气体吸附单元装置具有:气体吸附用单元,该气体吸附用单元在连接第一法兰(4)与第二法兰(5)的筒筐形的卷芯上,卷绕层叠有活性炭纤维片;外金属丝网(14),该外金属丝网将上述活性炭纤维片的外周面覆盖;以及单元形状保持部件(13),该单元形状保持部件具有第一销,该第一销从上述外金属丝网的外侧刺入到上述卷芯的内部,上述卷芯的上述第一法兰和上述第二法兰通过在圆周上排列的多个杆连接,在上述卷芯的外周面上设有将上述第一销的顶端卡止的卡止体
  • 气体吸附单元装置

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